真空環境におけるマコールセラミックスの適用性と応用

1、マコールセラミックスの特徴
マコールセラミック（微結晶ガラスセラミック）は、米国コーニング社が製造する高性能材料で、真空環境で優れた性能を発揮する独自の物理的・化学的特性を備えている。

ガス放出率が低い： 真空環境におけるマコール・セラミックスのガス放出速度は極めて低く、ほとんど無視できる（<1 × 10 - ⁹ Torr - L/s - cm ²）ため、ガス分子の放出を効果的に回避し、真空チャンバーの純度を維持することができる。
高温耐性： マコールセラミックスは、800℃までの連続使用温度に耐えることができ、ピーク温度は1000℃に達します。その熱膨張係数は金属やガラスに近く、厳しい温度変化にも寸法安定性を保つことができる。
空隙ゼロの構造： マコールセラミックスは気孔率ゼロ、吸湿率ゼロで、湿度の高い環境や高圧環境でもガスの吸着や透過を防ぐことができ、真空システムの長期安定性を保証します。
優れた機械的・化学的安定性 マコールセラミックスは、高い硬度（モース硬度5.5）と耐食性を持っており、酸、アルカリ、放射線環境からの腐食に耐えることができます。
加工性が良い： マコール・セラミックスは、従来のCNC装置を使用して、±0.05mmまたはそれ以上の精度まで公差制御しながら、切断、穴あけ、研磨、加工が可能であり、二次焼結を必要としないため、生産サイクルが大幅に短縮される。

2、真空環境におけるマコールセラミックスの応用シナリオ
マコールセラミックスは、その優れた性能により、様々なハイテク分野、特に真空環境で広く使用されています。

航空宇宙分野
-断熱材：宇宙船が地球に帰還する際、Macorセラミックスは1000℃までの摩擦高温に耐えることができ、宇宙船の内部機器を損傷から守ります。
-電子部品の包装：優れた絶縁性と寸法安定性により、真空や放射線環境での電子部品の信頼性の高い動作を保証します。
-真空シール部品：宇宙船のドアや窓のヒンジやバックルなど、耐放射線性と低排気特性を持つマコー・セラミックスは、何十年にもわたって機内の真空環境を確保することができる。
半導体・レーザー機器
-真空成膜機のブラケットマコールセラミックスの低ガス放出率は、成膜の均一性を確保し、チップの歩留まりを向上させることができます。
-レーザー共振器と反射鏡：高耐熱性と精密加工性で高出力レーザーの安定出力をサポート。
-ウェハーコーティングトレイ：耐腐食性でエッチングガス（Cl₂、SF₆など）にも耐性があり、装置のメンテナンスサイクルを従来の金属支持体の3倍以上に延長。
医療・研究用機器
-質量分析計およびガス分析計：マコールセラミックスのゼロエミッション特性は、測定データの精度を保証し、バックグラウンド干渉を回避します。
-バイオセンサー基板：その化学的不活性は、生物学的サンプルの純度を保護することができ、体外診断機器に適しています。
真空コーティング機のコアアプリケーション
-光学コーティング：例えば、レーザー反射鏡ブラケットや光学レンズキャリアでは、マコールセラミックスの低熱膨張特性により、コーティング工程中の反射鏡位置の安定性を確保し、温度変動による光路ずれを回避することができます。
-半導体コーティング：ウェハーコーティングトレイやMOCVD反応チャンバーサポートなど、Macorセラミックの耐食性と不揮発性放出特性は、窒化ガリウム（GaN）と炭化ケイ素（SiC）エピタキシャル層の高純度成長を保証することができます。

3、Macorセラミックスの加工とカスタマイズの利点
Macorセラミックの加工およびカスタマイズ能力は、真空環境での適用性をさらに高めます。

複雑な構造の精密成形 マコー・セラミックスは、レーザー切断や超音波ドリル加工などの工程を経て、0.5mm開口の微細穴アレイや0.3mm厚の薄肉支持体といった極限設計を実現し、超薄型コーティング基板の要件に適合させることができる。
迅速な対応とコストの最適化： 焼結工程が不要で、直接加工により生産サイクルを30%短縮でき、サンプルは3日で迅速に納品できる。
表面メタライゼーション処理： マコールセラミックスは、コーティング材料との密着性を高め、界面欠陥を低減するために、金やニッケルなどの金属層でコーティングすることができる。