Адсорбционная керамическая присоска из карбида кремния для станка для резки пластин - это высокоточный адсорбционный инструмент, разработанный специально для процесса резки в полупроводниковом производстве. В основном она изготовлена из пористого материала карбида кремния.
Значимые характеристики:
-Характеристики материала: Материал из карбида кремния обладает чрезвычайно высокой твердостью и износостойкостью и может выдерживать высокие нагрузки, возникающие в процессе резки. В то же время он обладает хорошей термостойкостью и коррозионной стойкостью и может сохранять стабильность в жестких условиях обработки.
-Конструктивные особенности: Поверхность присоски покрыта большим количеством микропор, обработанных по специальной технологии, с равномерным размером пор и хорошей воздухопроницаемостью. Под действием отрицательного давления вакуума пластина может равномерно адсорбироваться, обеспечивая плоское положение пластины в процессе резки.
-Точность обработки: Плоскостность и параллельность чрезвычайно высоки и достигают микрометровой точности. Это гарантирует, что пластина не будет деформироваться или испытывать концентрацию напряжений из-за неровностей поверхности присоски в процессе адсорбции, гарантируя тем самым качество пластины.
Приложение
Адсорбционная керамическая присоска из карбида кремния для станка для резки пластин широко используется в нескольких ключевых процессах производства полупроводников, включая:
-Процесс резки пластин: При производстве полупроводниковых чипов используется станок для резки пластин на отдельные чипы. Керамические присоски из карбида кремния прочно прилипают к пластинам, исключая их смещение и вибрацию во время высокоскоростного процесса резки. Высокоточная плоскостность и параллельность обеспечивают точность и качество резки.
-Процесс истончения: Во время процесса утончения пластины присоска может равномерно поглощать утонченную пластину, предотвращая ее деформацию из-за недостаточной жесткости во время обработки. Хорошая воздухопроницаемость и равномерная сила адсорбции обеспечивают стабильность пластины на протяжении всего процесса утончения.
-Процесс очистки: В процессе очистки присоска прочно прилипает к пластине, предотвращая ее смещение под воздействием потока воды. При этом коррозионная стойкость материала из карбида кремния позволяет ему оставаться стабильным в различных чистящих растворах.
-Процесс инспекции: В процессе проверки пластины присоска может обеспечить ровную поверхность пластины, что способствует высокоточному контролю пластины с помощью инспекционного оборудования. Высокоточная плоскостность и параллельность обеспечивают точность результатов обнаружения.
Индивидуальное обслуживание
Для удовлетворения разнообразных потребностей различных клиентов, многие производители предоставляют индивидуальные услуги, включая керамические присоски из карбида кремния:
-Размер на заказ: В соответствии с требованиями заказчика могут быть изготовлены присоски различных размеров, включая круглые, квадратные, цилиндрические и другие формы. Диапазон размеров варьируется от нескольких миллиметров до нескольких сотен миллиметров.
-Настройка диафрагмы: Изготавливайте присоски с различными апертурами в зависимости от толщины и требований к обработке пластин. Диапазон апертур обычно составляет от нескольких микрометров до нескольких сотен микрометров. Различные размеры пор могут удовлетворять требованиям различных процессов к воздухопроницаемости и адсорбционной способности.
-Настройка плоскости: Для требований высокоточной обработки производители могут предложить присоски с повышенной плоскостностью, которая может контролироваться на микрометровом уровне. Это позволяет удовлетворить строгие требования высокотехнологичного полупроводникового производства к точности резки пластин.
-Настройка материала: В дополнение к материалам из карбида кремния, другие высокопроизводительные керамические материалы также могут быть выбраны в соответствии с потребностями заказчика.
Brudeze Ceramics поставляет и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая глиноземистую керамику, циркониевую керамику, керамику из нитрида кремния, керамику из нитрида алюминия, керамику из карбида кремния, керамику из карбида бора, биокерамику, обрабатываемую керамику и т.д. Мы можем удовлетворить требования заказчика к различным керамическим изделиям.
Теги: керамика из карбида бора