Является ли глиноземистая керамика полупроводниковой керамикой

Основные характеристики алюмооксидной керамики
Керамика на основе оксида алюминия (керамика Al ₂ O3) - это высокоэффективный керамический материал с α - типом триоксида алюминия (α - Al ₂ O3) в качестве основной кристаллической фазы, который имеет следующие важные характеристики:
-Высокая твердость и износостойкость: Твердость по шкале Мооса может достигать 8-9 единиц, уступая лишь алмазу.
-Высокая температура плавления и высокая температурная стабильность: Температура плавления составляет около 2072 °С, и он может сохранять стабильность в условиях высоких температур.
-Отличные электроизоляционные характеристики: Обладая объемным удельным сопротивлением до 10 ¹⁴ -10 ¹⁶Ω- см, он является идеальным электроизоляционным материалом.
-Хорошая химическая стабильность: Отличная устойчивость к кислотам, щелочам (кроме фтористоводородной кислоты) и плазме.
-Низкий коэффициент теплового расширения: Подобно кремниевым материалам (7-8 × 10 -⁶/℃), он может уменьшить тепловой стресс.

Является ли глиноземистая керамика полупроводниковой керамикой
Керамика на основе оксида алюминия не является полупроводниковой керамикой. Проводимость полупроводниковой керамики находится между проводимостью проводников и изоляторов, и ее проводимость существенно зависит от внешних факторов, таких как температура, влажность, свет, электрическое и магнитное поле. Керамика на основе оксида алюминия обладает высоким удельным электрическим сопротивлением и отличными электроизоляционными свойствами, но ее проводимость крайне низка, что не соответствует определению полупроводниковых материалов.

Применение алюмооксидной керамики в области полупроводников
Хотя глиноземная керамика сама по себе не является полупроводниковым материалом, ее превосходные изоляционные свойства, высокая температурная стабильность и химическая устойчивость позволяют широко использовать ее в полупроводниковой сфере.

1. Подложка для упаковки интегральных схем: Керамика на основе оксида алюминия используется в многослойных керамических подложках для переноса микросхем и электрических соединений.
2. Ключевые компоненты оборудования для производства полупроводников: Глиноземистые керамические компоненты широко используются в камерах травления, газовых соплах, стадиях изготовления пластин и т.д. Их высокая чистота (≥ 99,5%) позволяет предотвратить загрязнение пластин.
3. Изоляция и функция рассеивания тепла: Теплопроводность (20-30 Вт/(м - К)) и низкие диэлектрические потери алюмооксидной керамики делают ее идеальным изоляционным материалом, пригодным для использования в высокочастотных и высоковольтных средах.

Керамика на основе оксида алюминия являются незаменимыми изоляционными материалами в полупроводниковом производстве благодаря своей высокой изоляции и стабильности, нежели полупроводниковая керамика. Его широкое применение в полупроводниковых приборах обусловлено в основном его превосходными физическими, химическими и механическими свойствами.