Scheibenschneidemaschine Wafer Adsorption Siliziumkarbid Keramik Saugnapf

Der Siliziumkarbid-Keramiksaugnapf der Waferschneidmaschine ist ein hochpräzises Adsorptionswerkzeug, das speziell für den Schneidprozess in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Er besteht hauptsächlich aus porösem Siliziumkarbidmaterial.

Signifikante Merkmale:
-Materialeigenschaften: Siliziumkarbid weist eine extrem hohe Härte und Verschleißfestigkeit auf und kann hohen Belastungen während des Schneidprozesses standhalten. Gleichzeitig verfügt es über eine gute Hochtemperatur- und Korrosionsbeständigkeit und kann auch in rauen Verarbeitungsumgebungen stabil bleiben.
-Strukturelle Merkmale: Die Oberfläche des Saugnapfes ist mit einer großen Anzahl von Mikroporen versehen, die durch spezielle Techniken verarbeitet werden und eine gleichmäßige Porengröße und gute Atmungsaktivität aufweisen. Unter der Einwirkung von Vakuum-Unterdruck kann der Wafer gleichmäßig adsorbiert werden, wodurch sichergestellt wird, dass der Wafer während des Schneidevorgangs flach bleibt.
-Verarbeitungsgenauigkeit: Die Ebenheit und Parallelität sind extrem hoch und erreichen eine Präzision von Mikrometern. Dadurch wird sichergestellt, dass sich der Wafer nicht verformt oder durch die Unebenheiten der Saugnapfoberfläche während des Adsorptionsprozesses eine Spannungskonzentration auftritt, was die Qualität des Wafers garantiert.

Anmeldung
Der Siliziumkarbid-Keramik-Saugnapf der Wafer-Schneidemaschine wird in vielen wichtigen Prozessen der Halbleiterherstellung eingesetzt, darunter:
-Schneideverfahren für Wafer: Bei der Herstellung von Halbleiterchips wird eine Waferschneidemaschine verwendet, um den Wafer in einzelne Chips zu schneiden. Saugnäpfe aus Siliziumkarbidkeramik können fest an den Wafern haften und gewährleisten, dass diese während des Hochgeschwindigkeitsschneidens nicht verschoben werden oder Vibrationen ausgesetzt sind. Ihre hochpräzise Ebenheit und Parallelität gewährleisten die Genauigkeit und Qualität des Schneidens.
-Verdünnungsprozess: Während des Wafer-Dünnungsverfahrens kann der Saugnapf den gedünnten Wafer gleichmäßig aufnehmen, um Verformungen aufgrund unzureichender Steifigkeit während der Verarbeitung zu verhindern. Seine gute Atmungsaktivität und gleichmäßige Adsorptionskraft sorgen dafür, dass der Wafer während des gesamten Ausdünnungsprozesses stabil bleibt.
-Reinigungsverfahren: Während des Reinigungsvorgangs kann der Saugnapf fest am Wafer haften und verhindert, dass er sich unter dem Einfluss des Wasserstroms verschiebt. Die Korrosionsbeständigkeit des Siliziumkarbid-Materials sorgt dafür, dass es in verschiedenen Reinigungslösungen stabil bleibt.
-Inspektionsverfahren: Während der Waferinspektion kann der Saugnapf sicherstellen, dass die Oberfläche des Wafers eben ist, was eine hochpräzise Inspektion des Wafers durch die Inspektionsgeräte erleichtert. Seine hochpräzise Ebenheit und Parallelität gewährleisten die Genauigkeit der Prüfergebnisse.

Maßgeschneiderter Service
Um den unterschiedlichen Bedürfnissen der verschiedenen Kunden gerecht zu werden, bieten viele Hersteller maßgeschneiderte Siliziumkarbid-Keramik-Saugnäpfe an, darunter:
-Größenanpassung: Die Saugnäpfe können je nach Kundenwunsch in verschiedenen Größen hergestellt werden, darunter runde, quadratische, zylindrische und andere Formen. Der Größenbereich reicht von wenigen Millimetern bis zu mehreren hundert Millimetern.
-Anpassung der Blende: Passen Sie die Saugnäpfe mit verschiedenen Öffnungen an die Dicke und die Verarbeitungsanforderungen des Wafers an. Der Öffnungsbereich liegt in der Regel zwischen einigen Mikrometern und mehreren hundert Mikrometern. Unterschiedliche Porengrößen können die Anforderungen verschiedener Prozesse an Atmungsaktivität und Adsorptionskapazität erfüllen.
-Anpassung der Ebenheit: Für hochpräzise Bearbeitungsanforderungen können die Hersteller Saugnäpfe mit höherer Ebenheit anbieten, die auf Mikrometer-Ebene kontrolliert werden können. Damit können die strengen Anforderungen der High-End-Halbleiterfertigung an die Schneidgenauigkeit von Wafern erfüllt werden.
-Werkstoffanpassung: Neben Siliziumkarbid können auch andere keramische Hochleistungswerkstoffe je nach Kundenwunsch ausgewählt werden.

Brudeze Ceramics liefert und verkauft eine breite Palette an hochwertigem Quarzglas, einschließlich Aluminiumoxidkeramik, Zirkoniumdioxidkeramik, Siliziumnitridkeramik, Aluminiumnitridkeramik, Siliziumkarbidkeramik, Borkarbidkeramik, Biokeramik, maschinell bearbeitbarer Keramik usw. Wir sind in der Lage, die Anforderungen an die Anpassung verschiedener Keramikprodukte zu erfüllen.