진공 환경에서 Macor 가공 세라믹의 성능은 어떻습니까?

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Macor는 미국 코닝사에서 개발한 고성능 기계 가공용 세라믹 소재로 기계적 특성, 전기 절연성, 고온 저항성, 화학적 안정성이 뛰어납니다. 일반 금속 가공 도구로 정밀 가공이 가능한 독특한 가공성 덕분에 Macor는 항공우주, 반도체, 진공 기술 및 기타 분야에서 널리 사용되고 있습니다.

Macor의 기본 특성
진공 환경에서의 Macor의 성능을 설명하기 전에 먼저 기본적인 물리적, 화학적 특성을 이해해 보겠습니다:
밀도: 2.52g/cm ³
굽힘 강도:~90 MPa
열팽창 계수: (20-300°C) 9.3 × 10 -⁶/° C
최대 작동 온도: 1000°C(단기), 800°C(장기)
열 전도성: 1.46 W/m - K
체적 저항률(25°C):>10 ¹⁴Ω- cm 초과
진공 방출 속도: 매우 낮음(고진공 및 초고진공 환경에 적합)
이러한 특성으로 인해 Macor는 진공 환경, 특히 고온 저항, 낮은 가스 방출 및 전기 절연이 필요한 애플리케이션에서 우수한 성능을 발휘합니다.

진공 환경에서의 Macor의 주요 이점
매우 낮은 디플레이션율
진공 시스템에서 재료의 가스 방출은 진공도에 영향을 미치는 핵심 요소입니다. Macor의 주요 구성 요소는 유기 바인더가 없는 붕규산 유리 상과 세라믹 상이므로 진공 환경에서 가스 방출률이 매우 낮아 적합합니다:
-고진공(HV, 10 -⁶~10 -⁹ mbar)
-초고진공(UHV, <10 -⁹ mbar)
많은 플라스틱이나 금속 소재에 비해 Macor는 휘발성 유기 화합물(VOC)이나 습기를 방출하지 않으므로 진공 시스템의 장기적인 안정성을 유지할 수 있습니다.

뛰어난 고온 내성 성능
Macor는 800°C에서 장시간 안정적으로 작동하고 단기간에 1000°C의 고온을 견딜 수 있습니다. 다음에 적합합니다:
-진공로 단열 구성 요소
-반도체 제조의 고온 설비
-우주선 열 보호 부품

우수한 전기 절연성
고진공 환경에서 전기 절연 재료는 방전이나 누출 문제를 방지해야 합니다. Macor는 체적 저항이 높으며(>10 ¹⁴Ω- cm), 다음과 같은 용도에 적합합니다:
-고전압 진공 절연체
-입자가속기의 유전체 구성 요소
-진공 전자 장치의 지지 구조

화학적 불활성, 내식성
Macor는 대부분의 산, 염기 및 용제에 대한 내식성이 뛰어나며 진공 환경에서 잔류 가스(산소 및 수증기 등)와 반응하지 않습니다. 다음에 적합합니다:
-플라즈마 에칭 장비
-화학 기상 증착(CVD) 챔버 구성 요소

간편한 정밀 기계
Macor는 일반 CNC 기계 또는 수공구를 사용하여 복잡한 형상으로 가공할 수 있어 진공 시스템에서 조립 난이도를 낮추고 적합합니다:
-맞춤형 진공 씰
-정밀 진공 피드스루
-옵티컬 브래킷 및 조정 메커니즘

진공 시스템에서 Macor의 일반적인 응용 분야
반도체 제조 장비
-용도: 웨이퍼 고정 장치, 플라즈마 반응 챔버 단열 부품에 사용됩니다.
-장점: 플라즈마 침식에 대한 내성, 낮은 가스 방출, 높은 온도 안정성.

항공우주 및 위성 부품
-목적: 우주선용 진공 단열층, 위성 센서 지원.
-장점: -경량, 내방사선성, 내열성.

입자가속기 및 핵융합 장치
-용도: 초고진공 절연체, 빔 콜리메이터.
-장점: 높은 저항률, 낮은 가스 방출 및 내방사선성.

진공 코팅 및 광학 코팅 장비
-용도: 증발 소스 브래킷, 마스크 고정 구성 요소.
-장점: 고온 저항성, 무공해 코팅 공정.

Macor와 다른 진공 재료의 비교
-맥코르는 가공성과 진공 적응성 측면에서 알루미나 세라믹보다 우수합니다.
-금속에 비해 Macor는 수축으로 인한 진공도에 영향을 미치지 않습니다.
-플라스틱에 비해 내열성이 뛰어나 열악한 환경에 적합합니다.

Macor 가공 세라믹은 낮은 가스 방출률, 높은 내열성, 전기 절연성, 화학적 안정성 및 가공 용이성으로 인해 진공 환경에서 우수한 성능을 발휘합니다. 반도체, 항공우주, 핵물리학 및 기타 분야에서 널리 사용되며 진공 시스템에서 기존 소재의 가스 방출, 내열성 및 절연 문제를 해결합니다.
정밀하고 신뢰할 수 있으며 오래 지속되는 진공 부품이 필요한 애플리케이션의 경우 Macor가 이상적인 선택입니다.

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