Ventosa in ceramica di precisione in carburo di silicio poroso

La ventosa ceramica di precisione in carburo di silicio poroso è uno strumento di adsorbimento ad alte prestazioni ampiamente utilizzato nei settori dei semiconduttori, dell'elettronica, del fotovoltaico e in altri campi. È realizzata con polvere di carburo di silicio di elevata purezza come materiale di base attraverso il processo di sinterizzazione per reazione (RBSN) o di fusione in gel, e presenta una struttura porosa e prestazioni eccellenti del carburo di silicio.

-Caratteristiche del materiale: Il carburo di silicio ha un'elevata durezza (HV10 2200-2800), un'alta conducibilità termica (conducibilità termica di 120W/m - K, 5 volte quella dell'allumina), un'alta resistenza alle temperature (resistenza a lungo termine di 1600°C) e una buona resistenza agli shock termici (△ T ≥ 500°C).
-Caratteristiche strutturali: Struttura porosa, porosità di 30% -70%, dimensione dei pori controllabile di 1-50 μ m, in grado di fornire una forza di adsorbimento uniforme, forza di adsorbimento sotto vuoto ≥ 0,08MPa.
-Precisione di lavorazione: Planarità ≤ 0,005 mm, in grado di soddisfare i requisiti di lavorazione ad alta precisione.

Applicazione
Le ventose di precisione in ceramica di carburo di silicio poroso hanno dimostrato un ampio valore applicativo in diversi campi grazie alle loro eccellenti prestazioni.
Industria dei semiconduttori e dell'elettronica
-Assottigliamento e incollaggio dei wafer: Adatta ai processi di assottigliamento e incollaggio su wafer da 12 pollici, la struttura porosa può assorbire uniformemente il wafer, garantendo la planarità.
-Gestione termica della macchina fotolitografica: conduzione rapida del calore, controllo delle fluttuazioni di temperatura del wafer di silicio di ≤± 0,1 °C, miglioramento della precisione dell'esposizione.
Fotovoltaico e nuove energie
-Forno per la sinterizzazione delle batterie: resistenza alla temperatura di 1600°C, trasporto di wafer di silicio senza deformazioni, tasso di frammentazione ≤ 0,01%, adatto alla sinterizzazione di batterie PERC/TOPCon.
-Vassoio epitassiale di carburo di silicio: elevata purezza (impurità metalliche ≤ 1ppm), adatto alla crescita epitassiale di SiC (MOCVD/MBE).
Lavorazione laser e di precisione
-Taglio laser ad alta potenza: resistente all'ablazione laser (densità di potenza ≥ 1kW/cm²), adatto al taglio di materiali come vetro e ceramica.
-3D substrato di stampa: poroso e traspirante, riduce l'adesione della polvere e migliora l'efficienza del distacco delle parti stampate.
Apparecchiature industriali ad alta temperatura
-Piastra portante del forno di sinterizzazione: resistente allo scorrimento ad alta temperatura, capacità portante ≥ 50 kg/m² (1600°C), adatta alla sinterizzazione di polveri ceramiche e metalliche.
-Dispositivo di brasatura sotto vuoto: resistente alla corrosione della saldatura (Ag Cu Ti), riutilizzabile ≥ 1000 volte.

Servizio personalizzato
Per soddisfare le diverse esigenze dei clienti, le ventose ceramiche di precisione in carburo di silicio poroso offrono servizi completi e personalizzati:
Personalizzazione di dimensioni e forme
-Gamma di dimensioni: diametro da 100 mm a 600 mm, spessore da 5 a 50 mm, per supportare strutture irregolari come settori e rettangoli.
-Personalizzazione della forma: Le ventose possono essere personalizzate in diverse forme in base alle esigenze del cliente per soddisfare i requisiti di processo speciali.
Design dei pori
-Porosità: regolabile da 30% a 70%.
-Dimensione dei pori: 1-50 μ m controllabile, la dimensione dei pori può essere selezionata in base alle caratteristiche dell'oggetto da adsorbire.
-Struttura dei pori: Supporta diversi tipi di struttura dei pori, come pori uniformi, pori a gradiente e canali direzionali, adatti all'adsorbimento sotto vuoto, alla permeazione di gas e ad altri requisiti.
Trattamento della superficie
-Rivestimento resistente all'usura: È possibile fornire un rivestimento in carburo di silicio CVD per migliorare la resistenza all'usura della superficie.
-Rivestimento antiossidazione: SiO ₂ o Al ₂ O3 per prolungare la vita utile.

Le ventose ceramiche di precisione in carburo di silicio poroso sono diventate strumenti indispensabili ad alte prestazioni in settori quali i semiconduttori, il fotovoltaico e la lavorazione di precisione, grazie alle loro eccellenti prestazioni e ai servizi di personalizzazione flessibili.

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