半導体アルミナセラミック製ロボットアーム は半導体製造装置の主要部品の一つで、通常高純度アルミナ（99%以上）で作られており、優れた物理的・化学的特性を持つ。半導体製造の前工程で広く使用され、ウェハーの搬送、輸送、正確な位置決めを担っている。高清浄度、高安定性、高精度、高効率、高信頼性により、半導体製造に欠かせないツールとなっている。
素材特性
高純度アルミナ： 半導体アルミナセラミックロボットアームの主な材料は高純度アルミナであり、密度、高硬度、高耐摩耗性などの物理的特性を有する。高純度アルミナは、ロボットアームの機械的強度、耐熱性、耐食性を確保し、過酷な環境下でも安定した性能を維持することができます。
高温耐性： アルミナセラミックスの融点は2050℃と高い。高温環境下でも、ロボットアームは低い変形率を維持することができ、熱処理中のウェハの安定性と安全性を確保します。
耐摩耗性： アルミナセラミックスの硬度はダイヤモンドに次いで高く、鋼鉄やクロム鋼をはるかに上回り、耐摩耗性に優れているため、ロボットアームの耐用年数を効果的に延ばすことができる。
耐食性： アルミナセラミックスは化学的安定性に優れ、接触物に微小な粒子や汚染を伴う帯電粒子を残しません。また、金属イオンを発生させないため、輸送中のウェハの清浄度を保証します。
高い断熱性： アルミナセラミックスは室温で高い電気抵抗率と強い絶縁強度を持ち、高温環境下でも良好な絶縁性能を維持できるため、輸送中のウェハーの安全性を確保できる。
製品ミックス
半導体アルミナセラミックロボットアームは、主にコントローラ、ドライバ、アーム、エンドエフェクタで構成されています。中でもエンドエフェクターはロボットアームの重要な部品で、アルミナセラミック製で、ウェハーに直接接触し、ウェハーのハンドリングと位置決めを完成させる役割を担っています。
コントローラー 指示を受け、ロボットアームの動作軌道と速度を制御する。
ドライバー ロボットアームの動作に必要なパワーを供給し、さまざまな動作をスムーズかつ迅速に行えるようにする。
腕だ： コントローラとエンド・エフェクタを接続する部品で、エンド・エフェクタを指定された位置に送り出す役割を果たします。
エンドエフェクター： アルミナセラミック製で、高硬度、高耐摩耗性、高清浄度の特徴を持ち、ウェハーの直接ハンドリングと位置決めを担う。
製品の利点
高精度： この酸化アルミニウムセラミック製ロボットアームは、高い平坦性と平滑性を持ち、寸法精度は±0.001mmで、半導体製造におけるウェーハ位置決めの高精度要件を満たすことができる。
高い清浄度： アルミナセラミックスは化学的安定性に優れ、ウェハ上に汚染粒子を残さないため、ウェハの清浄度が保証される。
高い信頼性： 酸化アルミニウムセラミック製のロボットアームは、優れた物理的・化学的特性を持ち、過酷な環境下でも安定した作業条件を維持することができ、装置の信頼性と耐用年数を向上させます。
静電気防止： アルミナセラミックスは優れた帯電防止特性を持ち、輸送中にウェハーが他の粒子によって汚染されるのを防ぐことができます。
応用分野
半導体アルミナセラミック製ロボットアームは、ウェーハ切断、研磨、エッチング、イオン注入などの半導体製造の前工程で広く使用されています。これらのプロセスでは、ロボットアームは頻繁にウェーハを搬送し、位置決めする必要があり、材料性能に対する要求が非常に高くなります。酸化アルミニウムセラミック製ロボットアームは、その優れた性能により、半導体製造において理想的な選択肢となっています。
半導体アルミナセラミック製ロボットアーム アルミナセラミックスは、その優れた物理的・化学的特性により、半導体製造において重要な役割を果たしています。半導体技術の絶え間ない発展に伴い、アルミナセラミックロボットアームの応用範囲は拡大し続け、半導体産業の発展を強力にサポートします。
