Oxidkeramik in der Pan-Halbleiterindustrie

1、Kurze Einführung
Oxidkeramik ist eine wichtige Art von anorganischem nichtmetallischem Material, das sich durch hohe Härte, hohe Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, einen niedrigen Ausdehnungskoeffizienten und gute Isolierfähigkeit auszeichnet. In der Halbleiterindustrie werden hauptsächlich Aluminiumoxidkeramiken (Al ₂ O3) und Zirkoniumdioxidkeramiken (ZrO ₂) verwendet. Diese Materialien sind aufgrund ihrer hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften zu unverzichtbaren Schlüsselmaterialien bei der Herstellung von Halbleiteranlagen geworden.

（1） Aluminiumoxid-Keramik
Aluminiumoxid-Keramik hat Eigenschaften wie hohe Reinheit, hohe Härte, geringe Wärmeleitfähigkeit, gute elektrische Isolierung und hohe Temperaturbeständigkeit. Der Reinheitsgrad muss in der Regel über 99% oder noch höher liegen, um die strengen Anforderungen an die Materialreinheit bei der Halbleiterherstellung zu erfüllen. Aluminiumoxidkeramik wird häufig in verschiedenen Komponenten von Halbleiterausrüstungen verwendet, z. B. in Kammern von Ätzmaschinen, Vakuumsaugern, elektrostatischen Saugnäpfen, mechanischen Handhabungsarmen, Gasdüsen und Polierscheiben für Wafer.

（2） Zirkoniumdioxid-Keramik
Zirkoniumdioxid-Keramik ist bekannt für ihren hohen Schmelzpunkt, ihre geringe Wärmeleitfähigkeit, ihre hohe Oxidationsbeständigkeit und ihre hervorragenden mechanischen Eigenschaften. Zu den Anwendungen in der Halbleitertechnik gehören Schlüsselkomponenten wie Keramikspalter. Die Mikrostruktur von Zirkoniumdioxidkeramik ist gleichmäßig und dicht, mit einer hohen Dichte, die den Verschleiß wirksam verringern und die Lebensdauer verbessern kann.

2、 Anwendung
Oxidkeramik ist in der Halbleiterindustrie weit verbreitet und deckt mehrere Stufen von der Fertigungsausrüstung bis zu den Prozesskomponenten ab.
（1） Ausrüstung zum Ätzen
Aluminiumoxidkeramik wird häufig als Schutzmaterial für die Kammern von Ätzmaschinen und die internen Komponenten von Halbleiter-Ätzanlagen verwendet. Hochreine Aluminiumoxidbeschichtungen oder keramische Massenprodukte können der Plasmakorrosion wirksam widerstehen, die Entstehung von Verunreinigungspartikeln verringern und so die Ausbeute von Wafern und die Stabilität von Ätzprozessen verbessern.

（2） Wafer-Verarbeitung

1. Vakuum-Saugnapf: Der Vakuumsauger aus Aluminiumoxidkeramik fixiert den Wafer durch Vakuumansaugung und verhindert so eine Verunreinigung oder Beschädigung des Wafers während der Bearbeitung.
2. Elektrostatischer Saugnapf: Der elektrostatische Saugnapf aus Aluminiumoxid-Keramik nutzt die Coulomb-Kraft, um Wafer zu adsorbieren, was die Vorteile einer gleichmäßigen Adsorption, keiner Verformung und geringer Verschmutzung hat und für Hochvakuumumgebungen geeignet ist.
3. Mechanischer Handhabungsarm: Mechanische Handhabungsarme aus Aluminiumoxidkeramik werden für die Handhabung von Wafern in einer Vakuumumgebung verwendet. Seine hohe Härte, Verschleißfestigkeit und guten Isolationseigenschaften machen es zu einem idealen Material.

（3） Polieren und Schleifen
Die keramische Polierscheibe aus Aluminiumoxid ist eine Schlüsselkomponente in der Wafer-Poliertechnik, und ihre hohe Reinheit und gute Kontrolle der Oberflächenrauheit kann die Qualität der Wafer wirksam verbessern.

（4） Gasdüse
Bei Plasmareinigungs- und Ätzprozessen kann die Aluminiumoxid-Keramik-Gasdüse der Erosion hochkorrosiver Gase widerstehen und gleichzeitig die Gasdurchflussrate präzise steuern.

3、 Details zur Anpassung
Maßgeschneiderte Dienstleistungen für oxidkeramische Produkte sind in der Halbleiterindustrie besonders wichtig, da unterschiedliche Anlagen und Prozesse spezifische Anforderungen an Materialeigenschaften und Formen stellen.
（1） Anpassungsfähigkeit

1. Reinheit des Materials: Je nach Kundenwunsch bieten wir Aluminiumoxid- und Zirkoniumdioxid-Keramikmaterialien mit unterschiedlichen Reinheitsgraden von 99% bis 99,99% an.
2. Größe und Form: Verschiedene Größen und komplexe Formen von keramischen Komponenten können kundenspezifisch angepasst werden, wie z. B. ultradünne keramische Langplatten, Vakuumsauger, elektrostatische Sauger, mechanische Greifarme usw.
3. Oberflächenbehandlung: Wir bieten eine hochpräzise Oberflächenbehandlung an, um eine glatte, kratzfreie und schadstofffreie Oberfläche der Keramikkomponenten zu gewährleisten.

（2） Verarbeitungstechnik
Die kundenspezifischen Dienstleistungen umfassen den gesamten Prozess von der Pulverherstellung bis zum Endprodukt, einschließlich Pulveraufbereitung, Formgebung, Sintern, Präzisionsbearbeitung, Prüfung und Reinigung. So hat Jingcheng Special Ceramics beispielsweise 997 Aluminiumoxid-Keramik-Langbleche für Halbleiterunternehmen mit einer Länge von fast 2 Metern und einer Dicke von nur 7 Millimetern maßgeschneidert und damit seine starken Verarbeitungsfähigkeiten unter Beweis gestellt.

（3） Qualitätskontrolle
Maßgeschneiderte Oxidkeramikprodukte erfordern strenge Qualitätsprüfungen, um sicherzustellen, dass sie den strengen Normen der Halbleiterindustrie entsprechen. So müssen beispielsweise der Gehalt an Verunreinigungen, die Sinteraktivität und die Gleichmäßigkeit der Mikrostruktur von hochreinen Aluminiumoxid-Keramikkomponenten streng kontrolliert werden.

（4） Anwendungsfälle

1. Kammer der Ätzmaschine: Die maßgeschneiderte Kammer aus hochreiner Aluminiumoxid-Keramik kann die Stabilität und die Kristallausbeute des Ätzprozesses effektiv verbessern.
2. Vakuum-Saugnapf: Der kundenspezifische Aluminiumoxid-Keramik-Vakuumsauger wird für die Fixierung und Verarbeitung der Wafer verwendet und gewährleistet die Stabilität und Sauberkeit der Wafer während der Verarbeitung.
3. Mechanischer Handhabungsarm: Der kundenspezifische mechanische Handhabungsarm aus Aluminiumoxid-Keramik handhabt Wafer in einer Vakuumumgebung und ist aufgrund seiner hohen Härte und Verschleißfestigkeit ein ideales Material.

Oxidkeramik ist in der Halbleiterindustrie weit verbreitet. Ihre hohe Reinheit, Härte, Korrosionsbeständigkeit und hervorragenden Isolationseigenschaften machen sie zu einem Schlüsselmaterial bei der Herstellung von Halbleitergeräten. Durch die Bereitstellung maßgeschneiderter Dienstleistungen können wir die spezifischen Materialanforderungen verschiedener Anlagen und Prozesse erfüllen und so die nachhaltige Entwicklung der Halbleiterindustrie fördern.

Brudeze Ceramics liefert und verkauft eine breite Palette an hochwertigem Quarzglas, einschließlich Aluminiumoxidkeramik, Zirkoniumdioxidkeramik, Siliziumnitridkeramik, Aluminiumnitridkeramik, Siliziumkarbidkeramik, Borkarbidkeramik, Biokeramik, maschinell bearbeitbarer Keramik usw. Wir sind in der Lage, die Anforderungen an die Anpassung verschiedener Keramikprodukte zu erfüllen.