Применение керамического кронштейна Macor в вакуумной установке для нанесения покрытий

---

Производительность вакуумных установок для нанесения покрытий напрямую влияет на качество и эффективность производства тонких пленок в таких областях точного производства, как полупроводники, оптические покрытия и аэрокосмическая промышленность. Являясь основным несущим компонентом процесса нанесения покрытия, характеристики опорного материала определяют однородность, чистоту и срок службы оборудования. Керамические кронштейны Macor становятся революционным решением в области вакуумного нанесения покрытий благодаря низкому уровню газовыделения, высокой термостойкости и стабильности.

Четыре основных преимущества керамических брекетов Macor

1. Чрезвычайно низкий уровень выделения газов, обеспечивающий чистоту покрытия
   Скорость газовыделения керамики Macor в вакууме ничтожно мала (<1 × 10 -⁹ Торр - Л/с - см²), и практически не выделяются молекулы газа, что позволяет избежать загрязнения пленки примесями, вызванными улетучиванием материала в процессе нанесения покрытия. Эта характеристика делает его идеальным выбором для нанесения оптического покрытия и покрытия полупроводниковых пластин, значительно повышая выход покрытия.
2. Высокая термостойкость и термическая стабильность, подходит для экстремальных условий работы
   Керамика Macor может выдерживать длительные высокие температуры до 800 ℃, с пиковыми температурами до 1000 ℃, а ее коэффициент теплового расширения (9,3 × 10 -⁶/K) близок к коэффициенту теплового расширения металлов, что позволяет сохранять стабильность размеров в высокотемпературной камере машины для нанесения покрытий и избегать смещения покрытия в результате тепловой деформации.
3. Нулевая структура пор, исключающая адсорбцию загрязнений
   Его непористая поверхность и негигроскопичные свойства предотвращают остатки материалов покрытия или проникновение жидкости, что особенно подходит для сложных сред нанесения покрытий в процессах PVD (физическое осаждение из паровой фазы) и CVD (химическое осаждение из паровой фазы), обеспечивая долгосрочное использование без риска загрязнения.
4. Возможность прецизионной обработки, адаптация к сложным конструкциям
   Керамика Macor может достигать допуска ± 0,01 мм при обработке на станках с ЧПУ, поддерживая нестандартные конструкции, такие как пористые опоры и изогнутые несущие конструкции, удовлетворяя требованиям к несущей способности высокоточных оптических тонких пленок и наноразмерных полупроводниковых покрытий.

Основные сценарии применения вакуумных установок для нанесения покрытий

1. Оптические покрытия: Хранитель высокоточных тонких пленок
   -Кронштейн для лазерного отражателя: Низкая характеристика теплового расширения обеспечивает стабильное положение отражателя в процессе нанесения покрытия, предотвращая отклонения оптического пути, вызванные колебаниями температуры, и улучшая однородность антиотражающей и высокоотражающей пленки.
   -Оптический линзодержатель: Гладкость поверхности Ra<0,4 мкм, уменьшение дефектов поверхности покрытия и обеспечение пропускания и отражения оптических устройств.
2. Полупроводниковое покрытие: краеугольный камень наноразмерных процессов
   -Лоток для покрытия пластин: устойчив к коррозии и воздействию травильных газов (таких как Cl ₂, SF ₆), что позволяет увеличить количество циклов обслуживания оборудования более чем в три раза по сравнению с традиционными металлическими опорами.
   -Поддержка реакционной камеры MOCVD: Отсутствие выделения летучих веществ при высоких температурах, что обеспечивает высокую чистоту роста эпитаксиальных слоев нитрида галлия (GaN) и карбида кремния (SiC).
3. Аэрокосмические покрытия: Надежная поддержка в экстремальных условиях
   -Приспособление для нанесения покрытия на лопасти двигателя: выдерживает плазменное напыление при температуре 1500 ℃, обеспечивая равномерную адгезию термобарьерного покрытия (TBC) и улучшая высокотемпературную стойкость лопастей.
   -Кронштейн для оптических компонентов спутников: вакуумная совместимость и радиационная стойкость, подходит для экстремальных космических условий, срок службы покрытия более 10 лет.

Преимущества керамических брекетов Macor в плане обработки и персонализации

1. Прецизионное формование сложных конструкций
   Поддержка лазерной резки, ультразвукового сверления и других процессов для достижения экстремальных конструкций, таких как массивы микроотверстий с апертурой 0,5 мм и тонкостенные опоры толщиной 0,3 мм, подходящие для требований к ультратонким подложкам для покрытий.
2. Быстрое реагирование и оптимизация затрат
   -Не требуется процесс спекания: прямая обработка сокращает производственный цикл на 30%, и образцы могут быть быстро доставлены в течение 3 дней.
   -Обработка металлизации поверхности: На поверхность могут быть нанесены металлические слои, такие как золото и никель, для улучшения адгезии с материалом покрытия и уменьшения дефектов поверхности.

Три основные ценности выбора керамических брекетов Macor

1. Повышение качества покрытия
   Двойная гарантия чистоты и стабильности, улучшение однородности пленки более чем на 20%.
2. Увеличение срока службы оборудования
   Высокая термостойкость и устойчивость к коррозии увеличивают срок службы в три раза по сравнению с традиционными материалами.
3. Оптимизация стоимости полного цикла
   Повышение урожайности и снижение затрат на обслуживание, сокращение цикла возврата инвестиций 40%.

Керамические кронштейны Macor Благодаря прорыву в материаловедении, мы пересмотрели стандарты производительности вакуумных технологий нанесения покрытий. Будь то наноразмерные прецизионные полупроводниковые покрытия или сложные оптические тонкие пленки, керамика Macor может обеспечить высокостабильные, не загрязняющие окружающую среду и хорошо адаптируемые решения.