Applicabilité et utilisation des céramiques Macor dans un environnement sous vide

---

1、 Caractéristiques de la céramique Macor
La céramique Macor (vitrocéramique microcristalline) est un matériau de haute performance produit par Corning Incorporated aux États-Unis, dont les propriétés physiques et chimiques uniques lui permettent de bien fonctionner dans des environnements sous vide.

1. Faible taux de libération de gaz : Le taux de dégagement de gaz des céramiques Macor dans un environnement sous vide est extrêmement faible, presque négligeable (<1 × 10 -⁹ Torr - L/s - cm²), ce qui permet d'éviter efficacement le dégagement de molécules de gaz et de maintenir la pureté de la chambre à vide.
2. Résistance aux hautes températures : La céramique Macor peut supporter des températures d'utilisation continue allant jusqu'à 800 ℃, avec une température maximale de 1000 ℃. Son coefficient de dilatation thermique est similaire à celui des métaux et du verre, et elle peut conserver sa stabilité dimensionnelle en cas de changements de température importants.
3. Structure sans porosité : Les céramiques Macor ont une porosité et une absorption d'humidité nulles, ce qui permet d'éviter l'adsorption et la perméation de gaz, même dans des environnements humides ou à haute pression, garantissant ainsi la stabilité à long terme des systèmes à vide.
4. Excellente stabilité mécanique et chimique : Les céramiques Macor ont une dureté élevée (dureté de Mohs 5,5) et une résistance à la corrosion, ce qui leur permet de résister à la corrosion due aux environnements acides, alcalins et aux radiations.
5. Bonne aptitude à la transformation : Les céramiques Macor peuvent être coupées, percées, polies et traitées à l'aide d'équipements CNC traditionnels, avec un contrôle de la tolérance allant jusqu'à ± 0,05 mm, voire une précision supérieure, sans nécessiter de frittage secondaire, ce qui raccourcit considérablement le cycle de production.

2、 Scénarios d'application des céramiques Macor dans un environnement sous vide
Les céramiques Macor ont été largement utilisées dans divers domaines de la haute technologie, en particulier dans les environnements sous vide, en raison de leurs excellentes performances.

1. Domaine aérospatial
   -Matériau d'isolation thermique : Lorsque le vaisseau spatial revient sur Terre, les céramiques Macor peuvent résister à des températures élevées allant jusqu'à 1000 ℃, protégeant ainsi l'équipement interne du vaisseau spatial de tout dommage.
   -Emballage de composants électroniques : Son excellente isolation et sa stabilité dimensionnelle garantissent un fonctionnement fiable des composants électroniques dans des environnements sous vide et sous rayonnement.
   -Composants d'étanchéité au vide : pour les charnières et les boucles des portes et des fenêtres des engins spatiaux, les céramiques Macor, grâce à leur résistance aux rayonnements et à leurs faibles émissions, peuvent garantir un environnement sous vide à l'intérieur de la cabine pendant des dizaines d'années.
2. Équipements à semi-conducteurs et à laser
   -Support de machine d'enrobage sous vide : Le faible taux de dégagement de gaz des céramiques Macor peut garantir l'uniformité du dépôt de film et améliorer le rendement des copeaux.
   -Cavité laser et réflecteur : Leur résistance aux températures élevées et leurs capacités d'usinage de précision permettent d'obtenir une sortie stable des lasers de grande puissance.
   -Plateau de revêtement des wafers : résistant à la corrosion et aux gaz de gravure (tels que Cl ₂, SF ₆), il permet de multiplier par trois les cycles de maintenance de l'équipement par rapport aux supports métalliques traditionnels.
3. Instruments médicaux et de recherche
   -Spectromètre de masse et analyseur de gaz : La caractéristique d'émission zéro des céramiques Macor garantit la précision des données de mesure et évite les interférences de fond.
   -Substrat de biocapteur : Son inertie chimique permet de protéger la pureté des échantillons biologiques et convient aux équipements de diagnostic in vitro.
4. Applications principales des machines de revêtement sous vide
   -Revêtement optique : Par exemple, pour les supports de réflecteurs laser et les supports de lentilles optiques, les caractéristiques de faible dilatation thermique des céramiques Macor peuvent assurer la stabilité de la position du réflecteur pendant le processus de revêtement, évitant ainsi la déviation du chemin optique causée par les fluctuations de température.
   -Revêtement de semi-conducteurs : tels que les plateaux de revêtement de plaquettes et les supports de chambre de réaction MOCVD, la résistance à la corrosion et les caractéristiques de libération non volatile des céramiques Macor peuvent assurer une croissance de haute pureté des couches épitaxiales de nitrure de gallium (GaN) et de carbure de silicium (SiC).

3、 Avantages des céramiques Macor en matière de traitement et de personnalisation
Les capacités de traitement et de personnalisation des céramiques Macor améliorent encore leur applicabilité dans les environnements sous vide.

1. Formage de précision de structures complexes : Macor ceramics peut réaliser des conceptions extrêmes telles que des réseaux de micro-trous d'une ouverture de 0,5 mm et des supports à parois minces d'une épaisseur de 0,3 mm grâce à des processus tels que la découpe au laser et le perçage par ultrasons, s'adaptant ainsi aux exigences des substrats revêtus ultra-minces.
2. Réponse rapide et optimisation des coûts : Aucun processus de frittage n'est nécessaire, l'usinage direct peut raccourcir le cycle de production de 30%, et les échantillons peuvent être livrés rapidement en 3 jours.
3. Traitement de métallisation de surface : Les céramiques Macor peuvent être recouvertes de couches métalliques telles que l'or et le nickel afin d'améliorer leur adhérence avec les matériaux de revêtement et de réduire les défauts d'interface.

4、 Raisons de choisir la céramique Macor

1. Fiabilité : Les céramiques Macor ont obtenu la certification RoHS et sont conformes aux normes internationales en matière d'environnement et de sécurité.
2. Économie : Longue durée de vie et faibles coûts de maintenance, réduisant le coût total du cycle de vie de plus de 40%.
3. Personnalisation : La conception non standard et le prototypage rapide permettent de répondre aux divers besoins des clients.

Les céramiques Macor redéfinissent les limites de la fabrication de précision grâce à leurs performances exceptionnelles dans les environnements sous vide. Qu'il s'agisse de rechercher une stabilité extrême dans l'ingénierie aérospatiale ou d'exiger une très grande propreté dans les lignes de production de semi-conducteurs, les céramiques Macor peuvent fournir des solutions fiables, efficaces et durables.