Оксидная керамика для полупроводников - это тип высокопроизводительного керамического материала, широко используемого в области полупроводников, в основном включающего глиноземную керамику, циркониевую керамику и т.д. Эти оксидные керамики обладают различными превосходными свойствами, что делает их незаменимыми ключевыми материалами в полупроводниковой промышленности.
(1) Керамика на основе оксида алюминия
Глиноземистая керамика - это широко используемый тонкий керамический материал, характеризующийся высокой твердостью, высокой износостойкостью, коррозионной стойкостью, хорошей электроизоляцией и высокой механической прочностью. Она обладает высокой чистотой, отличной химической стабильностью, высоким удельным сопротивлением и позволяет эффективно избегать загрязнения пластин в процессе производства полупроводников. Кроме того, глиноземная керамика обладает такими характеристиками, как высокая термостойкость и низкая теплопроводность, и может использоваться в качестве изоляционных материалов.
(2) Циркониевая керамика
Циркониевая керамика обладает самой высокой вязкостью и прочностью при комнатной температуре среди тонкой керамики. Она обладает превосходной износостойкостью и высокой механической прочностью и может использоваться для изготовления деталей скольжения, таких как направляющие ролики и износостойкие детали. В области полупроводников общего назначения циркониевая керамика может использоваться для производства ключевых компонентов, таких как керамические расщепители.
Приложение
Полупроводниковая оксидная керамика играет важную роль во многих аспектах полупроводниковой промышленности, и ниже перечислены некоторые из основных областей ее применения:
(1) Оборудование для травления полупроводников
В оборудовании для травления полупроводников материал камеры травления оказывает значительное влияние на загрязнение пластин. Алюмооксидная керамика высокой чистоты широко используется в качестве защитного материала для камер травления и внутренних компонентов, что позволяет эффективно повысить стабильность процессов травления и выход пластин. Кроме того, газовые сопла, газораспределительные пластины и кольца для крепления пластин в плазменном оборудовании часто изготавливаются из алюмооксидной керамики.
(2) Процесс полировки пластин
В процессе полировки пластин алюмооксидная керамика широко используется в полировальных пластинах, корректирующих платформах, вакуумных присосках и других компонентах. Эти компоненты требуют высокой чистоты, высокой химической стойкости, хорошего контроля формы и шероховатости поверхности, и алюмооксидная керамика может удовлетворить эти высокие требования. Например, полировальные диски для пластин, изготовленные из алюмооксидной керамики, позволяют избежать повреждения или загрязнения пластины во время шлифовки, уменьшить попадание ионов металлов и повысить коэффициент использования пластины.
(3) Другие приложения
Алюмооксидная керамика также может использоваться для производства таких компонентов, как верстаки, плазменные экраны/кольца в полупроводниковом оборудовании. Циркониевая керамика может использоваться для производства керамических роботизированных манипуляторов для транспортировки пластин в вакуумной среде.
Индивидуальное обслуживание
В связи с высокими требованиями к точности и производительности компонентов в полупроводниковой промышленности, индивидуальные услуги для полупроводниковой оксидной керамики имеют решающее значение. Многие профессиональные предприятия по переработке керамики могут предоставлять универсальные услуги по индивидуальному заказу, начиная с гранулирования порошка, формования, спекания, точной обработки, тестирования, очистки в соответствии с конкретными потребностями клиентов. Эти предприятия имеют передовое технологическое оборудование и полное испытательное оборудование, которое может гарантировать качество и точность их продукции. Например, компания Dongguan Nuoyi Precision Ceramic Technology Co., Ltd. может предоставить индивидуальные услуги по обработке глиноземистых керамических деталей, которые включают в себя несколько процессов, таких как обработка порошка, формование, спекание и прецизионная обработка. Кроме того, некоторые компании имеют опыт производства и очистки полупроводников, что позволяет им лучше удовлетворять потребности полупроводниковой промышленности в целом.
Полупроводниковая оксидная керамика играет незаменимую роль в области полупроводников благодаря своим превосходным характеристикам. Профессиональные индивидуальные услуги могут удовлетворить индивидуальные потребности различных клиентов и оказать мощную поддержку развитию полупроводниковой промышленности.
Brudeze Ceramics поставляет и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая глиноземистую керамику, циркониевую керамику, керамику из нитрида кремния, керамику из нитрида алюминия, керамику из карбида кремния, керамику из карбида бора, биокерамику, обрабатываемую керамику и т.д. Мы можем удовлетворить требования заказчика к различным керамическим изделиям.
Теги: керамика из карбида бора