Bras robotisé en céramique alumineuse semi-conductrice

Bras robotisé en céramique alumineuse semi-conductrice est l'un des composants clés de l'équipement de semi-conducteur, généralement constitué d'alumine de haute pureté (plus de 99%), avec d'excellentes propriétés physiques et chimiques. Il est largement utilisé dans les processus frontaux de la fabrication de semi-conducteurs, responsable du transport des plaquettes, du transport et du positionnement précis. Il est devenu un outil indispensable dans la production de semi-conducteurs en raison de sa grande propreté, de sa grande stabilité, de sa grande précision, de sa grande efficacité et de sa grande fiabilité.

Caractéristiques des matériaux
Alumine de haute pureté : Les bras robotisés en céramique d'alumine pour semi-conducteurs sont principalement constitués d'alumine de haute pureté, qui possède des propriétés physiques telles que la densité, une dureté élevée et une grande résistance à l'usure. L'alumine de haute pureté garantit la résistance mécanique, la résistance à la chaleur et la résistance à la corrosion du bras robotisé, et peut maintenir des performances stables dans des environnements extrêmes.
Résistance aux hautes températures : Le point de fusion des céramiques d'alumine peut atteindre 2050 ℃. Même dans des environnements à haute température, le bras robotisé peut maintenir un faible taux de déformation, ce qui garantit la stabilité et la sécurité de la plaquette pendant le traitement thermique.
Résistance à l'usure : La dureté des céramiques d'alumine est la deuxième après celle du diamant, dépassant de loin celle de l'acier et de l'acier chromé, et présente une bonne résistance à l'usure, ce qui permet de prolonger efficacement la durée de vie des bras robotisés.
Résistance à la corrosion : Les céramiques d'alumine ont une excellente stabilité chimique et ne laissent pas de petites particules ou de particules chargées de pollution sur les objets en contact. Elles ne produisent pas d'ions métalliques, ce qui garantit la propreté de la plaquette pendant le transport.
Isolation élevée : Les céramiques d'alumine ont une résistivité électrique élevée et une forte capacité d'isolation à température ambiante. Elles peuvent maintenir de bonnes performances d'isolation même dans des environnements à haute température, ce qui garantit la sécurité des wafers pendant le transport.

Gamme de produits
Le bras robotisé en céramique d'alumine pour semi-conducteurs est principalement composé d'un contrôleur, d'un pilote, d'un bras et d'un effecteur. L'effecteur est un élément clé du bras robotisé, fabriqué en céramique d'alumine et chargé d'entrer directement en contact avec la tranche de silicium, complétant ainsi la manipulation et le positionnement de la tranche de silicium.
Contrôleur : responsable de la réception des instructions et du contrôle de la trajectoire et de la vitesse du bras robotique.
Conducteur : Fournit la puissance nécessaire au mouvement du bras robotisé, afin qu'il puisse effectuer diverses actions rapidement et sans à-coups.
Bras : La partie qui relie le contrôleur et l'effecteur, responsable de l'acheminement de l'effecteur à la position désignée.
Effecteur final : Fabriqué en céramique d'alumine, il présente les caractéristiques d'une grande dureté, d'une grande résistance à l'usure et d'une grande propreté, et il est chargé de la manipulation directe et du positionnement des wafers.

Avantages du produit
Haute précision : Le bras robotique en céramique d'oxyde d'aluminium présente une planéité et une douceur élevées, avec une précision dimensionnelle de ± 0,001 mm, ce qui permet de répondre aux exigences de haute précision pour le positionnement des plaquettes dans la fabrication des semi-conducteurs.
Grande propreté : Les céramiques d'alumine présentent une bonne stabilité chimique et ne laissent pas de particules contaminantes sur la plaquette, ce qui garantit sa propreté.
Grande fiabilité : Les bras robotiques en céramique d'oxyde d'aluminium possèdent d'excellentes propriétés physiques et chimiques, qui permettent de maintenir des conditions de travail stables dans des environnements extrêmes, améliorant ainsi la fiabilité et la durée de vie de l'équipement.
Antistatique : Les céramiques d'alumine ont de bonnes propriétés antistatiques, ce qui permet d'éviter que les plaquettes ne soient contaminées par d'autres particules pendant le transport.

Domaine d'application
Les bras robotisés en céramique d'alumine pour semi-conducteurs sont largement utilisés dans les processus frontaux de la fabrication de semi-conducteurs, tels que la découpe de plaquettes, le polissage, la gravure, l'implantation d'ions, etc. Dans ces processus, le bras robotisé doit fréquemment transporter et positionner les plaquettes, avec des exigences extrêmement élevées en matière de performance des matériaux. Les bras robotisés en céramique d'oxyde d'aluminium sont devenus un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs en raison de leurs excellentes performances.

Bras robotisés pour semi-conducteurs en alumine et céramique jouent un rôle important dans la fabrication des semi-conducteurs en raison de leurs excellentes propriétés physiques et chimiques. Avec le développement continu de la technologie des semi-conducteurs, le champ d'application des bras robotisés en céramique d'alumine continuera à s'étendre, apportant un soutien solide au développement de l'industrie des semi-conducteurs.