Как обрабатываемая керамика Macor ведет себя в вакуумной среде

---

Macor - это высокоэффективный обрабатываемый керамический материал, разработанный американской компанией Corning, который обладает превосходными механическими свойствами, электроизоляцией, термостойкостью и химической стабильностью. Благодаря своей уникальной обрабатываемости (позволяющей производить прецизионную обработку обычными металлообрабатывающими инструментами) Macor широко применяется в аэрокосмической, полупроводниковой, вакуумной технике и других областях.

Основные характеристики Макора
Прежде чем рассказать о работе Macor в вакуумной среде, давайте разберемся в его основных физических и химических свойствах:
Плотность: 2,52 г/см ³
Прочность на изгиб:~90 МПа
Коэффициент теплового расширения: (20-300 °С) 9,3 × 10 -⁶/° C
Максимальная рабочая температура: 1000 °С (кратковременно), 800 °С (долговременно)
Теплопроводность: 1,46 Вт/м - K
Объемное удельное сопротивление (25 °С):>10 ¹⁴Ω- см.
Скорость сброса вакуума: чрезвычайно низкая (подходит для условий высокого и сверхвысокого вакуума)
Благодаря этим характеристикам Macor хорошо работает в вакуумных средах, особенно в тех случаях, когда требуется высокая термостойкость, низкое газовыделение и электроизоляция.

Ключевые преимущества Macor в вакуумных средах
Чрезвычайно низкий уровень дефляции
В вакуумной системе газовыделение материала является ключевым фактором, влияющим на степень вакуума. Основными компонентами Macor являются фаза боросиликатного стекла и керамическая фаза, без органических связующих, поэтому скорость выделения газа в вакуумной среде чрезвычайно низкая, что подходит для:
-Высокий вакуум (HV, 10 -⁶~10 -⁹ мбар)
-Сверхвысокий вакуум (UHV, <10 -⁹ мбар)
По сравнению со многими пластиковыми или металлическими материалами, Macor не выделяет летучих органических соединений (ЛОС) и влаги, что позволяет поддерживать долгосрочную стабильность вакуумных систем.

Отличные показатели устойчивости к высоким температурам
Macor может стабильно работать в течение длительного времени при температуре 800 °С и выдерживать высокие температуры до 1000 °С в короткие сроки. Он подходит для:
-Компоненты изоляции вакуумной печи
-Высокотемпературные приспособления в производстве полупроводников
-Компоненты тепловой защиты космического аппарата

Хорошая электроизоляция
В условиях высокого вакуума электроизоляционные материалы должны исключать возможность разряда или утечки. Macor обладает высоким объемным удельным сопротивлением (>10 ¹⁴Ω- см) и подходит для:
-Высоковольтный вакуумный изолятор
-Диэлектрические компоненты ускорителей частиц
-Опорная конструкция вакуумных электронных приборов

Химическая инертность, коррозионная стойкость
Macor обладает превосходной коррозионной стойкостью к большинству кислот, щелочей и растворителей и не вступает в реакцию с остаточными газами (такими как кислород и водяной пар) в вакуумной среде. Он подходит для:
-Оборудование для плазменного травления
-Компоненты камеры химического осаждения из паровой фазы (CVD)

Простой в точности станок
Macor может быть обработан в сложные формы с помощью обычных станков с ЧПУ или ручных инструментов, что снижает сложность сборки в вакуумных системах и подходит для:
-Вакуумные уплотнения на заказ
-Точный вакуумный канал
-Оптический кронштейн и механизм регулировки

Типичные области применения Macor в вакуумных системах
Оборудование для производства полупроводников
-Использование: Используется для крепления пластин, изоляционных компонентов плазменной реакционной камеры.
-Преимущества: устойчивость к плазменной эрозии, низкое газовыделение, высокая температурная стабильность.

Аэрокосмические и спутниковые компоненты
-Назначение: вакуумный изоляционный слой для космических аппаратов, поддержка спутниковых датчиков.
-Преимущества: Легкий, радиационно-стойкий и термостойкий.

Ускоритель частиц и устройство для ядерного синтеза
-Использование: Сверхвысоковакуумный изолятор, коллиматор пучка.
-Преимущества: высокое удельное сопротивление, низкое газовыделение и радиационная стойкость.

Оборудование для нанесения вакуумных покрытий и оптических покрытий
-Использование: Кронштейн источника испарения, компонент крепления маски.
-Преимущества: Высокая термостойкость, не загрязняющий окружающую среду процесс нанесения покрытия.

Сравнение Macor с другими вакуумными материалами
-Macor превосходит алюмооксидную керамику по технологичности и возможности работы в вакууме.
-По сравнению с металлом, Macor не влияет на степень вакуума из-за дефляции.
-По сравнению с пластиком, Macor обладает более высокой термостойкостью и подходит для работы в суровых условиях.

Обрабатываемая керамика Macor отлично работает в вакуумных средах, в основном благодаря низкой скорости выделения газов, высокой термостойкости, электроизоляции, химической стабильности и простоте обработки. Она широко используется в полупроводниковой, аэрокосмической, ядерно-физической и других областях, решая проблемы газовыделения, термостойкости и изоляции традиционных материалов в вакуумных системах.
Для приложений, где требуются точные, надежные и долговечные вакуумные компоненты, Macor - идеальный выбор.

Керамика Brudeze поставляет и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая глиноземистую керамику, циркониевую керамику, керамику из нитрида кремния, керамику из нитрида алюминия, керамику из карбида кремния, керамику из карбида бора, биокерамику, обрабатываемую керамику и т.д. Мы можем удовлетворить требования заказчика к различным керамическим изделиям.