La ventosa cerámica de adsorción de carburo de silicio para obleas de la máquina de corte de obleas es una herramienta de adsorción de alta precisión diseñada específicamente para el proceso de corte en la fabricación de semiconductores. Está hecha principalmente de material poroso de carburo de silicio.
Características significativas:
-Características del material: El material de carburo de silicio tiene una dureza y una resistencia al desgaste extremadamente altas, y puede soportar grandes tensiones generadas durante el proceso de corte. Al mismo tiempo, también tiene una buena resistencia a las altas temperaturas y a la corrosión, y puede mantener la estabilidad en entornos de procesamiento difíciles.
-Características estructurales: La superficie de la ventosa está distribuida con un gran número de microporos, procesados mediante técnicas especiales, con un tamaño de poro uniforme y una buena transpirabilidad. Bajo la acción de la presión negativa del vacío, la oblea puede adsorberse uniformemente, garantizando que la oblea permanezca plana durante el proceso de corte.
-Precisión de procesamiento: La planitud y el paralelismo son extremadamente altos, alcanzando un nivel de precisión de micrómetros. Esto garantiza que la oblea no se deforme ni experimente concentración de tensiones debido a la irregularidad de la superficie de la ventosa durante el proceso de adsorción, garantizando así la calidad de la oblea.
Aplicación
La ventosa cerámica de adsorción de carburo de silicio para obleas de la máquina cortadora de obleas se utiliza ampliamente en múltiples procesos clave de la fabricación de semiconductores, como:
-Proceso de corte de obleas: En la producción de chips semiconductores, se utiliza una máquina de corte de obleas para cortar la oblea en chips individuales. Las ventosas cerámicas de carburo de silicio pueden adherirse firmemente a las obleas, garantizando que no experimenten desplazamientos ni vibraciones durante los procesos de corte a alta velocidad. Su planitud y paralelismo de alta precisión garantizan la exactitud y calidad del corte.
-Proceso de adelgazamiento: Durante el proceso de adelgazamiento de la oblea, la ventosa puede adsorber uniformemente la oblea adelgazada para evitar deformaciones debidas a una rigidez insuficiente durante el proceso. Su buena transpirabilidad y fuerza de adsorción uniforme garantizan que la oblea permanezca estable durante todo el proceso de adelgazamiento.
-Proceso de limpieza: Durante el proceso de limpieza, la ventosa puede adherirse firmemente a la oblea, evitando que se desplace bajo el impacto del flujo de agua. Mientras tanto, la resistencia a la corrosión del material de carburo de silicio le permite permanecer estable en diversas soluciones de limpieza.
-Proceso de inspección: Durante el proceso de inspección de la oblea, la ventosa puede garantizar que la superficie de la oblea sea plana, lo que facilita la inspección de alta precisión de la oblea por parte del equipo de inspección. Su planitud y paralelismo de alta precisión garantizan la exactitud de los resultados de detección.
Servicio personalizado
Para satisfacer las diversas necesidades de los distintos clientes, muchos fabricantes ofrecen servicios personalizados de ventosas cerámicas de carburo de silicio, entre los que se incluyen:
-Personalización del tamaño: Se pueden personalizar diferentes tamaños de ventosas según los requisitos del cliente, incluidas formas circulares, cuadradas, cilíndricas y otras. La gama de tamaños oscila entre unos pocos milímetros y varios cientos de milímetros.
-Personalización de la apertura: Personalice las ventosas con diferentes aperturas en función del grosor y los requisitos de procesamiento de la oblea. La gama de aberturas suele oscilar entre unos pocos micrómetros y varios cientos de micrómetros. Los diferentes tamaños de poro pueden satisfacer los requisitos de diferentes procesos en cuanto a transpirabilidad y capacidad de adsorción.
-Personalización de la planicidad: Para los requisitos de mecanizado de alta precisión, los fabricantes pueden suministrar ventosas con mayor planitud, que pueden controlarse a nivel micrométrico. Esto puede satisfacer los estrictos requisitos de la fabricación de semiconductores de gama alta en cuanto a precisión de corte de obleas.
-Personalización del material: Además de los materiales de carburo de silicio, también se pueden seleccionar otros materiales cerámicos de alto rendimiento según las necesidades del cliente.
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Etiquetas: cerámica de carburo de boro