Ventouse de précision en céramique poreuse de carbure de silicium

La ventouse de précision en céramique de carbure de silicium poreuse est un outil d'adsorption de haute performance largement utilisé dans les domaines des semi-conducteurs, de l'électronique, de la photovoltaïque et autres. Elle est fabriquée à partir de poudre de carbure de silicium de haute pureté, par frittage par réaction (RBSN) ou par procédé de coulée en gel. Elle présente une structure poreuse et d'excellentes performances en matière de carbure de silicium.

-Caractéristiques du matériau : Le carbure de silicium possède une dureté élevée (HV10 2200-2800), une conductivité thermique élevée (conductivité thermique de 120W/m - K, 5 fois celle de l'alumine), une résistance à la température élevée (résistance à la température à long terme de 1600 ° C), et une bonne résistance aux chocs thermiques (△ T ≥ 500 ° C).
-Caractéristiques structurelles : Conception de structure poreuse, porosité de 30% -70%, taille de pore contrôlable de 1-50 μ m, capable de fournir une force d'adsorption uniforme, force d'adsorption sous vide ≥ 0,08MPa.
-Précision de traitement : Planéité ≤ 0,005 mm, capable de répondre aux exigences de traitement de haute précision.

Application
Les ventouses de précision en céramique poreuse de carbure de silicium ont démontré une grande valeur d'application dans de nombreux domaines en raison de leurs excellentes performances.
Industrie des semi-conducteurs et de l'électronique
-Amincissement et collage des wafers : Convient aux processus d'amincissement et de collage des plaquettes de 12 pouces. La structure poreuse peut absorber uniformément la plaquette, garantissant ainsi sa planéité.
-Gestion thermique de la machine de photolithographie : conduction rapide de la chaleur, contrôle des fluctuations de température de la plaquette de silicium de ≤± 0,1 ° C, amélioration de la précision de l'exposition.
Photovoltaïque et énergies nouvelles
-Four de frittage de batteries : résistance à la température de 1600°C, supportant les wafers de silicium sans déformation, taux de fragmentation ≤ 0,01%, adapté au frittage des batteries PERC/TOPCon.
-Plateau épitaxial en carbure de silicium : haute pureté (impuretés métalliques ≤ 1ppm), adapté à la croissance épitaxiale du SiC (MOCVD/MBE).
Laser et usinage de précision
-Découpe laser haute puissance : résistant à l'ablation laser (densité de puissance ≥ 1kW/cm²), adapté à la découpe de matériaux tels que le verre et la céramique.
-Support d'impression 3D : poreux et perméable à l'air, il réduit l'adhérence de la poudre et améliore l'efficacité du décollement des pièces imprimées.
Équipements industriels à haute température
-Plaque d'appui du four de frittage : résistante au fluage à haute température, capacité d'appui ≥ 50kg/m² (1600 ° C), adaptée au frittage de poudres céramiques et métalliques.
-Dispositif de brasage sous vide : résistant à la corrosion de la brasure (Ag Cu Ti), réutilisable ≥ 1000 fois.

Service personnalisé
Pour répondre aux besoins variés des différents clients, les ventouses de précision en céramique poreuse de carbure de silicium offrent des services personnalisés complets :
Personnalisation de la taille et de la forme
-Gamme de dimensions : diamètre de 100 mm à 600 mm, épaisseur de 5 à 50 mm, supportant des structures irrégulières telles que des secteurs et des rectangles.
-Personnalisation de la forme : Différentes formes de ventouses peuvent être personnalisées en fonction des besoins du client pour répondre à des exigences de processus particulières.
Conception des pores
-Porosité : réglable de 30% à 70%.
-Taille des pores : 1-50 μ m contrôlable, la taille des pores peut être sélectionnée en fonction des caractéristiques de l'objet à adsorber.
-Structure des pores : Elle prend en charge diverses structures de pores, telles que les pores uniformes, les pores à gradient et les canaux directionnels, qui conviennent à l'adsorption sous vide, à la perméation des gaz et à d'autres exigences.
Traitement de surface
-Revêtement résistant à l'usure : Un revêtement de carbure de silicium CVD peut être fourni pour améliorer la résistance à l'usure de la surface.
Revêtement anti-oxydation : Le revêtement anti-oxydation SiO ₂ ou Al ₂ O3 peut être sélectionné pour prolonger la durée de vie.

Les ventouses de précision en céramique poreuse de carbure de silicium sont devenues des outils indispensables et performants dans des domaines tels que les semi-conducteurs, le photovoltaïque et l'usinage de précision, en raison de leurs excellentes performances et de leurs services de personnalisation flexibles.

Brudeze Ceramics fournit et vend une large gamme de verre de quartz de haute qualité, y compris des céramiques d'alumine, des céramiques de zircone, des céramiques de nitrure de silicium, des céramiques de nitrure d'aluminium, des céramiques de carbure de silicium, des céramiques de carbure de bore, des biocéramiques, des céramiques usinables, etc. Nous pouvons répondre aux exigences de personnalisation de divers produits céramiques.