진공 환경에서의 마코르 세라믹의 적용 가능성 및 응용 분야

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1, 마코 세라믹의 특징
Macor 세라믹(미세 결정 유리 세라믹)은 미국 코닝(Corning Incorporated)에서 생산하는 고성능 소재로, 진공 환경에서 우수한 성능을 발휘하는 독특한 물리적 및 화학적 특성을 지니고 있습니다.

1. 낮은 가스 방출률: 진공 환경에서 Macor 세라믹의 가스 방출 속도는 거의 무시할 수 있을 정도로 매우 낮아(<1 × 10 -⁹ Torr - L/s - cm ²) 가스 분자의 방출을 효과적으로 방지하고 진공 챔버의 순도를 유지할 수 있습니다.
2. 높은 내열성: 마코 세라믹은 최대 800℃의 연속 사용 온도와 최대 1000℃의 최고 온도를 견딜 수 있습니다. 열팽창 계수는 금속 및 유리와 유사하며 극심한 온도 변화에서도 치수 안정성을 유지할 수 있습니다.
3. 제로 다공성 구조: Macor 세라믹은 다공성이 없고 수분 흡수가 없어 습하거나 고압 환경에서도 가스 흡착 및 투과를 방지하여 진공 시스템의 장기적인 안정성을 보장할 수 있습니다.
4. 기계적 및 화학적 안정성이 뛰어납니다: 마코 세라믹은 높은 경도(모스 경도 5.5)와 내식성을 가지고 있어 산, 알칼리, 방사선 환경에 의한 부식을 견딜 수 있습니다.
5. 가공성이 우수합니다: Macor 세라믹은 기존 CNC 장비를 사용하여 절단, 드릴링, 연마 및 가공할 수 있으며, 2차 소결 없이도 최대 ± 0.05mm 이상의 정밀도로 공차를 제어할 수 있어 생산 주기를 크게 단축할 수 있습니다.

2, 진공 환경에서 마코 세라믹의 응용 시나리오
마코 세라믹은 뛰어난 성능으로 인해 다양한 첨단 기술 분야, 특히 진공 환경에서 널리 사용되어 왔습니다.

1. 항공우주 분야
   -단열 소재: 우주선이 지구로 귀환할 때 Macor 세라믹은 최대 1000℃의 마찰 고온을 견딜 수 있어 우주선 내부 장비가 손상되지 않도록 보호합니다.
   -전자 부품 포장: 뛰어난 절연성과 치수 안정성으로 진공 및 방사선 환경에서 전자 부품의 안정적인 작동을 보장합니다.
   -진공 밀폐 부품: 우주선 도어 및 창문 경첩과 버클과 같이 내방사선성과 낮은 배기 특성을 지닌 Macor 세라믹은 수십 년 동안 객실 내부의 진공 환경을 보장할 수 있습니다.
2. 반도체 및 레이저 장비
   -진공 코팅 기계 브래킷: Macor 세라믹의 낮은 가스 방출률은 필름 증착의 균일성을 보장하고 칩 수율을 향상시킬 수 있습니다.
   -레이저 캐비티 및 반사판: 높은 내열성과 정밀 가공 기능으로 고출력 레이저의 안정적인 출력을 지원합니다.
   -웨이퍼 코팅 트레이: 부식에 강하고 에칭 가스(Cl ₂, SF ₆ 등)에 대한 내성이 있어 장비 유지보수 주기를 기존 금속 지지대보다 3배 이상 연장합니다.
3. 의료 및 연구 기기
   -질량 분석기 및 가스 분석기: Macor 세라믹의 제로 방출 특성은 측정 데이터의 정확성을 보장하고 배경 간섭을 방지합니다.
   -바이오센서 기판: 화학적 불활성으로 생물학적 샘플의 순도를 보호할 수 있으며 체외 진단 장비에 적합합니다.
4. 진공 코팅기의 핵심 애플리케이션
   -광학 코팅: 예를 들어 레이저 리플렉터 브래킷과 광학 렌즈 캐리어의 경우, Macor 세라믹의 낮은 열팽창 특성으로 코팅 공정 중 리플렉터 위치의 안정성을 보장하여 온도 변동으로 인한 광 경로 이탈을 방지할 수 있습니다.
   -반도체 코팅: 웨이퍼 코팅 트레이 및 MOCVD 반응 챔버 지지대와 같은 Macor 세라믹의 내식성과 비휘발성 방출 특성은 질화갈륨(GaN) 및 탄화규소(SiC) 에피택셜 층의 고순도 성장을 보장할 수 있습니다.

3, Macor 세라믹의 가공 및 맞춤화 장점
Macor 세라믹의 가공 및 맞춤화 기능은 진공 환경에서의 적용 가능성을 더욱 향상시킵니다.

1. 복잡한 구조의 정밀 성형: Macor 세라믹은 초박형 코팅 기판의 요구 사항에 맞게 레이저 절단 및 초음파 드릴링과 같은 공정을 통해 0.5mm 조리개 마이크로 홀 어레이 및 0.3mm 두께의 얇은 벽 지지대와 같은 극한의 디자인을 구현할 수 있습니다.
2. 신속한 대응 및 비용 최적화: 소결 공정이 필요하지 않고 직접 가공을 통해 생산 주기를 30% 단축할 수 있으며 샘플을 3일 만에 신속하게 배송할 수 있습니다.
3. 표면 금속화 처리: Macor 세라믹은 금과 니켈과 같은 금속 층으로 코팅하여 코팅 재료와의 접착력을 높이고 인터페이스 결함을 줄일 수 있습니다.

4、 마코 세라믹을 선택하는 이유

1. 신뢰성: Macor 세라믹은 RoHS 인증을 통과했으며 국제 환경 및 안전 표준을 준수합니다.
2. 경제성: 긴 수명과 낮은 유지보수 비용으로 총 수명 주기 비용을 40% 이상 절감할 수 있습니다.
3. 커스터마이징: 다양한 고객의 요구를 충족할 수 있는 비표준 설계와 빠른 프로토타입 제작을 지원합니다.

Macor 세라믹은 진공 환경에서의 뛰어난 성능으로 정밀 제조의 경계를 재정의하고 있습니다. 항공우주 공학에서 극도의 안정성을 추구하거나 반도체 생산 라인에서 초고청정도가 필요한 경우, Macor 세라믹은 안정적이고 효율적이며 지속 가능한 솔루션을 제공할 수 있습니다.