Macor는 미국 코닝사에서 개발한 기계 가공이 가능한 유리 세라믹으로 우수한 기계적 특성, 고온 저항성(최대 1000℃), 전기 절연성 및 화학적 안정성을 가지고 있습니다. 독특한 미세 구조(유리 매트릭스에 운모 결정이 고르게 분포)로 인해 선삭, 밀링, 드릴링 등과 같은 전통적인 금속 가공 장비를 통해 가공할 수 있어 항공우주, 반도체, 의료 장비 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 그러나 Macor는 기계 가공 후 표면에 작은 스크래치와 거칠기가 남을 수 있으며, 이는 밀봉, 광학 성능 또는 생체 적합성에 영향을 미치기 때문에 연마 공정이 매우 중요합니다.
Macor 표면 연마의 주요 방법 Macor의 연마 공정은 기계적 연마, 화학적 연마, 전해 연마 또는 복합 연마 등 필요에 따라 선택할 수 있습니다. 각기 다른 방법은 다양한 정확도와 적용 시나리오에 적합합니다.
기계적 연마 기계식 연마는 가장 일반적으로 사용되는 방법으로, 대부분의 Macor 부품에 적합하며 특히 높은 평활도가 필요하지만 나노미터 수준의 정밀도가 필요하지 않은 응용 분야에 적합합니다. (1) 다이아몬드 연마 및 연마 -방법: 다이아몬드 연마재(예: 다이아몬드 연마 휠, 연마 페이스트)를 사용하여 입자 크기를 점차적으로 줄여(예: 400 → 800 → 1200 → 3000) 연마합니다. -장점: 강력한 제어 기능으로 복잡한 모양의 부품에 적합합니다. -단점: 효율성이 낮고 잔여 미세 스크래치가 남을 수 있습니다. -적용 가능한 시나리오: 고정밀 씰링 표면, 광학 부품 베이스. (2) 초음파 보조 연마 -방법: 초음파 진동과 미세 연마재(예: 알루미나 또는 탄화규소 현탁액)를 결합하여 고주파 진동을 사용하여 표면 물질을 제거합니다. -장점: 공구 마모를 줄이고 연마 균일도를 향상시킬 수 있습니다. -단점: 장비 비용이 상대적으로 높습니다. -적용 가능한 시나리오: 소형 정밀 부품, 내부 구멍 연마.
화학적 연마 화학적 연마는 부식을 통해 표면의 미세한 돌출부를 제거하여 대량 생산에 적합합니다. (1) 불산(HF) 기반 용액 연마 -방법: 희석된 HF 용액(예: 5%~10%)에 담그거나 닦고 반응하여 불소를 생성하고 표면 유리상을 용해시킵니다. -장점: 고효율, 복잡한 구조를 처리할 수 있습니다. -단점: 농도와 시간을 엄격하게 제어해야 하며, 그렇지 않으면 과도한 부식이 발생할 수 있습니다. -적용 가능한 시나리오: 반도체 장비의 절연 부품. (2) 알칼리성 용액 연마 -방법: 가열 조건(60~80℃)에서 NaOH 또는 KOH 용액(pH>12)을 사용하여 표면을 약간 부식시킵니다. -장점: HF보다 안전하며 산에 민감한 상황에 적합합니다. -단점: 연마 속도가 느립니다.
전해 연마(전기 화학 연마) 전해 연마는 표면 금속 도금 후와 같이 전도성이 개선된 Macor에 적합합니다. -방법: 구성 요소를 양극으로 사용하고 전해질(예: 인산과 황산의 혼합물)에 전기를 가하고 선택적 용해를 통해 부드러움을 얻습니다. -장점: 기계적 스트레스 없이 거울 효과를 얻을 수 있습니다. -단점: 사전 금속화가 필요하며 프로세스가 복잡합니다. -적용 가능한 시나리오: RF 부품, 초진공 환경용 부품.
복합 연마(기계+화학) 예를 들어 기계적 연삭과 화학적 부식을 결합합니다: -화학적 기계적 연마(CMP): 나노 연마제(예: CeO ₂)가 포함된 알칼리성 슬러리를 사용하여 기계적 제거와 화학 반응을 동시에 달성합니다. -적용 가능한 시나리오: 광학 등급 표면(Ra<0.01 μ m).
Macor 폴리싱 후 성능 향상 Macor는 폴리싱 프로세스를 최적화함으로써 다음과 같은 문제를 해결할 수 있습니다:
밀봉 개선: 표면 미세 기공을 줄여 가스 또는 액체 누출을 방지합니다(예: 진공 챔버 밀봉 링).
내식성 향상: 매끄러운 표면은 오염 물질을 흡착할 가능성이 적어 의료용 임플란트의 수명을 연장합니다.
광학 성능 향상: 레이저 장치 지원 플랫폼에 적합한 빛의 산란을 줄입니다.
마찰과 마모를 줄입니다: 연마된 베어링 또는 가이드 구성품이 더 부드럽게 작동합니다.
Macor의 연마 방법은 특정 요구 사항에 따라 선택해야 합니다: -경제형: 기계식 연마(다이아몬드 연마). -고정밀 유형: 화학적 기계 연마(CMP) 또는 전해 연마. -복잡한 구조 유형: 초음파 또는 화학적 연마.
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