Прецизионная пористая керамическая присоска из карбида кремния - это высокопроизводительный адсорбционный инструмент, широко используемый в полупроводниковой, электронной, фотоэлектрической и других областях. Она изготовлена из высокочистого порошка карбида кремния в качестве основного материала путем реакционного спекания (RBSN) или процесса гелевого литья, и имеет как пористую структуру, так и отличные характеристики карбида кремния.
-Характеристики материала: Карбид кремния обладает высокой твердостью (HV10 2200-2800), высокой теплопроводностью (теплопроводность 120 Вт/м - К, в 5 раз больше, чем у глинозема), высокой термостойкостью (долговременная термостойкость 1600 °С) и хорошей стойкостью к тепловому удару (△ T ≥ 500 °С).
-Конструктивные особенности: Пористая структура, пористость 30% -70%, контролируемый размер пор 1-50 мкм, способный обеспечить равномерную силу адсорбции, сила адсорбции в вакууме ≥ 0,08МПа.
-Точность обработки: Плоскостность ≤ 0,005 мм, способная удовлетворить требования высокоточной обработки.
Приложение
Прецизионные керамические присоски из пористого карбида кремния нашли широкое применение в различных областях благодаря своим превосходным характеристикам
Полупроводниковая и электронная промышленность
-Утончение и склеивание пластин: Подходит для процессов утонения и склеивания 12-дюймовых пластин, пористая структура может равномерно адсорбировать пластину, обеспечивая плоскостность.
-Тепловое управление фотолитографической машиной: быстрая теплопроводность, контроль колебаний температуры кремниевой пластины ≤±0,1 °С, повышение точности экспозиции.
Фотовольтаика и новая энергетика
-Печь для спекания батарей: термостойкость 1600 °С, перенос кремниевых пластин без деформации, скорость фрагментации ≤ 0,01%, подходит для спекания батарей PERC/TOPCon.
-Эпитаксиальный лоток для карбида кремния: высокая чистота (примеси металлов ≤ 1ppm), подходит для эпитаксиального роста SiC (MOCVD/MBE).
Лазерная и прецизионная обработка
-Высокая мощность лазерной резки: устойчивость к лазерной абляции (плотность мощности ≥ 1 кВт/см²), подходит для резки таких материалов, как стекло и керамика.
Подложка для 3D-печати: пористая и воздухопроницаемая, снижает адгезию порошка и повышает эффективность отслаивания напечатанных деталей.
Высокотемпературное промышленное оборудование
-Опорная плита печи спекания: устойчива к высокотемпературной ползучести, несущая способность ≥ 50 кг/м² (1600 ° C), подходит для спекания керамических и металлических порошков.
-Приспособление для вакуумной пайки: устойчиво к коррозии припоя (Ag Cu Ti), многоразовое использование ≥ 1000 раз.
Индивидуальное обслуживание
Чтобы удовлетворить разнообразные потребности различных клиентов, прецизионные пористые керамические присоски из карбида кремния предоставляют комплексные индивидуальные услуги:
Индивидуальный подбор размера и формы
-Диапазон размеров: диаметр от 100 мм до 600 мм, толщина от 5-50 мм, поддержка нерегулярных структур, таких как сектора и прямоугольники.
-Настройка формы: Различные формы присосок могут быть настроены в соответствии с требованиями заказчика для удовлетворения специальных требований к процессу.
Дизайн пор
-Пористость: регулируется от 30% до 70%.
-Размер пор: 1-50 мкм, регулируемый, подходящий размер пор может быть выбран в соответствии с характеристиками объекта адсорбции.
-Структура пор: Поддерживает различные варианты структуры пор, такие как равномерные поры, градиентные поры и направленные каналы, подходящие для вакуумной адсорбции, газопроницаемости и других требований.
Обработка поверхности
-Износостойкое покрытие: Для повышения износостойкости поверхности может быть нанесено покрытие из карбида кремния CVD.
-Антиоксидационное покрытие: Для продления срока службы может быть выбрано антиокислительное покрытие SiO ₂ или Al ₂ O3.
Прецизионные керамические присоски из пористого карбида кремния стали незаменимыми высокопроизводительными инструментами в таких областях, как полупроводники, фотовольтаика и прецизионная обработка, благодаря своим превосходным характеристикам и гибким возможностям настройки.
Brudeze Ceramics поставляет и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая глиноземистую керамику, циркониевую керамику, керамику из нитрида кремния, керамику из нитрида алюминия, керамику из карбида кремния, керамику из карбида бора, биокерамику, обрабатываемую керамику и т.д. Мы можем удовлетворить требования заказчика к различным керамическим изделиям.
Теги: керамика из карбида бора