정밀 다공성 실리콘 카바이드 세라믹 흡착 컵은 반도체, 전자, 태양광 및 기타 분야에서 널리 사용되는 고성능 흡착 도구입니다. 고순도 실리콘 카바이드 분말을 원료로 반응 소결(RBSN) 또는 겔 주조 공정을 통해 만들어지며 다공성 구조와 실리콘 카바이드의 우수한 성능을 모두 갖췄습니다.
-재료 특성: 탄화규소는 높은 경도(HV10 2200-2800), 높은 열전도율(열전도율 120W/m-K, 알루미나의 5배), 높은 내열성(1600°C의 장기 내열성), 우수한 내열충격성(△ T ≥ 500°C)을 가지고 있습니다.
-구조적 특징: 다공성 구조 설계, 30% -70%의 다공성, 1-50 μm의 제어 가능한 기공 크기, 균일한 흡착력, 진공 흡착력 ≥ 0.08MPa를 제공할 수 있습니다.
-가공 정확도: 평탄도 ≤ 0.005mm, 고정밀 처리 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
애플리케이션
정밀 다공성 실리콘 카바이드 세라믹 흡입 컵은 뛰어난 성능으로 인해 여러 분야에서 광범위한 응용 가치를 입증했습니다.
반도체 및 전자 산업
-웨이퍼 박막화 및 본딩: 12인치 웨이퍼의 박막화 및 본딩 공정에 적합한 다공성 구조로 웨이퍼를 균일하게 흡착하여 평탄도를 보장합니다.
-포토리소그래피 기계 열 관리: 빠른 열 전도, ≤± 0.1°C의 실리콘 웨이퍼 온도 변동 제어, 노광 정확도 향상.
태양광 및 신에너지
-배터리 소결로: 1600°C의 온도 저항, 변형 없는 실리콘 웨이퍼 운반, 파편률 ≤ 0.01%, PERC/TOPCon 배터리 소결에 적합.
-실리콘 카바이드 에피택셜 트레이: 고순도(금속 불순물 ≤ 1ppm), SiC 에피택셜 성장(MOCVD/MBE)에 적합합니다.
레이저 및 정밀 가공
-고출력 레이저 절단: 레이저 절삭에 강하며(출력 밀도 ≥ 1kW/cm ²), 유리 및 세라믹과 같은 재료 절단에 적합합니다.
-3D 프린팅 기판: 다공성 및 통기성, 파우더 접착력 감소, 프린팅 부품 박리 효율 향상.
고온 산업용 장비
-소결로 베어링 플레이트: 고온 크리프에 대한 내성, 베어링 용량 ≥ 50kg/m²(1600°C), 세라믹 및 금속 분말 소결에 적합.
-진공 브레이징 픽스처: 납땜(Ag Cu Ti) 부식에 강하고 1000회 이상 재사용 가능.
맞춤형 서비스
다양한 고객의 다양한 요구를 충족하기 위해 정밀 다공성 실리콘 카바이드 세라믹 흡입 컵은 포괄적인 맞춤형 서비스를 제공합니다:
크기 및 모양 사용자 지정
-크기 범위: 직경 100mm~600mm, 두께 5~50mm, 섹터 및 직사각형과 같은 불규칙한 구조물 지원.
-모양 맞춤화: 특수 공정 요구 사항을 충족하기 위해 고객의 필요에 따라 다양한 모양의 흡입 컵을 맞춤화할 수 있습니다.
모공 디자인
-다공성: 30%에서 70%까지 조절 가능.
-기공 크기: 1-50 μ m 제어 가능, 흡착 대상의 특성에 따라 적절한 기공 크기를 선택할 수 있습니다.
-기공 구조: 진공 흡착, 가스 투과 및 기타 요구 사항에 적합한 균일한 기공, 경사 기공 및 방향성 채널과 같은 다양한 기공 구조 설계를 지원합니다.
표면 처리
-내마모성 코팅: 표면 내마모성을 향상시키기 위해 CVD 실리콘 카바이드 코팅을 제공할 수 있습니다.
-산화 방지 코팅: SiO ₂ 또는 Al ₂ O3 산화 방지 코팅을 선택하여 서비스 수명을 연장할 수 있습니다.
정밀 다공성 탄화규소 세라믹 흡입 컵은 뛰어난 성능과 유연한 맞춤형 서비스로 인해 반도체, 태양광, 정밀 가공 등의 분야에서 없어서는 안 될 고성능 도구로 자리 잡았습니다.
브루드세라믹스는 알루미나 세라믹, 지르코니아 세라믹, 질화규소 세라믹, 질화 알루미늄 세라믹, 실리콘 카바이드 세라믹, 탄화붕소 세라믹, 바이오 세라믹, 가공 가능한 세라믹 등 다양한 고품질 석영 유리를 공급 및 판매합니다. 다양한 세라믹 제품의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
태그: 탄화붕소 세라믹
