Anwendung der Macor-Keramikhalterung in der Vakuum-Beschichtungsanlage

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Die Leistung von Vakuumbeschichtungsanlagen wirkt sich direkt auf die Qualität und die Produktionseffizienz von Dünnschichten in Präzisionsfertigungsbereichen wie Halbleitern, optischen Beschichtungen und Luft- und Raumfahrt aus. Als tragende Kernkomponente des Beschichtungsprozesses bestimmt die Leistung des Trägermaterials die Gleichmäßigkeit, Sauberkeit und Lebensdauer der Beschichtung. Die keramischen Halterungen von Macor werden aufgrund ihrer geringen Gasfreisetzungsrate, ihrer hohen Temperaturbeständigkeit und ihrer hohen Stabilität zu einer revolutionären Lösung auf dem Gebiet der Vakuumbeschichtung.

Die vier wichtigsten Vorteile der Macor Keramikbrackets

1. Extrem niedrige Gasfreisetzungsrate, wodurch die Reinheit der Beschichtung gewährleistet wird
   Die Gasfreisetzungsrate von Macor-Keramik in einer Vakuumumgebung ist vernachlässigbar gering (<1 × 10 -⁹ Torr - L/s - cm ²), und es werden fast keine Gasmoleküle freigesetzt, wodurch eine Verunreinigung des Films durch Verflüchtigung des Materials während des Beschichtungsprozesses vermieden wird. Diese Eigenschaft macht es zu einer idealen Wahl für die optische Beschichtung und die Beschichtung von Halbleiterwafern und verbessert die Beschichtungsausbeute erheblich.
2. Hohe Temperaturbeständigkeit und thermische Stabilität, geeignet für extreme Arbeitsbedingungen
   Macor-Keramik kann kontinuierlich hohen Temperaturen von 800 ℃ standhalten, mit Spitzentemperaturen von bis zu 1000 ℃, und ihr Wärmeausdehnungskoeffizient (9,3 × 10 -⁶/K) liegt nahe an dem von Metallen, wodurch die Formstabilität in der Hochtemperaturkammer der Beschichtungsmaschine erhalten bleibt und eine Verschiebung der Beschichtung durch thermische Verformung vermieden wird.
3. Porenfreie Struktur, keine Adsorption von Verunreinigungen
   Die nicht poröse Oberfläche und die nicht hygroskopischen Eigenschaften verhindern das Eindringen von Restbeschichtungsstoffen oder Flüssigkeiten. Sie eignen sich besonders für komplexe Beschichtungsumgebungen in PVD- (Physical Vapor Deposition) und CVD- (Chemical Vapor Deposition) Verfahren und gewährleisten eine langfristige Verwendung ohne Verschmutzungsrisiken.
4. Fähigkeit zur Präzisionsbearbeitung, anpassbar an komplexe Designs
   Macor-Keramik kann durch CNC-Bearbeitung eine Toleranz von ± 0,01 mm erreichen und unterstützt nicht standardisierte Designs wie poröse Träger und gekrümmte tragende Strukturen, die die Anforderungen an die Tragfähigkeit von hochpräzisen optischen Dünnschichten und nanoskaligen Halbleiterbeschichtungen erfüllen.

Die wichtigsten Anwendungsszenarien in Vakuumbeschichtungsanlagen

1. Optische Beschichtung: Wächter der hochpräzisen dünnen Schichten
   Laser-Reflektor-Halterung: Die geringe thermische Ausdehnung sorgt für eine stabile Position des Reflektors während des Beschichtungsprozesses, vermeidet durch Temperaturschwankungen verursachte Abweichungen des optischen Weges und verbessert die Gleichmäßigkeit der Antireflexionsschicht und der hochreflektierenden Schicht.
   -Optischer Linsenträger: Oberflächenglätte Ra<0,4 μ m, wodurch Oberflächenfehler der Beschichtung reduziert und die Durchlässigkeit und das Reflexionsvermögen der optischen Geräte gewährleistet werden.
2. Halbleiterbeschichtung: der Grundstein für Prozesse im Nanomaßstab
   -Wafer-Beschichtungstablett: korrosionsbeständig und resistent gegen Ätzgase (wie Cl ₂, SF ₆), wodurch die Wartungszyklen der Geräte mehr als dreimal so lang sind wie bei herkömmlichen Metallträgern.
   -MOCVD-Reaktionskammerträger: Keine Freisetzung flüchtiger Stoffe bei hohen Temperaturen, was ein hochreines Wachstum von Galliumnitrid- (GaN) und Siliziumkarbid- (SiC) Epitaxieschichten gewährleistet.
3. Beschichtung für die Luft- und Raumfahrt: Zuverlässige Unterstützung für extreme Umgebungen
   -Triebwerksschaufel-Beschichtungsvorrichtung: kann der Plasmaspritzumgebung bei 1500 ℃ standhalten, gewährleistet eine gleichmäßige Haftung der Wärmedämmschicht (TBC) und verbessert die Hochtemperaturbeständigkeit der Schaufeln.
   -Halterung für optische Komponenten von Satelliten: Vakuumverträglichkeit und Strahlungsbeständigkeit, geeignet für extreme Weltraumumgebungen, mit einer Lebensdauer der Beschichtung von über 10 Jahren.

Vorteile der Macor-Keramikbrackets bei der Verarbeitung und individuellen Anpassung

1. Präzisionsblankpressen von komplexen Strukturen
   Unterstützung von Laserschneiden, Ultraschallbohren und anderen Prozessen, um extreme Designs zu erreichen, wie z. B. Mikrobohrungen mit 0,5 mm Öffnung und dünnwandige Träger mit 0,3 mm Dicke, die für ultradünne Beschichtungssubstrate geeignet sind.
2. Schnelle Reaktion und Kostenoptimierung
   -Kein Sinterprozess erforderlich: Die direkte Bearbeitung verkürzt den Produktionszyklus um 30%, und die Muster können innerhalb von 3 Tagen geliefert werden.
   -Oberflächenmetallisierung: Es kann mit Metallschichten wie Gold und Nickel beschichtet werden, um die Haftung mit dem Beschichtungsmaterial zu verbessern und Grenzflächenfehler zu verringern.

Die drei wichtigsten Werte, die für die Wahl von Macor Keramikbrackets sprechen

1. Verbesserung der Beschichtungsqualität
   Doppelte Garantie für Sauberkeit und Stabilität, mit einer Verbesserung der Filmgleichmäßigkeit von über 20%.
2. Verlängerte Lebensdauer der Geräte
   Die hohe Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit verlängert den Wartungszyklus auf das Dreifache im Vergleich zu herkömmlichen Materialien.
3. Optimierung der Gesamtkosten über den gesamten Zyklus
   Verbesserung der Ausbeute und Senkung der Wartungskosten, mit einem 40% verkürzten Investitionszyklus.

Macor Keramik-Klammern haben die Leistungsstandards der Vakuumbeschichtungstechnologie durch Durchbrüche in der Materialwissenschaft neu definiert. Ob Präzisions-Halbleiterbeschichtungen im Nanobereich oder anspruchsvolle optische Dünnschichten, Macor-Keramik bietet hochstabile, umweltfreundliche und anpassungsfähige Lösungen.