Aluminiumoxid-Keramik-Halbleiter-Ätzring

Aluminiumoxid-Keramik-Halbleiter-Ätzring ist ein Schlüsselmaterial, das in der Halbleiterherstellung weit verbreitet ist. Es besteht hauptsächlich aus hochreinem Aluminiumoxid und verfügt über eine Vielzahl hervorragender Eigenschaften und eine breite Palette von Anwendungsszenarien.

Leistungsmerkmale
Hohe Reinheit und Stabilität: Aluminiumoxidkeramik hat einen hohen Reinheitsgrad, eine stabile Materialstruktur und kann hohen Temperaturen standhalten, wodurch sie sich für Hochtemperaturprozesse in der Halbleiterfertigung eignet.
Korrosionsbeständigkeit: Aluminiumoxid-Keramikringe können der Korrosion durch korrosive Medien wie Säuren und Laugen widerstehen, die Stabilität des Materials erhalten und eignen sich für den Einsatz in chemischen Korrosions- und Plasmaumgebungen.
Isolationseigenschaften: Aluminiumoxidkeramik hat gute Isolationseigenschaften, die den Stromfluss verhindern, die Verunreinigung durch Metallionen auf der Waferoberfläche verringern und eine hohe Ausbeute an Halbleiterbauelementen gewährleisten können.
Hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Ringe aus Aluminiumoxid-Keramik haben nach Diamant die größte Härte und bieten eine hervorragende Verschleißfestigkeit, wodurch der Verschleiß von Ausrüstungskomponenten verringert und die Lebensdauer verlängert wird.
Hohe mechanische Festigkeit: Ringe aus Aluminiumoxid-Keramik haben eine ausgezeichnete mechanische Festigkeit und können in rauen Arbeitsumgebungen lange Zeit stabil arbeiten.

Anwendungsszenario
Ausrüstung zum Ätzen: In Halbleiter-Ätzanlagen wird Aluminiumoxidkeramik hauptsächlich als Schutzmaterial für Ätzkavitäten und interne Komponenten wie Gasdüsen, Gasverteilungsplatten und Wafer-Halteringe verwendet.
Ausrüstung für die Waferverarbeitung: Ringe aus Aluminiumoxidkeramik werden aufgrund ihrer hohen Härte und Verschleißfestigkeit häufig für mechanische Arme und andere Komponenten bei der Handhabung von Wafern verwendet.
Prozesse bei hohen Temperaturen und hohem Druck: Ringe aus Aluminiumoxidkeramik werden auch in Bauteilen wie Hochtemperaturheizungen und elektrostatischen Spannvorrichtungen verwendet, um eine gleichmäßige Temperaturverteilung zu gewährleisten und die Prozessstabilität zu verbessern.
Verpackung und Prüfung: In Leistungshalbleitergehäusen werden Aluminiumoxidkeramiken als Trägermaterialien verwendet, um eine hohe Isolierung und Wärmeableitung zu gewährleisten; keramische Sondenkarten sorgen aufgrund ihrer hohen Präzision und Verschleißfestigkeit für eine stabile Hochfrequenzsignalübertragung bei der Chipprüfung.

Halbleiter-Ätzringe aus Aluminiumoxid-Keramik sind aufgrund ihrer hervorragenden physikalischen, chemischen und mechanischen Eigenschaften zu einem unverzichtbaren Schlüsselmaterial in der Halbleiterherstellung geworden und finden breite Anwendung in Ätzanlagen, Wafer-Bearbeitungsanlagen, Hochtemperatur- und Hochdruckverfahren sowie bei der Verpackung und Prüfung.