Ceramica al nitruro di alluminio (AlN) è un nuovo materiale ceramico avanzato con prestazioni globali estremamente eccellenti. Non si tratta di una ceramica tradizionale di uso quotidiano, ma di un materiale high-tech preparato attraverso processi speciali, noto come una delle "corone" nel campo dei materiali ceramici. I suoi vantaggi principali risiedono nell'elevatissima conducibilità termica, nel buon coefficiente di dilatazione termica abbinato al silicio, nell'eccellente isolamento elettrico, nell'affidabile stabilità alle alte temperature e nell'inerzia chimica. Queste caratteristiche lo rendono un materiale ideale per risolvere problemi chiave come la gestione termica, l'imballaggio e la resistenza alla corrosione nelle moderne industrie high-tech.
1, Industria elettronica e settore dei semiconduttori: La soluzione definitiva per la gestione termica
Si tratta dell'area di applicazione più ampia e importante della ceramica al nitruro di alluminio. Con l'aumento della potenza e dell'integrazione dei chip, la dissipazione del calore è diventata un collo di bottiglia che limita le prestazioni, l'affidabilità e la durata dei dispositivi elettronici. Le ceramiche al nitruro di alluminio sono il materiale chiave per risolvere questo problema centrale.
1.1 Imballaggio di circuiti integrati (IC) su larga scala e substrato di dissipazione del calore
Soluzione: I substrati tradizionali in ossido di alluminio (Al ₂ O ∝) hanno una bassa conducibilità termica (circa 20-30 W/mK), che non è in grado di soddisfare i requisiti di dissipazione del calore dei chip ad alta potenza come CPU, GPU, FPGA e IGBT, con conseguenti temperature di giunzione elevate, riduzione delle prestazioni e persino burnout.
Manifestazione applicativa: La conducibilità termica della ceramica di nitruro di alluminio è pari a 170-230 W/mK, ovvero 7-10 volte quella dell'ossido di alluminio. Può condurre rapidamente il calore generato dal chip al dissipatore di calore, riducendo in modo significativo la temperatura della giunzione di lavoro del chip. Viene utilizzato principalmente per:
Substrato di imballaggio in ceramica: Come supporto e percorso di dissipazione del calore dei chip, i circuiti sono realizzati con processi a film sottile o a film spesso.
Thermal Pad: inserito tra il chip e il dissipatore di calore, sostituisce il grasso termico per fornire un canale termico più stabile ed efficiente.
1.2 Componenti chiave delle apparecchiature per semiconduttori
Soluzione del problema: I processi di produzione dei semiconduttori, come l'incisione e la CVD, richiedono requisiti estremamente elevati per quanto riguarda la resistenza alla corrosione, la purezza e la resistenza all'erosione del plasma dei componenti all'interno della cavità, che devono essere eseguiti in un ambiente corrosivo di gas e plasma. Allo stesso tempo, il processo richiede una rigorosa precisione nel controllo della temperatura.
Manifestazione di applicazione: Utilizzando la resistenza alle alte temperature, la resistenza alla corrosione, l'elevata purezza e la buona conducibilità termica del nitruro di alluminio per la produzione:
ESC (Electrostatic Chuck): Utilizza la forza di aspirazione elettrostatica per fissare i wafer di silicio e controlla con precisione la temperatura del wafer (da -60 °C a 150 °C) attraverso canali di raffreddamento interni. È il componente principale di litografia, incisione e altre apparecchiature.
Riscaldatore: Piastra riscaldante di base utilizzata per CVD e altre apparecchiature, che fornisce un ambiente uniforme e stabile ad alta temperatura.
Rivestimento della camera: protegge la camera metallica dal plasma e dai gas corrosivi, riduce la contaminazione del metallo e prolunga la vita dell'apparecchiatura.
1.3 Dispositivi elettronici sottovuoto a microonde
Risoluzione del problema: I dispositivi a microonde ad alta potenza, come i tubi a onde convogliate e i klystron, generano una grande quantità di calore durante il funzionamento, pur mantenendo stabile la trasmissione del segnale ad alta frequenza. Il materiale di imballaggio deve avere una conducibilità termica estremamente elevata e una bassa costante dielettrica e perdita.
Manifestazione delle applicazioni: Le ceramiche al nitruro di alluminio soddisfano perfettamente questi requisiti e vengono utilizzate come finestre di energia (RF Windows), aste di supporto e pacchetti per garantire un funzionamento stabile e una lunga durata dei dispositivi ad alta potenza.
2, Optoelettronica e LED: la pietra miliare dell'illuminazione ad alta densità di potenza
Risoluzione del problema: L'efficienza luminosa e la durata dei chip LED ad alta potenza dipendono fortemente dalla temperatura di esercizio. Per ogni aumento di 10°C della temperatura, la durata di vita può dimezzarsi. I tradizionali substrati metallici e gli imballaggi in plastica non sono in grado di dissipare efficacemente il calore, il che limita il miglioramento della luminosità dei LED e lo sviluppo della tecnologia dei mini/micro LED.
Manifestazione dell'applicazione: Il substrato ceramico di nitruro di alluminio è diventato il materiale di supporto preferito per gli imballaggi integrati COB (Chip on Board) di fascia alta e per i dispositivi LED ad alta potenza, grazie alle sue caratteristiche di isolamento e di elevata conduttività termica. È in grado di:
Dissipano rapidamente il calore, consentendo ai LED di funzionare a correnti più elevate e di raggiungere una maggiore luminosità.
Forniscono un'eccellente protezione dell'isolamento per garantire la sicurezza del circuito.
L'adattamento del coefficiente di espansione lineare al chip riduce lo stress termico e migliora l'affidabilità del packaging.
3, Nel campo dell'elettronica di potenza e dei veicoli a nuova energia: il "radiatore" per la conversione dell'energia
Risoluzione del problema: I moduli ad alta potenza IGBT e SiC (carburo di silicio) sono ampiamente utilizzati nel sistema di trazione elettrica, nel caricabatterie di bordo (OBC) e nel convertitore CC-CC (CC-DC) dei veicoli a nuova energia. Questi moduli hanno un'elevata frequenza di commutazione, perdite elevate e una generazione di calore estremamente elevata. La scarsa dissipazione del calore influisce direttamente sulle prestazioni complessive e sull'autonomia del veicolo.
Manifestazione dell'applicazione: La ceramica al nitruro di alluminio viene utilizzata come strato isolante ceramico del substrato DCB (Direct Copper Bonded), rivestito direttamente di rame, diventando il componente centrale dei moduli di potenza. Ha svolto un ruolo importante in:
Isolamento elettrico: isola i chip ad alto potenziale dai substrati metallici.
Efficiente conduttività termica: Trasferimento rapido del calore dal chip al sistema di raffreddamento (ad acqua o ad aria).
Trasportare corrente: lo strato di rame sulla superficie può incidere circuiti di precisione e trasportare correnti elevate.
I moduli che utilizzano substrati DBC in nitruro di alluminio hanno una maggiore densità di potenza, dimensioni ridotte e una maggiore affidabilità, che li rendono materiali ideali per le future piattaforme ad alta tensione da 800 V e per la tecnologia SiC.
4, settori aerospaziale e della difesa: Scelte affidabili per ambienti estremi
Risoluzione del problema: I sistemi elettronici dei veicoli spaziali, dei missili, dei radar e di altre apparecchiature devono funzionare in modo stabile in condizioni estreme, quali temperatura elevata, umidità elevata, forti vibrazioni e forti radiazioni, con requisiti estremamente esigenti per quanto riguarda le prestazioni globali dei materiali.
Manifestazione dell'applicazione:
Modulo T/R radar: utilizzato per l'imballaggio del modulo di trasmissione/ricezione del radar phased array, per la dissipazione del calore e la protezione.
Sistema di guida missilistica: Come substrato e involucro dei dispositivi elettronici, è in grado di resistere al calore aerodinamico e alle vibrazioni generate dal volo ad alta velocità.
Sensori aerospaziali: Utilizzando la loro stabilità alle alte temperature per produrre alloggiamenti per sensori di pressione e temperatura ad alta temperatura.
5, Altri settori industriali
Industria metallurgica: Utilizzati come crogioli e tubi protettivi per la fusione di metalli come alluminio, rame, argento, ecc. Grazie alle loro proprietà non umidificanti e resistenti alla corrosione, è possibile ottenere metalli di elevata purezza.
Industria del trattamento termico: Come materiale per la sinterizzazione e il trattamento termico di piastre di supporto, piastre di spinta, guide, ecc. è resistente alle alte temperature e agli shock termici e ha una durata di vita molto più lunga rispetto ad altri materiali.
Ambiente corrosivo: Utilizzato per la produzione di guarnizioni e componenti di pompe e valvole chimiche, resistenti alla corrosione di sostanze come acidi e alcali.
Le ceramiche al nitruro di alluminio, in quanto materiale strategico avanzato, hanno promosso direttamente lo sviluppo di settori tecnologici all'avanguardia come i semiconduttori, le comunicazioni 5G, i veicoli a nuova energia e l'intelligenza artificiale attraverso le loro applicazioni. Con i requisiti sempre più stringenti di dissipazione del calore e affidabilità in questi settori, l'ampiezza e la profondità delle applicazioni della ceramica al nitruro di alluminio continueranno ad espandersi, diventando un materiale indispensabile per la produzione di fascia alta.
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