진공 코팅 기계에 Macor 세라믹 브래킷 적용

진공 코팅기의 성능은 반도체, 광학 코팅, 항공우주 등 정밀 제조 분야에서 박막의 품질과 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 코팅 공정의 핵심 하중 지지 부품인 지지재의 성능에 따라 코팅의 균일성, 청결도, 장비 수명이 결정됩니다. Macor 세라믹 브래킷은 낮은 가스 방출률, 높은 온도 저항성, 높은 안정성으로 인해 진공 코팅 분야에서 혁신적인 솔루션으로 자리 잡고 있습니다.

Macor 세라믹 브라켓의 4가지 핵심 장점

극도로 낮은 가스 방출률로 코팅의 순도 보장
진공 환경에서 Macor 세라믹의 가스 방출률은 무시할 수 있을 정도로 낮으며(<1 × 10 -⁹ Torr - L/s - cm ²), 가스 분자가 거의 방출되지 않아 코팅 공정 중 재료 휘발로 인한 필름 불순물 오염을 방지할 수 있습니다. 이러한 특성으로 인해 광학 코팅 및 반도체 웨이퍼 코팅에 이상적인 선택이며 코팅 수율을 크게 향상시킵니다.
높은 내열성과 열 안정성으로 극한의 작업 조건에 적합
마코 세라믹은 800℃의 연속 고온, 최고 온도 1000℃까지 견딜 수 있으며 열팽창 계수(9.3 × 10 -⁶/K)가 금속에 가까워 코팅기의 고온 챔버에서 치수 안정성을 유지하고 열 변형으로 인한 코팅 변위를 방지할 수 있습니다.
제로 기공 구조로 오염 물질 흡착 제거
비다공성 표면과 비흡습성으로 코팅 물질 잔류나 액체 침투를 방지할 수 있으며, 특히 PVD(물리적 기상 증착) 및 CVD(화학 기상 증착) 공정의 복잡한 코팅 환경에 적합하여 오염 위험 없이 장기간 사용할 수 있습니다.
복잡한 설계에 적용 가능한 정밀 가공 기능
Macor 세라믹은 CNC 가공을 통해 ± 0.01mm의 공차를 달성하여 다공성 지지대 및 곡선형 하중 지지 구조와 같은 비표준 설계를 지원하고 고정밀 광학 박막 및 나노 규모 반도체 코팅의 하중 지지 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

진공 코팅기의 핵심 적용 시나리오

광학 코팅: 고정밀 박막의 수호자
-레이저 리플렉터 브래킷: 낮은 열팽창 특성으로 코팅 공정 중 반사판의 안정적인 위치를 보장하여 온도 변동으로 인한 광 경로 편차를 방지하고 반사 방지 필름과 고반사 필름의 균일성을 향상시킵니다.
-광학 렌즈 캐리어: 표면 평활도 Ra<0.4 μ m로 코팅 표면 결함을 줄이고 광학 장치의 투과율과 반사율을 보장합니다.
반도체 코팅: 나노 스케일 공정의 초석
-웨이퍼 코팅 트레이: 부식에 강하고 에칭 가스(Cl ₂, SF ₆ 등)에 대한 내성이 있어 장비 유지보수 주기를 기존 금속 지지대보다 3배 이상 연장합니다.
-MOCVD 반응 챔버 지원: 고온에서 휘발성 방출이 없어 질화갈륨(GaN) 및 실리콘 카바이드(SiC) 에피택셜 층의 고순도 성장을 보장합니다.
항공우주 코팅: 극한 환경을 위한 안정적인 지원
-엔진 블레이드 코팅 고정 장치: 1500℃의 플라즈마 분사 환경을 견딜 수 있어 열 차단 코팅(TBC)의 균일한 접착을 보장하고 블레이드의 고온 저항성을 개선합니다.
-위성 광학 부품 브래킷: 진공 호환성 및 내방사선성, 극한의 우주 환경에 적합하며 코팅 수명이 10년 이상입니다.

Macor 세라믹 브라켓의 가공 및 커스터마이징 이점

복잡한 구조의 정밀 성형
레이저 절단, 초음파 드릴링 및 기타 공정을 지원하여 초박형 코팅 기판 요구 사항에 적합한 0.5mm 조리개 마이크로 홀 어레이 및 0.3mm 두께의 얇은 벽 지지대와 같은 극한의 디자인을 구현할 수 있습니다.
신속한 대응 및 비용 최적화
-소결 공정 불필요: 직접 가공으로 생산 주기를 30% 단축하고 샘플을 3일 만에 신속하게 배송할 수 있습니다.
-표면 금속화 처리: 금, 니켈 등의 금속층으로 코팅하여 코팅재와의 접착력을 높이고 계면 결함을 줄일 수 있습니다.