Brazo robótico semiconductor de cerámica de alúmina es uno de los componentes clave de los equipos semiconductores, normalmente fabricado con alúmina de gran pureza (superior a 99%), con excelentes propiedades físicas y químicas. Se utiliza ampliamente en los procesos frontales de la fabricación de semiconductores, y es responsable del transporte de las obleas y de su posicionamiento preciso. Se ha convertido en una herramienta indispensable en la producción de semiconductores debido a su alta limpieza, alta estabilidad, alta precisión, alta eficiencia y alta fiabilidad.
Características de los materiales
Alúmina de gran pureza: El principal material de los brazos robóticos semiconductores de cerámica de alúmina es la alúmina de gran pureza, que tiene propiedades físicas como densidad, gran dureza y alta resistencia al desgaste. La alúmina de alta pureza garantiza la resistencia mecánica, la resistencia al calor y la resistencia a la corrosión del brazo robótico, y puede mantener un rendimiento estable en entornos extremos.
Resistencia a altas temperaturas: El punto de fusión de la cerámica de alúmina alcanza los 2050 ℃. Incluso en entornos de alta temperatura, el brazo robótico puede mantener un bajo índice de deformación, lo que garantiza la estabilidad y seguridad de la oblea durante el tratamiento térmico.
Resistencia al desgaste: La dureza de la cerámica de alúmina es la segunda después del diamante, superando con creces al acero y al acero al cromo, y tiene una buena resistencia al desgaste, lo que puede prolongar eficazmente la vida útil de los brazos robóticos.
Resistencia a la corrosión: Las cerámicas de alúmina tienen una excelente estabilidad química y no dejan pequeñas partículas ni partículas cargadas con contaminación en los objetos en contacto. No producirán iones metálicos, lo que garantiza la limpieza de la oblea durante el transporte.
Alto aislamiento: Las cerámicas de alúmina tienen una alta resistividad eléctrica y una gran resistencia de aislamiento a temperatura ambiente, y pueden mantener un buen rendimiento de aislamiento incluso en entornos de alta temperatura, lo que garantiza la seguridad de las obleas durante el transporte.
Mezcla de productos
El brazo robótico semiconductor de cerámica de alúmina se compone principalmente de un controlador, un controlador, un brazo y un efector final. Entre ellos, el efector final es un componente clave del brazo robótico, hecho de cerámica de alúmina, responsable del contacto directo con la oblea, completando su manipulación y posicionamiento.
Controlador: responsable de recibir instrucciones y controlar la trayectoria de movimiento y la velocidad del brazo robótico.
Conductor: Proporciona la potencia necesaria para el movimiento del brazo robótico, garantizando que pueda completar diversas acciones con suavidad y rapidez.
Brazo: La pieza que conecta el controlador y el efector final, responsable de llevar el efector final a la posición designada.
Efector final: Hecho de cerámica de alúmina, tiene las características de alta dureza, alta resistencia al desgaste y alta limpieza, y es responsable de la manipulación directa y el posicionamiento de las obleas.
Ventajas del producto
Alta precisión: El brazo robótico cerámico de óxido de aluminio tiene una gran planitud y suavidad, con una precisión dimensional de ± 0,001 mm, que puede satisfacer los requisitos de alta precisión para el posicionamiento de obleas en la fabricación de semiconductores.
Gran limpieza: La cerámica de alúmina tiene una buena estabilidad química y no deja partículas contaminantes en la oblea, lo que garantiza su limpieza.
Alta fiabilidad: Los brazos robóticos de cerámica de óxido de aluminio tienen excelentes propiedades físicas y químicas, que pueden mantener condiciones de trabajo estables en entornos extremos, mejorando la fiabilidad y la vida útil del equipo.
Antiestática: La cerámica de alúmina tiene buenas propiedades antiestáticas, lo que puede evitar que las obleas se contaminen con otras partículas durante el transporte.
Área de aplicación
Los brazos robóticos de cerámica de alúmina para semiconductores se utilizan ampliamente en los procesos frontales de la fabricación de semiconductores, como el corte de obleas, el pulido, el grabado, la implantación de iones, etc. En estos procesos, el brazo robótico tiene que transportar y posicionar obleas con frecuencia, con unos requisitos de rendimiento del material extremadamente altos. Los brazos robóticos cerámicos de óxido de aluminio se han convertido en una opción ideal en la fabricación de semiconductores por su excelente rendimiento.
Brazos robóticos semiconductores de cerámica de alúmina desempeñan un papel importante en la fabricación de semiconductores debido a sus excelentes propiedades físicas y químicas. Con el continuo desarrollo de la tecnología de semiconductores, el ámbito de aplicación de los brazos robóticos de cerámica de alúmina seguirá ampliándose, proporcionando un fuerte apoyo al desarrollo de la industria de semiconductores.
