¿Cómo se comporta la cerámica mecanizable de Macor en un entorno de vacío?

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Macor es un material cerámico mecanizable de alto rendimiento desarrollado por la empresa estadounidense Corning, que posee excelentes propiedades mecánicas, aislamiento eléctrico, resistencia a altas temperaturas y estabilidad química. Gracias a su maquinabilidad única (que permite un mecanizado de precisión con herramientas de procesamiento de metales ordinarias), Macor se ha utilizado ampliamente en la industria aeroespacial, de semiconductores, de tecnología de vacío y otros campos.

Características básicas de Macor
Antes de explicar el rendimiento del Macor en un entorno de vacío, entendamos primero sus propiedades físicas y químicas básicas:
Densidad: 2,52 g/cm ³
Resistencia a la flexión:~90 MPa
Coeficiente de dilatación térmica: (20-300 ° C) 9,3 × 10 -⁶/° C
Temperatura máxima de funcionamiento: 1000 ° C (corto plazo), 800 ° C (largo plazo)
Conductividad térmica: 1,46 W/m - K
Resistividad volumétrica (25 ° C):>10 ¹⁴Ω- cm
Velocidad de liberación del vacío: extremadamente bajo (adecuado para entornos de alto y ultra alto vacío)
Estas características hacen que Macor funcione bien en entornos de vacío, especialmente en aplicaciones que requieren resistencia a altas temperaturas, baja liberación de gases y aislamiento eléctrico.

Principales ventajas de Macor en entornos de vacío
Tasa de deflación extremadamente baja
En un sistema de vacío, la desgasificación del material es un factor clave que afecta al grado de vacío. Los principales componentes de Macor son fase de vidrio de borosilicato y fase cerámica, sin aglutinantes orgánicos, por lo que la tasa de liberación de gas es extremadamente baja en el entorno de vacío, adecuado para:
-Alto vacío (HV, 10 -⁶~10 -⁹ mbar)
-Vacío ultraalto (UHV,<10 -⁹ mbar)
En comparación con muchos materiales plásticos o metálicos, Macor no libera compuestos orgánicos volátiles (COV) ni humedad, lo que puede mantener la estabilidad a largo plazo de los sistemas de vacío.

Excelente resistencia a altas temperaturas
Macor puede trabajar de forma estable durante mucho tiempo a 800 ° C y soportar altas temperaturas de 1000 ° C en el corto plazo. Es adecuado para:
-Componentes de aislamiento del horno de vacío
-Accesorios de alta temperatura en la fabricación de semiconductores
-Componentes de protección térmica de la nave espacial

Buen aislamiento eléctrico
En entornos de alto vacío, los materiales de aislamiento eléctrico deben evitar problemas de descarga o fugas. Macor tiene una alta resistividad volumétrica (>10 ¹⁴Ω- cm) y es adecuado para:
-Aislante de vacío de alta tensión
-Componentes dieléctricos del acelerador de partículas
-Estructura de soporte de los dispositivos electrónicos de vacío

Inercia química, resistencia a la corrosión
Macor tiene una excelente resistencia a la corrosión frente a la mayoría de ácidos, bases y disolventes, y no reacciona con gases residuales (como oxígeno y vapor de agua) en un entorno de vacío. Es adecuado para:
-Equipo de grabado por plasma
-Componentes de la cámara de depósito químico en fase vapor (CVD)

Máquina de fácil precisión
Macor puede transformarse en formas complejas utilizando máquinas CNC ordinarias o herramientas manuales, lo que reduce la dificultad de montaje en sistemas de vacío y es adecuado para:
-Sellos de vacío personalizados
-Paso de vacío de precisión
-Soporte óptico y mecanismo de ajuste

Aplicaciones típicas de Macor en sistemas de vacío
Equipos de fabricación de semiconductores
-Uso: Utilizado para fijaciones de obleas, componentes de aislamiento de cámaras de reacción de plasma.
-Ventajas: resistencia a la erosión por plasma, baja liberación de gases, estabilidad a altas temperaturas.

Componentes aeroespaciales y de satélites
-Propósito: Capa de aislamiento al vacío para naves espaciales, soporte para sensores de satélites.
-Ventajas: Ligero, resistente a la radiación y al calor.

Acelerador de partículas y dispositivo de fusión nuclear
-Uso: Aislador de ultra alto vacío, colimador de haces.
-Ventajas: alta resistividad, baja liberación de gases y resistencia a la radiación.

Equipos de revestimiento al vacío y revestimiento óptico
-Utilización: Soporte de fuente de evaporación, componente de fijación de máscara.
-Ventajas: Resistencia a altas temperaturas, proceso de revestimiento no contaminante.

Comparación entre Macor y otros materiales de vacío
-Macor es superior a la cerámica de alúmina en cuanto a procesabilidad y adaptabilidad al vacío.
-Comparado con el metal, Macor no afecta al grado de vacío debido a la deflación.
-Comparado con el plástico, Macor tiene una mayor resistencia a la temperatura y es adecuado para entornos difíciles.

La cerámica mecanizable de Macor ofrece un buen rendimiento en entornos de vacío, debido principalmente a su bajo índice de liberación de gases, su resistencia a altas temperaturas, su aislamiento eléctrico, su estabilidad química y su facilidad de procesamiento. Se utiliza ampliamente en semiconductores, aeroespacial, física nuclear y otros campos, resolviendo los problemas de liberación de gases, resistencia a la temperatura y aislamiento de los materiales tradicionales en sistemas de vacío.
Para aplicaciones que requieren componentes de vacío precisos, fiables y duraderos, Macor es la elección ideal.

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