Pan-Halbleiter-Oxidkeramiken

Oxidkeramik für Pan-Halbleiter ist eine Art von Hochleistungskeramik, die im Bereich der Pan-Halbleiter weit verbreitet ist und hauptsächlich Aluminiumoxidkeramik, Zirkoniumdioxidkeramik usw. umfasst. Diese Oxidkeramik hat verschiedene hervorragende Eigenschaften, die sie zu einem unverzichtbaren Schlüsselmaterial in der Halbleiterindustrie machen.

（1） Aluminiumoxid-Keramik
Aluminiumoxidkeramik ist ein weit verbreitetes feinkeramisches Material, das sich durch hohe Härte, hohe Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, gute elektrische Isolierung und hohe mechanische Festigkeit auszeichnet. Es hat einen hohen Reinheitsgrad, eine ausgezeichnete chemische Stabilität und einen hohen spezifischen Widerstand und kann die Verunreinigung von Wafern bei der Halbleiterherstellung wirksam verhindern. Darüber hinaus zeichnet sich Aluminiumoxid-Keramik durch hohe Temperaturbeständigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit aus und kann als Isoliermaterial verwendet werden.
（2） Zirkoniumdioxid-Keramik
Zirkoniumdioxid-Keramik hat unter den Feinkeramiken die höchste Zähigkeit und Festigkeit bei Raumtemperatur. Sie verfügt über eine ausgezeichnete Verschleißfestigkeit und hohe mechanische Festigkeit und kann zur Herstellung von gleitenden Komponenten wie Führungsrollen und verschleißfesten Teilen verwendet werden. Im Bereich der allgemeinen Halbleiter kann Zirkoniumdioxidkeramik zur Herstellung von Schlüsselkomponenten wie keramischen Hackmessern verwendet werden.

Anmeldung
Oxidkeramik für Pan-Halbleiter spielt in vielen Bereichen der Pan-Halbleiterindustrie eine wichtige Rolle, und im Folgenden werden einige der wichtigsten Anwendungsbereiche genannt:
（1） Ausrüstung zum Ätzen von Halbleitern
Bei Halbleiter-Ätzanlagen hat das Material in der Ätzkammer einen erheblichen Einfluss auf die Kontamination der Wafer. Hochreine Aluminiumoxidkeramik wird häufig als Schutzmaterial für Ätzkammern und interne Komponenten verwendet, was die Stabilität von Ätzprozessen und die Waferausbeute wirksam verbessern kann. Darüber hinaus werden die Gasdüsen, Gasverteilungsplatten und Wafer-Fixierringe von Plasmaanlagen häufig aus Aluminiumoxidkeramik hergestellt.
（2） Polierverfahren für Wafer
Beim Polieren von Wafern kann Aluminiumoxidkeramik in großem Umfang für Polierplatten, Korrekturplattformen für Polierpads, Vakuumsauger und andere Komponenten verwendet werden. Diese Komponenten erfordern eine hohe Reinheit, eine hohe chemische Beständigkeit und eine gute Kontrolle der Oberflächenform und -rauheit, und Aluminiumoxidkeramik kann diese anspruchsvollen Anforderungen erfüllen. So können beispielsweise Wafer-Polierscheiben aus Aluminiumoxid-Keramik Beschädigungen oder Verunreinigungen des Wafers während des Schleifens vermeiden, den Eintrag von Metallionen verringern und die Nutzungsrate des Wafers verbessern.
（3） Andere Anwendungen
Aluminiumoxidkeramik kann auch zur Herstellung von Komponenten wie Werkbänken, Plasmaschilden/-ringen in Halbleiteranlagen verwendet werden. Zirkoniumdioxid-Keramik kann zur Herstellung von keramischen Roboterarmen für den Transport von Wafern in einer Vakuumumgebung verwendet werden.

Maßgeschneiderter Service
Aufgrund der hohen Präzisions- und Leistungsanforderungen der Halbleiterindustrie an Bauteile sind maßgeschneiderte Dienstleistungen für Oxidkeramik für Halbleiter entscheidend. Viele professionelle keramikverarbeitende Unternehmen können kundenspezifische Dienstleistungen aus einer Hand anbieten, von der Pulvergranulierung über das Formen und Sintern bis hin zur Präzisionsbearbeitung und Prüfung und Reinigung entsprechend den spezifischen Anforderungen der Kunden. Diese Unternehmen verfügen über fortschrittliche Verarbeitungsanlagen und komplette Prüfeinrichtungen, mit denen sie die Qualität und Genauigkeit ihrer Produkte gewährleisten können. Dongguan Nuoyi Precision Ceramic Technology Co., Ltd. kann beispielsweise kundenspezifische Verarbeitungsdienstleistungen für Aluminiumoxid-Keramikteile anbieten, die mehrere Prozesse wie Pulververarbeitung, Formen, Sintern und Präzisionsbearbeitung umfassen. Darüber hinaus verfügen einige Unternehmen auch über Erfahrung in der Halbleiterproduktion und -reinigung, wodurch sie den Anforderungen der allgemeinen Halbleiterindustrie besser gerecht werden können.

Die Oxidkeramik von Pan-Halbleitern spielt aufgrund ihrer hervorragenden Leistung eine unersetzliche Rolle auf dem Gebiet der Pan-Halbleiter. Professionelle, maßgeschneiderte Dienstleistungen können die individuellen Bedürfnisse der verschiedenen Kunden erfüllen und die Entwicklung der Halbleiterindustrie stark unterstützen.

Brudeze Ceramics liefert und verkauft eine breite Palette an hochwertigem Quarzglas, einschließlich Aluminiumoxidkeramik, Zirkoniumdioxidkeramik, Siliziumnitridkeramik, Aluminiumnitridkeramik, Siliziumkarbidkeramik, Borkarbidkeramik, Biokeramik, maschinell bearbeitbarer Keramik usw. Wir sind in der Lage, die Anforderungen an die Anpassung verschiedener Keramikprodukte zu erfüllen.