Роботизированный манипулятор из алюмокерамики для полупроводников является одним из ключевых компонентов полупроводникового оборудования, обычно изготавливается из высокочистого глинозема (более 99%), обладающего отличными физическими и химическими свойствами. Он широко используется в передовых процессах производства полупроводников, отвечая за транспортировку пластин, их перемещение и точное позиционирование. Он стал незаменимым инструментом в производстве полупроводников благодаря своей высокой чистоте, высокой стабильности, высокой точности, высокой эффективности и высокой надежности.
Характеристики материала
Глинозем высокой чистоты: Основным материалом для роботизированных манипуляторов из полупроводниковой глиноземистой керамики является глинозем высокой чистоты, который обладает такими физическими свойствами, как плотность, высокая твердость и износостойкость. Высокочистый глинозем обеспечивает механическую прочность, термостойкость и коррозионную стойкость роботизированного манипулятора, а также позволяет поддерживать стабильную работу в экстремальных условиях.
Устойчивость к высоким температурам: Температура плавления алюмооксидной керамики достигает 2050 ℃. Даже в условиях высоких температур роботизированная рука может поддерживать низкую скорость деформации, обеспечивая стабильность и безопасность пластин во время термообработки.
Износостойкость: По твердости алюмооксидная керамика уступает только алмазу, значительно превосходя сталь и хромистую сталь, и обладает хорошей износостойкостью, что позволяет эффективно продлить срок службы роботизированных манипуляторов.
Устойчивость к коррозии: Алюмооксидная керамика обладает превосходной химической стабильностью и не оставляет на контактирующих объектах мелких частиц или заряженных частиц с загрязнениями. Они не производят ионов металлов, обеспечивая чистоту пластин во время транспортировки.
Высокая изоляция: Алюмооксидная керамика обладает высоким удельным электрическим сопротивлением и прочностью изоляции при комнатной температуре и может сохранять хорошие изоляционные характеристики даже в условиях высоких температур, обеспечивая безопасность пластин при транспортировке.
Ассортимент продукции
Роботизированный манипулятор для полупроводников с глиноземистой керамикой состоит в основном из контроллера, привода, манипулятора и концевого эффектора. Среди них концевой эффектор является ключевым компонентом роботизированной руки, изготовленным из глиноземистой керамики и отвечающим за непосредственный контакт с полупроводниковой пластиной, завершающий процесс перемещения и позиционирования пластины.
Контроллер: отвечает за получение инструкций и управление траекторией движения и скоростью роботизированной руки.
Водитель: Обеспечивает питание, необходимое для движения роботизированной руки, гарантируя плавное и быстрое выполнение различных действий.
Рука: Часть, соединяющая контроллер и концевой эффектор, отвечающая за доставку концевого эффектора в заданное положение.
Конечный эффектор: Изготовленный из глиноземистой керамики, он обладает такими характеристиками, как высокая твердость, высокая износостойкость и высокая чистота, и отвечает за непосредственное перемещение и позиционирование пластин.
Преимущества продукта
Высокая точность: Роботизированный манипулятор из керамики на основе оксида алюминия имеет высокую плоскостность и гладкость, точность размеров ± 0,001 мм, что позволяет удовлетворить высокоточные требования к позиционированию пластин в полупроводниковом производстве.
Высокая чистота: Алюмооксидная керамика обладает хорошей химической стабильностью и не оставляет загрязняющих частиц на подложке, обеспечивая чистоту подложки.
High reliability: Роботизированные манипуляторы из керамики на основе оксида алюминия обладают отличными физическими и химическими свойствами, которые позволяют поддерживать стабильные условия работы в экстремальных условиях, повышая надежность и срок службы оборудования.
Антистатический: Алюмооксидная керамика обладает хорошими антистатическими свойствами, что позволяет предотвратить загрязнение пластин другими частицами во время транспортировки.
Область применения
Роботизированные манипуляторы для полупроводниковой алюмокерамики широко используются в таких передовых процессах производства полупроводников, как резка пластин, полировка, травление, ионная имплантация и т.д. В этих процессах роботизированная рука должна часто перемещать и позиционировать пластины, при этом предъявляются чрезвычайно высокие требования к характеристикам материала. Роботизированные манипуляторы из керамики на основе оксида алюминия стали идеальным выбором в полупроводниковом производстве благодаря своим превосходным характеристикам.
Роботизированные манипуляторы из алюмокерамики для полупроводников играют важную роль в производстве полупроводников благодаря своим превосходным физическим и химическим свойствам. С непрерывным развитием полупроводниковых технологий сфера применения роботизированных манипуляторов из глиноземистой керамики будет расширяться, оказывая мощную поддержку развитию полупроводниковой промышленности.
