Halbleiter-Aluminiumoxid-Keramik-Roboterarm

Halbleiter-Aluminiumoxid-Keramik-Roboterarm ist eine der wichtigsten Komponenten in Halbleiteranlagen und besteht in der Regel aus hochreinem Aluminiumoxid (über 99%) mit hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften. Es wird häufig in den Front-End-Prozessen der Halbleiterherstellung verwendet und ist für den Transport, die Beförderung und die präzise Positionierung der Wafer verantwortlich. Aufgrund seiner hohen Sauberkeit, hohen Stabilität, hohen Präzision, hohen Effizienz und hohen Zuverlässigkeit ist es zu einem unverzichtbaren Werkzeug in der Halbleiterproduktion geworden.

Materialeigenschaften
Hochreine Tonerde: Das Hauptmaterial für Roboterarme aus Halbleiter-Aluminiumoxid-Keramik ist hochreines Aluminiumoxid, das physikalische Eigenschaften wie Dichte, hohe Härte und hohe Verschleißfestigkeit aufweist. Hochreines Aluminiumoxid gewährleistet die mechanische Festigkeit, Hitzebeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit des Roboterarms und kann auch in extremen Umgebungen eine stabile Leistung gewährleisten.
Hohe Temperaturbeständigkeit: Der Schmelzpunkt von Aluminiumoxidkeramik liegt bei bis zu 2050 ℃. Selbst in Hochtemperaturumgebungen kann der Roboterarm eine niedrige Verformungsrate beibehalten und so die Stabilität und Sicherheit des Wafers während der Wärmebehandlung gewährleisten.
Abriebfestigkeit: Die Härte von Aluminiumoxidkeramik ist die zweithöchste nach der von Diamant und übertrifft bei weitem die von Stahl und Chromstahl, und sie hat eine gute Verschleißfestigkeit, die die Lebensdauer von Roboterarmen effektiv verlängern kann.
Korrosionsbeständigkeit: Aluminiumoxid-Keramik hat eine ausgezeichnete chemische Stabilität und hinterlässt keine kleinen oder geladenen Partikel mit Verunreinigungen auf den Kontaktobjekten. Sie produzieren keine Metallionen und gewährleisten die Sauberkeit des Wafers während des Transports.
Hohe Isolierung: Aluminiumoxid-Keramik hat einen hohen elektrischen Widerstand und eine hohe Isolationsfestigkeit bei Raumtemperatur und kann auch bei hohen Temperaturen eine gute Isolationsleistung beibehalten, so dass die Sicherheit der Wafer beim Transport gewährleistet ist.

Produktmix
Der Halbleiter-Aluminiumoxid-Keramik-Roboterarm besteht hauptsächlich aus einer Steuerung, einem Treiber, einem Arm und einem Endeffektor. Der Endeffektor ist eine Schlüsselkomponente des Roboterarms und besteht aus Aluminiumoxid-Keramik. Er ist für den direkten Kontakt mit dem Wafer verantwortlich und vervollständigt die Handhabung und Positionierung des Wafers.
Controller: die für den Empfang von Anweisungen und die Steuerung der Bewegungsbahn und Geschwindigkeit des Roboterarms zuständig ist.
Fahrer: Stellt die für die Bewegung des Roboterarms erforderliche Energie bereit und sorgt dafür, dass er verschiedene Aktionen reibungslos und schnell ausführen kann.
Arm: Das Teil, das die Steuerung mit dem Endeffektor verbindet und dafür verantwortlich ist, den Endeffektor an die gewünschte Position zu bringen.
Endeffektor: Er besteht aus Aluminiumoxid-Keramik und zeichnet sich durch hohe Härte, Verschleißfestigkeit und Sauberkeit aus. Er ist für die direkte Handhabung und Positionierung von Wafern zuständig.

Produktvorteile
Hohe Präzision: Der Aluminiumoxid-Keramik-Roboterarm hat eine hohe Ebenheit und Glätte mit einer Maßgenauigkeit von ± 0,001 mm, die den Hochpräzisionsanforderungen für die Wafer-Positionierung in der Halbleiterfertigung gerecht wird.
Hohe Sauberkeit: Aluminiumoxidkeramik hat eine gute chemische Stabilität und hinterlässt keine verunreinigenden Partikel auf dem Wafer, wodurch die Sauberkeit des Wafers gewährleistet wird.
Hohe Zuverlässigkeit: Roboterarme aus Aluminiumoxid-Keramik verfügen über hervorragende physikalische und chemische Eigenschaften, die stabile Arbeitsbedingungen in extremen Umgebungen gewährleisten und die Zuverlässigkeit und Lebensdauer der Geräte verbessern.
Antistatisch: Aluminiumoxid-Keramik hat gute antistatische Eigenschaften, die verhindern können, dass Wafer während des Transports durch andere Partikel verunreinigt werden.

Anwendungsbereich
Roboterarme aus Aluminiumoxid-Keramik werden häufig in den Front-End-Prozessen der Halbleiterfertigung eingesetzt, z. B. beim Schneiden, Polieren, Ätzen, Ionenimplantieren usw. Bei diesen Prozessen muss der Roboterarm häufig Wafer transportieren und positionieren, wobei extrem hohe Anforderungen an die Materialleistung gestellt werden. Roboterarme aus Aluminiumoxid-Keramik sind aufgrund ihrer hervorragenden Leistung die ideale Wahl für die Halbleiterfertigung.

Halbleiter-Aluminiumoxid-Keramik-Roboterarme spielen aufgrund ihrer hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften eine wichtige Rolle bei der Halbleiterherstellung. Mit der kontinuierlichen Entwicklung der Halbleitertechnologie wird sich der Anwendungsbereich von Aluminiumoxid-Keramik-Roboterarmen weiter ausweiten und die Entwicklung der Halbleiterindustrie stark unterstützen.