Ventouse céramique en carbure de silicium pour l'adsorption des tranches de silicium

La ventouse céramique en carbure de silicium pour l'adsorption des wafers de la machine de découpe des wafers est un outil d'adsorption de haute précision conçu spécifiquement pour le processus de découpe dans la fabrication des semi-conducteurs. Elle est principalement constituée de carbure de silicium poreux.

Caractéristiques significatives :
-Caractéristiques du matériau : Le carbure de silicium présente une dureté et une résistance à l'usure extrêmement élevées et peut supporter les fortes contraintes générées pendant le processus de coupe. Il présente également une bonne résistance aux températures élevées et à la corrosion, et peut maintenir sa stabilité dans des environnements de traitement difficiles.
-Caractéristiques structurelles : La surface de la ventouse est distribuée avec un grand nombre de micropores, qui sont traités par des techniques spéciales, avec une taille de pore uniforme et une bonne respirabilité. Sous l'action de la pression négative du vide, la plaquette peut être uniformément adsorbée, ce qui garantit que la plaquette reste plate pendant le processus de découpe.
-Précision de traitement : La planéité et le parallélisme sont extrêmement élevés, atteignant un niveau de précision de l'ordre du micromètre. Cela permet d'éviter que la plaquette ne se déforme ou ne subisse une concentration de contraintes due aux irrégularités de la surface de la ventouse pendant le processus d'adsorption, garantissant ainsi la qualité de la plaquette.

Application
La ventouse céramique en carbure de silicium pour l'adsorption des wafers de la machine de découpe des wafers est largement utilisée dans de nombreux processus clés de la fabrication des semi-conducteurs, notamment :
-Processus de découpe des plaquettes : Dans la production de puces semi-conductrices, une machine de découpe de plaquettes est utilisée pour découper la plaquette en puces individuelles. Les ventouses en céramique de carbure de silicium peuvent adhérer fermement aux plaquettes, garantissant qu'elles ne subissent pas de déplacement ou de vibration pendant les processus de coupe à grande vitesse. Sa planéité et son parallélisme de haute précision garantissent la précision et la qualité de la découpe.
-Processus d'amincissement : Pendant le processus d'amincissement de la gaufrette, la ventouse peut absorber uniformément la gaufrette amincie afin d'éviter toute déformation due à une rigidité insuffisante pendant le traitement. Sa bonne respirabilité et sa force d'adsorption uniforme garantissent la stabilité de la plaquette tout au long du processus d'amincissement.
-Processus de nettoyage : Pendant le processus de nettoyage, la ventouse peut adhérer fermement à la plaquette, l'empêchant de se déplacer sous l'impact de l'écoulement de l'eau. Par ailleurs, la résistance à la corrosion du carbure de silicium lui permet de rester stable dans diverses solutions de nettoyage.
-Processus d'inspection : Pendant le processus d'inspection des plaquettes, la ventouse peut garantir que la surface de la plaquette est plane, ce qui facilite l'inspection de haute précision de la plaquette par l'équipement d'inspection. Sa planéité et son parallélisme de haute précision garantissent la précision des résultats de la détection.

Service personnalisé
Pour répondre aux besoins variés des différents clients, de nombreux fabricants proposent des services personnalisés de ventouses en céramique de carbure de silicium, notamment :
-Personnalisation de la taille : Différentes tailles de ventouses peuvent être personnalisées en fonction des besoins du client, y compris des formes circulaires, carrées, cylindriques et autres. Les dimensions varient de quelques millimètres à plusieurs centaines de millimètres.
-Personnalisation de l'ouverture : Personnalisez les ventouses avec différentes ouvertures en fonction de l'épaisseur et des exigences de traitement de la plaquette. L'ouverture est généralement comprise entre quelques micromètres et plusieurs centaines de micromètres. Les différentes tailles de pores peuvent répondre aux exigences des différents processus en matière de respirabilité et de capacité d'adsorption.
-Personnalisation de la planéité : Pour les besoins d'usinage de haute précision, les fabricants peuvent fournir des ventouses avec une plus grande planéité, qui peut être contrôlée au niveau du micromètre. Cela permet de répondre aux exigences strictes de la fabrication de semi-conducteurs haut de gamme en matière de précision de coupe des plaquettes.
-Personnalisation des matériaux : Outre les matériaux en carbure de silicium, d'autres matériaux céramiques à haute performance peuvent également être sélectionnés en fonction des besoins du client.

Brudeze Ceramics fournit et vend une large gamme de verre de quartz de haute qualité, y compris des céramiques d'alumine, des céramiques de zircone, des céramiques de nitrure de silicium, des céramiques de nitrure d'aluminium, des céramiques de carbure de silicium, des céramiques de carbure de bore, des biocéramiques, des céramiques usinables, etc. Nous pouvons répondre aux exigences de personnalisation de divers produits céramiques.