Die Siliziumkarbid-Keramikspannplatte ist eine Art Hochleistungs-Vakuumspannplatte.
Hohe Temperaturbeständigkeit: Siliziumkarbid-Keramik hat eine hervorragende Hochtemperaturleistung, und ihre Hochtemperaturbeständigkeit übertrifft die herkömmlicher Materialien bei weitem. Siliziumkarbid-Keramik-Vakuumsauger können eine stabile Leistung in Hochtemperaturumgebungen beibehalten, sind nicht leicht zu erweichen oder zu verformen und eignen sich für die Vakuumadsorption bei hohen Temperaturen.
Gute Korrosionsbeständigkeit: Siliziumkarbidkeramik ist chemisch extrem stabil und widersteht der Erosion durch die meisten Säuren, Laugen, Salze und anderen Chemikalien. Daher hat der Einsatz von Vakuumspannplatten aus Siliziumkarbidkeramik in korrosiven Umgebungen erhebliche Vorteile.
Ausgezeichnete Verschleißfestigkeit: Siliziumkarbidkeramik hat eine extrem hohe Härte und eine ausgezeichnete Verschleißfestigkeit. Vakuumsauger aus Siliziumkarbidkeramik haben eine lange Lebensdauer in rauen Umgebungen wie hohen Temperaturen, Korrosion und Verschleiß, was die Wartungs- und Ersatzkosten reduziert.
Leichte und hochfeste Eigenschaften: Siliziumkarbid-Keramikwerkstoffe weisen eine hohe Festigkeit und eine geringe Dichte auf, wodurch Siliziumkarbid-Keramik-Vakuumspannvorrichtungen bei gleichbleibender Festigkeit ein geringeres Gewicht aufweisen, was die Belastung der Geräte verringert und die Effizienz der Handhabung verbessert.
Hohe Härte und hohe Verschleißfestigkeit: Siliziumkarbid-Keramiksauger sind berühmt für ihre hohe Härte, hohe Verschleißfestigkeit und hohe Temperaturbeständigkeit und eignen sich besonders für die Schwerindustrie, z. B. die Stahl- und Chemieindustrie.
Poröse Struktur: die Porengrößenverteilung des porösen Keramikfutters ist gleichmäßig, die Partikeldicke des mikroporösen Keramikfutters ist gleichmäßig und die Oberfläche der bearbeiteten porösen Keramikfutterplatte ist nach dem Schleifen glatt und eben.
Weit verbreitet: Die keramische Siliziumkarbid-Vakuumspannplatte wird in der Halbleiterproduktion häufig verwendet, z. B. zum Ausdünnen, Würfeln, Reinigen, Bearbeiten usw. Sie ist ein spezielles Werkzeug zur Aufnahme von Lasten in verschiedenen Halbleiterproduktionsprozessen.
Aufgrund ihrer ausgezeichneten physikalischen und chemischen Eigenschaften haben Siliziumkarbid-Keramikfutter in vielen Bereichen ein breites Anwendungsspektrum und erhebliche Vorteile aufzuweisen.