Come si comporta la ceramica lavorabile Macor in un ambiente sotto vuoto

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Macor è un materiale ceramico lavorabile ad alte prestazioni sviluppato dall'azienda americana Corning, con eccellenti proprietà meccaniche, isolamento elettrico, resistenza alle alte temperature e stabilità chimica. Grazie alla sua straordinaria lavorabilità (che consente di eseguire lavorazioni di precisione con normali strumenti di lavorazione del metallo), Macor è stato ampiamente utilizzato nei settori aerospaziale, dei semiconduttori, della tecnologia del vuoto e in altri campi.

Caratteristiche di base di Macor
Prima di illustrare le prestazioni di Macor in un ambiente sottovuoto, è necessario comprendere le sue proprietà fisiche e chimiche di base:
Densità: 2,52 g/cm ³
Resistenza alla flessione:~90 MPa
Coefficiente di espansione termica: (20-300 ° C) 9,3 × 10 -⁶/° C
Temperatura massima di esercizio: 1000 ° C (a breve termine), 800 ° C (a lungo termine)
Conduttività termica: 1,46 W/m - K
Resistività di volume (25°C):>10 ¹⁴Ω- cm
Velocità di rilascio del vuoto: estremamente basso (adatto per ambienti ad alto e altissimo vuoto)
Grazie a queste caratteristiche, Macor si comporta bene negli ambienti sotto vuoto, soprattutto nelle applicazioni che richiedono resistenza alle alte temperature, basso rilascio di gas e isolamento elettrico.

I principali vantaggi di Macor negli ambienti sottovuoto
Tasso di deflazione estremamente basso
In un sistema a vuoto, il degassamento del materiale è un fattore chiave che influisce sul grado di vuoto. I componenti principali di Macor sono la fase di vetro borosilicato e la fase ceramica, senza leganti organici, per cui il tasso di rilascio di gas è estremamente basso in ambiente sottovuoto, adatto per:
-Alto vuoto (HV, 10 -⁶~10 -⁹ mbar)
-Ultra alto vuoto (UHV, <10 -⁹ mbar)
Rispetto a molti materiali plastici o metallici, Macor non rilascia composti organici volatili (VOC) o umidità, il che consente di mantenere la stabilità a lungo termine dei sistemi di vuoto.

Eccellenti prestazioni di resistenza alle alte temperature
Macor può lavorare stabilmente per lungo tempo a 800°C e resistere ad alte temperature di 1000°C nel breve periodo. È adatto per:
-Componenti di isolamento del forno a vuoto
-Apparecchiature ad alta temperatura nella produzione di semiconduttori
-Componenti di protezione termica del veicolo spaziale

Buon isolamento elettrico
Negli ambienti ad alto vuoto, i materiali per l'isolamento elettrico devono evitare problemi di scarica o perdite. Macor ha un'elevata resistività di volume (>10 ¹⁴Ω- cm) ed è adatto per:
-Isolante sotto vuoto ad alta tensione
-Componenti dielettrici dell'acceleratore di particelle
-Struttura portante dei dispositivi elettronici sotto vuoto

Inerzia chimica, resistenza alla corrosione
Macor ha un'eccellente resistenza alla corrosione della maggior parte degli acidi, delle basi e dei solventi e non reagisce con i gas residui (come ossigeno e vapore acqueo) in un ambiente sotto vuoto. È adatto per:
-Apparecchiature per l'incisione al plasma
-Componenti della camera di deposizione chimica da vapore (CVD)

Macchina di precisione facile da usare
Macor può essere lavorato in forme complesse utilizzando normali macchine CNC o utensili manuali, riducendo le difficoltà di assemblaggio nei sistemi sottovuoto ed è adatto per:
-Guarnizioni sottovuoto personalizzate
-Passaggio del vuoto di precisione
-Staffa ottica e meccanismo di regolazione

Applicazioni tipiche di Macor nei sistemi a vuoto
Apparecchiature per la produzione di semiconduttori
-Utilizzo: Utilizzato per i fissaggi dei wafer, i componenti di isolamento della camera di reazione al plasma.
-Vantaggi: resistenza all'erosione da plasma, basso rilascio di gas, stabilità alle alte temperature.

Componenti aerospaziali e satellitari
-Scopo: strato isolante nel vuoto per i veicoli spaziali, supporto per i sensori dei satelliti.
-Vantaggi: Leggerezza, resistenza alle radiazioni e al calore.

Acceleratore di particelle e dispositivo di fusione nucleare
-Utilizzo: Isolatore in ultra alto vuoto, collimatore di raggi.
-Vantaggi: alta resistività, basso rilascio di gas e resistenza alle radiazioni.

Attrezzature per il rivestimento sotto vuoto e il rivestimento ottico
-Utilizzo: Supporto della sorgente di evaporazione, componente di fissaggio della maschera.
-Vantaggi: Resistenza alle alte temperature, processo di rivestimento non inquinante.

Confronto tra Macor e altri materiali per il vuoto
-Il Macor è superiore alle ceramiche di allumina in termini di lavorabilità e adattabilità al vuoto.
-Rispetto al metallo, Macor non influisce sul grado di vuoto dovuto alla deflazione.
-Rispetto alla plastica, Macor ha una maggiore resistenza alla temperatura ed è adatto ad ambienti difficili.

Le ceramiche lavorabili Macor offrono buone prestazioni negli ambienti sottovuoto, soprattutto grazie al loro basso tasso di rilascio di gas, alla resistenza alle alte temperature, all'isolamento elettrico, alla stabilità chimica e alla facilità di lavorazione. È ampiamente utilizzata nei settori dei semiconduttori, dell'aerospaziale, della fisica nucleare e in altri campi, risolvendo i problemi di rilascio di gas, resistenza alla temperatura e isolamento dei materiali tradizionali nei sistemi sotto vuoto.
Per le applicazioni che richiedono componenti per il vuoto precisi, affidabili e di lunga durata, Macor è la scelta ideale.

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