En polea de cerámica de alúmina perforada en el centro es un componente cerámico avanzado compuesto principalmente de fase cristalina α - Al ₂ O3 de gran pureza, que se fabrica mediante procesos de prensado isostático, sinterización a alta temperatura y mecanizado de precisión. Su material de núcleo tiene un contenido de alúmina superior a 99,5%.
Características principales:
Adaptabilidad medioambiental extrema: Con un punto de fusión de hasta 2072 ℃, puede trabajar de forma estable en un entorno de 1600 ℃ durante mucho tiempo, con una excelente resistencia al choque térmico y un coeficiente de dilatación térmica de solo un tercio del de los metales.
Ultra resistencia al desgaste: Nivel de dureza Mohs 9, la resistencia al desgaste es 150 veces superior a la del acero al manganeso, y el índice de desgaste en condiciones de fricción en seco es inferior a 0,01 mm ³/N - m.
Mecanizado de alta precisión: Utilizando una máquina de grabado y fresado de cerámica vinculada de cinco ejes para el mecanizado, la tolerancia de la abertura central se controla dentro de ± 0,005 mm, y la rugosidad superficial Ra es ≤ 0,2 μ m.
Características de aislamiento: Resistividad volumétrica>10 ¹⁴Ω- cm, rigidez dieléctrica de hasta 20kV/mm, adecuada para entornos de campos eléctricos intensos.
Caso típico de aplicación: En un robot de manipulación de obleas de semiconductores, tras 12 meses de funcionamiento continuo, el desgaste de un determinado tipo de polea cerámica es de sólo 0,03 mm, 8 veces superior al de las poleas metálicas tradicionales.
Escenario de aplicación central: Solucionar los problemas del sector
- Equipos de fabricación de semiconductores
Sistema de transferencia de obleas: Como componente giratorio clave del brazo robótico, el diseño de perforación central integra canales duales de adsorción de vacío y refrigeración por gas para resolver el problema de la deformación térmica durante la manipulación de las obleas.
Cámara de grabado por plasma: utilización de poleas recubiertas de alúmina de gran pureza para controlar la contaminación por iones metálicos a nivel de ppb, mejorando la uniformidad del grabado por 30%.
Pulido químico mecánico (CMP): la superficie de la polea se recubre con una película de carbono diamantado (DLC), que reduce el coeficiente de fricción a 0,05 y disminuye considerablemente el desgaste de la almohadilla de pulido. - Industria fotovoltaica
Rueda guía de la línea de corte de obleas de silicona: La polea cerámica de óxido de aluminio sustituye a la tradicional rueda de resina, lo que prolonga la vida útil de la sierra de hilo de 500 a 3000 horas y consigue una precisión de corte de ± 1 μ m.
Horno de reducción de silicio policristalino: La estructura central perforada realiza el enfriamiento por circulación de hidrógeno, controlando el gradiente de temperatura dentro del horno dentro de ± 5 ℃, y aumentando la producción de un solo horno en 15%. - Maquinaria textil de gama alta
Rueda guía de telar a chorro: La superficie de la polea cerámica está tratada con microporos (apertura 5-10 μ m), reduciendo eficazmente la acumulación de electricidad estática y reduciendo la tasa de rotura de urdimbre a 0,3 veces por 10000 metros.
Línea de producción de preimpregnados de fibra de carbono: mediante el uso de poleas de cerámica de alúmina autolubricantes, se reduce la tasa de arañazos superficiales del preimpregnado de 2% a 0,05%. - Escenarios industriales especiales
Equipo de ensayo de barras de combustible nuclear: La tasa de degradación del rendimiento de las poleas cerámicas de alúmina resistentes a la radiación bajo irradiación de rayos gamma de 60Co es inferior a 0,1% por año.
Equipo de exploración en aguas profundas: A través de pruebas de temperatura extrema de -40 ℃ a 150 ℃, resuelve el problema de atasco causado por la expansión y contracción térmica de los componentes metálicos tradicionales.
Sistema de servicio personalizado
- Personalización de materiales
Grado de pureza: Hay tres opciones de material disponibles: 99,5% (grado semiconductor), 99,9% (grado óptico) y 99,99% (grado nuclear).
Modificación del compuesto: Se pueden añadir whiskers de SiC (fracción de volumen 5-15%) para mejorar la tenacidad a la fractura, o se puede dopar MgO (0,3-0,5wt%) para reducir la temperatura de sinterización. - Optimización estructural
Diseño del sistema de orificios: admite el procesamiento de orificio único, orificio múltiple y orificio irregular (como el orificio de flor de ciruelo y el orificio cuadrado), con un tamaño de poro mínimo de hasta 0,5 mm.
Estructura ligera: utiliza tecnología de optimización topológica para reducir el peso en un 30-50% al tiempo que garantiza la resistencia. - Tratamiento de superficies
Rectificado de precisión: Conseguir una superficie a nivel de espejo (Ra ≤ 0,05 μ m) y reducir el coeficiente de fricción a 0,02.
Revestimiento funcional: Disponible en revestimiento de PTFE (antifricción), revestimiento compuesto de Al ₂ O ∝ - TiC (resistente al desgaste), revestimiento de Y ₂ O ∝ (antierosión por plasma) y otras opciones.
Sistema de asistencia técnica: Garantizar la fiabilidad del producto
Proceso de sinterización: Adoptando la tecnología de sinterización por presión de oscilación, logrando una densidad teórica de 99,9% a 1600 ℃, con un tamaño de grano controlado dentro de 1-3 μ m.
Pruebas no destructivas: Utiliza tomografía computarizada (TC) de rayos X para detectar defectos internos y garantizar una porosidad<0,1%.
Predicción de vida: Basándose en el modelo de desgaste de Archard, se puede establecer un sistema gemelo digital para predecir el ciclo de sustitución de la polea con 6 meses de antelación.
Caso típico de cliente: Tras adoptar poleas de perforación central personalizadas, un gigante internacional de equipos semiconductores consiguió un aumento de 18% en la eficiencia global de los equipos (OEE) y una reducción de $420000 en los costes anuales de mantenimiento. Este producto ha superado la certificación SEMI S2/S8 y se ha convertido en un componente de configuración estándar para las fábricas de obleas de 12 pulgadas.
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Etiquetas: cerámica de carburo de boro
