웨이퍼 절단기의 웨이퍼 흡착 실리콘 카바이드 세라믹 흡입 컵은 반도체 제조의 절단 공정을 위해 특별히 설계된 고정밀 흡착 공구입니다. 주로 다공성 실리콘 카바이드 재질로 만들어집니다.
중요한 특징:
-재료 특성: 실리콘 카바이드 소재는 경도와 내마모성이 매우 높고 절삭 공정에서 발생하는 높은 응력을 견딜 수 있습니다. 동시에 고온 저항성과 내식성이 우수하고 열악한 가공 환경에서도 안정성을 유지할 수 있습니다.
-구조적 특징: 흡입 컵 표면에는 특수 기술을 통해 처리된 수많은 미세 기공이 분포되어 있으며 기공 크기가 균일하고 통기성이 우수합니다. 진공 음압의 작용으로 웨이퍼를 균일하게 흡착하여 절단 공정 중에 웨이퍼가 평평하게 유지되도록 할 수 있습니다.
-처리 정확도: 평탄도와 평행도가 매우 높아 마이크로미터 수준의 정밀도에 도달합니다. 따라서 흡착 과정에서 흡착 컵 표면의 요철로 인해 웨이퍼가 변형되거나 응력이 집중되지 않아 웨이퍼의 품질을 보장할 수 있습니다.
애플리케이션
웨이퍼 절단기의 웨이퍼 흡착 실리콘 카바이드 세라믹 흡입 컵은 다음을 포함하여 반도체 제조의 여러 주요 공정에서 널리 사용됩니다:
-웨이퍼 절단 공정: 반도체 칩 생산에서는 웨이퍼 절단기를 사용하여 웨이퍼를 개별 칩으로 절단합니다. 실리콘 카바이드 세라믹 흡입 컵은 웨이퍼에 단단히 밀착되어 고속 절단 공정 중 변위나 진동이 발생하지 않도록 보장합니다. 고정밀 평탄도 및 평행도가 커팅의 정확성과 품질을 보장합니다.
-얇게 만드는 과정: 웨이퍼 박막화 공정에서 흡입 컵은 박막화된 웨이퍼를 균일하게 흡착하여 공정 중 강성 부족으로 인한 변형을 방지할 수 있습니다. 통기성이 우수하고 흡착력이 균일하여 박막화 공정 내내 웨이퍼가 안정적으로 유지됩니다.
-청소 프로세스: 청소 과정에서 흡입 컵이 웨이퍼에 단단히 밀착되어 물의 흐름에 의해 웨이퍼가 흔들리는 것을 방지할 수 있습니다. 한편 실리콘 카바이드 소재의 내식성 덕분에 다양한 세척 용액에서도 안정적으로 유지됩니다.
-검사 프로세스: 웨이퍼 검사 과정에서 흡입 컵은 웨이퍼 표면이 평평하게 유지되도록 하여 검사 장비로 웨이퍼를 고정밀 검사할 수 있도록 합니다. 고정밀 평탄도와 평행도는 검출 결과의 정확성을 보장합니다.
맞춤형 서비스
다양한 고객의 다양한 요구를 충족하기 위해 많은 제조업체에서 다음과 같은 맞춤형 실리콘 카바이드 세라믹 흡입 컵 서비스를 제공합니다:
-크기 사용자 지정: 고객의 요구 사항에 따라 원형, 정사각형, 원통형 및 기타 모양 등 다양한 크기의 흡입 컵을 맞춤 제작할 수 있습니다. 크기 범위는 수 밀리미터에서 수백 밀리미터까지 다양합니다.
-조리개 사용자 지정: 웨이퍼의 두께와 공정 요건에 따라 다양한 조리개로 흡입 컵을 맞춤화할 수 있습니다. 조리개 범위는 일반적으로 수 마이크로미터에서 수백 마이크로미터 사이입니다. 다양한 기공 크기는 통기성 및 흡착 용량에 대한 다양한 공정의 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
-평탄도 맞춤 설정: 고정밀 가공 요건을 위해 제조업체는 마이크로미터 수준에서 제어할 수 있는 더 높은 평탄도를 가진 흡입 컵을 제공할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 절단 정확도에 대한 하이엔드 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
-소재 맞춤화: 실리콘 카바이드 소재 외에도 고객의 필요에 따라 다른 고성능 세라믹 소재를 선택할 수 있습니다.
브루드세라믹스는 알루미나 세라믹, 지르코니아 세라믹, 질화규소 세라믹, 질화 알루미늄 세라믹, 실리콘 카바이드 세라믹, 탄화붕소 세라믹, 바이오 세라믹, 가공 가능한 세라믹 등 다양한 고품질 석영 유리를 공급 및 판매합니다. 다양한 세라믹 제품의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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