Macorセラミックブラケットの真空コーティング機への応用
真空コーティング装置の性能は、半導体、光学コーティング、航空宇宙などの精密製造分野における薄膜の品質と生産効率に直接影響します。コーティングプロセスの中核となる耐荷重部品であるサポート材の性能は、コーティングの均一性、清浄度、装置の寿命を左右します。マコールのセラミックブラケットは、その低いガス放出率、高温耐性、高い安定性により、真空コーティングの分野で革命的なソリューションになりつつあります。
マコールセラミックブラケットの4つの核となる利点
- ガス放出率が極めて低いため、コーティングの純度が保証される。
マコールセラミックスの真空環境下でのガス放出率は無視できるほど低く（<1 × 10 - ⁹ Torr - L/s - cm ²）、ガス分子がほとんど放出されないため、コーティングプロセス中の材料の揮発による膜の不純物汚染を避けることができます。この特性は、光学コーティングや半導体ウェハーコーティングに理想的な選択となり、コーティングの歩留まりを大幅に向上させます。 - 高温耐性と熱安定性があり、過酷な作業条件に適している。
マコールセラミックスは800℃の連続高温に耐え、ピーク温度は1000℃に達する。熱膨張係数（9.3 × 10 -⁶/K）は金属に近く、コーティング機の高温チャンバー内で寸法安定性を維持し、熱変形によるコーティングのズレを防ぐ。 - 汚染物質の吸着を排除するゼロ細孔構造
その非多孔質表面と非吸湿特性は、残留コーティング材料や液体の浸透を防ぐことができ、特にPVD（物理的気相成長）やCVD（化学的気相成長）プロセスにおける複雑なコーティング環境に適しており、汚染リスクのない長期使用を保証します。 - 複雑な設計にも対応できる精密加工能力
Macorセラミックスは、CNC機械加工により±0.01mmの公差を達成することができ、多孔質支持体や曲面耐荷重構造などの非標準設計をサポートし、高精度光学薄膜やナノスケール半導体コーティングの耐荷重要件を満たします。
真空コーティング機における主な用途
- 光学コーティング高精度薄膜の守護者
-レーザーリフレクターブラケット：低熱膨張特性により、コーティング工程中のリフレクターの位置が安定し、温度変動による光路のずれを防ぎ、反射防止膜と高反射膜の均一性を向上させます。
-光学レンズキャリア表面平滑度Ra<0.4μm、コーティング表面の欠陥を低減し、光学デバイスの透過率と反射率を確保します。 - 半導体コーティング：ナノスケールプロセスの要
-ウェハーコーティングトレイ：耐腐食性でエッチングガス（Cl₂、SF₆など）にも耐性があり、装置のメンテナンスサイクルを従来の金属支持体の3倍以上に延長。
-MOCVD反応チャンバーサポート高温での揮発性の放出がなく、窒化ガリウム（GaN）および炭化ケイ素（SiC）エピタキシャル層の高純度成長を保証。 - 航空宇宙用コーティング：過酷な環境を確実にサポート
-エンジンブレードコーティング治具：1500℃のプラズマ溶射環境に耐え、サーマルバリアコーティング（TBC）の均一な接着を保証し、ブレードの高温耐性を向上させる。
-衛星用光学部品ブラケット：真空適合性、耐放射線性、過酷な宇宙環境に適し、コーティング寿命は10年以上。
マコールセラミックブラケットの加工とカスタマイズの利点
- 複雑な構造の精密成形
レーザー切断、超音波ドリル、その他の加工をサポートし、0.5mm開口の微細穴アレイや0.3mm厚の薄肉支持体など、極薄コーティング基板の要件に適した極端な設計を実現。 - 迅速な対応とコストの最適化
-焼結工程が不要：直接機械加工により、生産サイクルが30%短縮され、サンプルは3日で迅速に納品される。
-表面メタライゼーション処理：コーティング材との密着性を高め、界面欠陥を低減するために、金やニッケルなどの金属層でコーティングすることができる。
マコールのセラミックブラケットを選ぶ3つのコアバリュー
- コーティングの品質向上
清浄度と安定性を二重に保証し、膜の均一性は20%を上回る。 - 機器の寿命延長
耐熱性と耐食性に優れ、メンテナンスサイクルを従来の3倍に延長。 - 全サイクルコストの最適化
40%は投資回収サイクルを短縮し、歩留まり向上とメンテナンスコスト削減を実現。
マコー・セラミック・ブラケット は、材料科学のブレークスルーにより、真空コーティング技術の性能基準を再定義しました。ナノスケールの精密半導体コーティングを追求する場合であれ、困難な光学薄膜を追求する場合であれ、Macorセラミックスは、高度に安定し、汚染ゼロで、強力に適応可能なソリューションを提供することができます。
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