Сайт центральный перфорированный шкив из алюмооксидной керамики это передовой керамический компонент, состоящий в основном из высокочистой кристаллической фазы α - Al ₂ O3, которая изготавливается путем изостатического прессования, высокотемпературного спекания и точной механической обработки. Его основной материал имеет содержание глинозема более 99,5%.
Основные характеристики:
Экстремальная приспособляемость к окружающей среде: Имея температуру плавления до 2072 ℃, он может стабильно работать в среде с температурой 1600 ℃ в течение длительного времени, обладая отличной устойчивостью к тепловому удару и коэффициентом теплового расширения, составляющим лишь одну треть от коэффициента расширения металлов.
Ультра износостойкость: Твердость по шкале Мооса 9, износостойкость в 150 раз выше, чем у марганцевой стали, а скорость износа в условиях сухого трения составляет менее 0,01 мм³/Н - м.
Высокоточная обработка: При использовании пятиосевого гравировально-фрезерного станка для обработки керамики допуск на центральное отверстие контролируется в пределах ±0,005 мм, а шероховатость поверхности Ra составляет ≤ 0,2 мкм.
Изоляционные характеристики: Объемное удельное сопротивление>10 ¹⁴Ω- см, диэлектрическая прочность до 20 кВ/мм, подходит для работы в условиях сильного электрического поля.
Типичный случай применения: В роботе для обработки полупроводниковых пластин после непрерывной работы в течение 12 месяцев износ керамического шкива определенного типа составляет всего 0,03 мм, что в 8 раз больше, чем у традиционных металлических шкивов.
Основной сценарий применения: Устранение болевых точек в промышленности
- Оборудование для производства полупроводников
Система переноса пластин: В качестве ключевого вращающегося компонента роботизированной руки центральная перфорация объединяет двойные каналы вакуумной адсорбции и газового охлаждения для решения проблемы тепловой деформации во время перемещения пластин.
Камера плазменного травления: использование шкивов с покрытием из высокочистого глинозема для контроля загрязнения ионами металлов на уровне ppb, улучшение равномерности травления на 30%.
Химико-механическая полировка (CMP): на поверхность шкива наносится пленка из алмазоподобного углерода (DLC), которая снижает коэффициент трения до 0,05 и значительно уменьшает износ полировального круга. - Фотоэлектрическая промышленность
Направляющее колесо для линии резки кремниевых пластин: Керамический шкив из оксида алюминия заменяет традиционное колесо из смолы, увеличивая срок службы проволочной пилы с 500 до 3000 часов и достигая точности резки ± 1 мкм.
Печь для восстановления поликристаллического кремния: центральная перфорированная структура обеспечивает циркуляцию водорода для охлаждения, контролируя градиент температуры внутри печи в пределах ± 5 ℃, и увеличивая производительность одной печи на 15%. - Высокотехнологичное текстильное оборудование
Направляющее колесо ткацкого станка: Поверхность керамического шкива обработана микропорами (апертура 5-10 мкм), эффективно снижающими накопление статического электричества и уменьшающими частоту обрыва основы до 0,3 раза на 10000 метров.
Линия по производству препрегов из углеродного волокна: использование самосмазывающихся шкивов из алюмооксидной керамики позволяет снизить степень царапания поверхности препрега с 2% до 0,05%. - Специальные промышленные сценарии
Оборудование для испытания ядерных топливных стержней: Скорость деградации характеристик радиационно-стойких алюмокерамических шкивов при облучении гамма-лучами 60Co составляет менее 0,1% в год.
Оборудование для глубоководной разведки: Благодаря испытаниям при экстремальных температурах от -40 ℃ до 150 ℃, он решает проблему заклинивания, вызванную тепловым расширением и сжатием традиционных металлических компонентов.
Индивидуальная система обслуживания
- Настройка материалов
Градация по чистоте: Доступны три варианта материала: 99,5% (полупроводниковый класс), 99,9% (оптический класс) и 99,99% (ядерный класс).
Модификация композита: Для повышения вязкости разрушения можно добавить вискеры SiC (объемная доля 5-15%) или допировать MgO (0,3-0,5wt%) для снижения температуры спекания. - Структурная оптимизация
Конструкция системы отверстий: поддерживает обработку одного отверстия, нескольких отверстий и отверстий неправильной формы (например, отверстие в виде цветка сливы или квадратное отверстие), с минимальным размером пор до 0,5 мм.
Облегченная конструкция: использование технологии оптимизации топологии позволяет снизить вес на 30-50%, обеспечивая при этом прочность. - Обработка поверхности
Прецизионное шлифование: Достижение зеркально ровной поверхности (Ra ≤ 0,05 мкм) и снижение коэффициента трения до 0,02.
Функциональное покрытие: Доступно покрытие PTFE (антифрикционное), Al ₂ O ∝ - TiC композитное покрытие (износостойкое), Y ₂ O ∝ покрытие (антиплазменная эрозия) и другие варианты.
Система технической поддержки: Обеспечение надежности продукции
Процесс спекания: Применяя технологию спекания под давлением, достигается теоретическая плотность 99,9% при 1600 ℃, размер зерна контролируется в пределах 1-3 мкм.
Неразрушающие испытания: Используйте рентгеновскую компьютерную томографию (КТ) для обнаружения внутренних дефектов и обеспечения пористости<0.1%.
Прогноз на жизнь: На основе модели износа Арчарда можно создать цифровую двойную систему, позволяющую прогнозировать цикл замены шкива на 6 месяцев вперед.
Типичный клиентский случай: После внедрения специализированных центральных перфорационных шкивов международный гигант по производству полупроводникового оборудования добился повышения общей эффективности оборудования (OEE) на 18% и снижения ежегодных затрат на обслуживание на $420000. В настоящее время этот продукт прошел сертификацию SEMI S2/S8 и стал компонентом стандартной конфигурации для заводов по производству 12-дюймовых пластин.
Наша команда инженеров будет тесно сотрудничать с вами на протяжении всего процесса, от технических консультаций и разработки решений до точного производства и проверки качества, чтобы обеспечить точное решение ваших проблем и помочь вам повысить производительность вашего оборудования до новых высот.
Свяжитесь с нами, чтобы получить эксклюзивные индивидуальные решения и техническую консультацию!
Керамика Brudeze поставляет и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая глиноземистую керамику, циркониевую керамику, керамику из нитрида кремния, керамику из нитрида алюминия, керамику из карбида кремния, керамику из карбида бора, биокерамику, обрабатываемую керамику и т.д. Мы можем удовлетворить требования заказчика к различным керамическим изделиям.
Теги: керамика из карбида бора
