L'ossido-ceramica nell'industria dei semiconduttori a pannelli

1, Breve introduzione
Le ceramiche ossidate sono un importante tipo di materiale inorganico non metallico, caratterizzato da elevata durezza, alta resistenza all'usura, resistenza alla corrosione, basso coefficiente di espansione e buone prestazioni di isolamento. Nell'industria dei semiconduttori, le ceramiche a base di ossidi comunemente utilizzate includono principalmente ceramiche di allumina (Al ₂ O3) e ceramiche di zirconia (ZrO ₂). Questi materiali sono diventati indispensabili nella produzione di apparecchiature per semiconduttori grazie alle loro eccellenti proprietà fisiche e chimiche.

（1） Ceramica all'ossido di alluminio
La ceramica di allumina ha caratteristiche quali elevata purezza, elevata durezza, bassa conducibilità termica, buon isolamento elettrico e resistenza alle alte temperature. La sua purezza è solitamente superiore a 99%, o addirittura superiore, per soddisfare i severi requisiti di purezza dei materiali nel processo di produzione dei semiconduttori. Le ceramiche di allumina sono ampiamente utilizzate in vari componenti delle apparecchiature per semiconduttori, come le camere delle macchine per l'incisione, le ventose per il vuoto, le ventose elettrostatiche, i bracci di manipolazione meccanica, gli ugelli del gas e i dischi per la lucidatura dei wafer.

（2） Ceramica di zirconio
La ceramica zirconia è nota per l'elevato punto di fusione, la bassa conduttività termica, l'elevata resistenza all'ossidazione e le eccellenti proprietà meccaniche. La sua applicazione nelle apparecchiature per semiconduttori comprende componenti chiave come i cleaver in ceramica. La microstruttura della ceramica di zirconio è uniforme e densa, con un'elevata densità, in grado di ridurre efficacemente l'usura e migliorare la durata di vita.

2. Applicazione
Le ceramiche ossidate sono ampiamente utilizzate nell'industria dei semiconduttori e coprono diverse fasi, dalle apparecchiature di produzione ai componenti di processo.
（1） Attrezzatura per l'incisione
Le ceramiche all'ossido di alluminio sono ampiamente utilizzate come materiali protettivi per le camere delle macchine di incisione e per i componenti interni delle apparecchiature di incisione dei semiconduttori. Il rivestimento in allumina di elevata purezza o la ceramica sfusa possono resistere efficacemente alla corrosione del plasma e ridurre la generazione di particelle di impurità, migliorando così la resa dei wafer e la stabilità dei processi di incisione.

（2） Lavorazione dei wafer

1. Ventosa a vuoto: La ventosa in ceramica di ossido di alluminio fissa il wafer mediante aspirazione a vuoto, evitando la contaminazione o il danneggiamento del wafer durante la lavorazione.
2. Ventosa elettrostatica: La ventosa elettrostatica in ceramica di ossido di alluminio utilizza la forza di Coulomb per adsorbire i wafer, con i vantaggi dell'adsorbimento uniforme, dell'assenza di deformazioni e del basso inquinamento, ed è adatta agli ambienti ad alto vuoto.
3. Braccio di manipolazione meccanica: Il braccio di manipolazione meccanica in ceramica di ossido di alluminio è utilizzato per manipolare i wafer in un ambiente sotto vuoto. L'elevata durezza, la resistenza all'usura e le buone proprietà isolanti ne fanno un materiale ideale.

（3） Lucidatura e smerigliatura
Il disco di lucidatura in ceramica all'ossido di alluminio è un componente chiave della tecnologia di lucidatura dei wafer e la sua elevata purezza e il buon controllo della rugosità superficiale possono migliorare efficacemente la qualità dei wafer.

（4） Ugello del gas
Nei processi di pulizia e incisione al plasma, l'ugello per gas in ceramica di allumina è in grado di resistere all'erosione di gas altamente corrosivi, controllando con precisione la portata del gas.

3, Dettagli di personalizzazione
I servizi personalizzati per i prodotti ceramici di ossido sono particolarmente importanti nell'industria dei semiconduttori, in quanto le diverse apparecchiature e i diversi processi hanno requisiti specifici per le proprietà e le forme dei materiali.
（1） Capacità di personalizzazione

1. Purezza del materiale: In base alle esigenze dei clienti, forniamo materiali ceramici di allumina e zirconia con purezza diversa, da 99% a 99,99%.
2. Dimensioni e forme: È possibile personalizzare componenti in ceramica di varie dimensioni e forme complesse, come piastre lunghe in ceramica ultrasottili, ventose a vuoto, ventose elettrostatiche, bracci di movimentazione meccanica, ecc.
3. Trattamento della superficie: Fornire servizi di trattamento superficiale di alta precisione per garantire la levigatezza della superficie, l'assenza di graffi e l'assenza di inquinamento dei componenti in ceramica.

（2） Tecnologia di lavorazione
I servizi personalizzati coprono l'intero processo, dalla produzione delle polveri al prodotto finale, e comprendono la preparazione delle polveri, lo stampaggio, la sinterizzazione, la lavorazione di precisione, i test e la pulizia. Ad esempio, Jingcheng Special Ceramics ha personalizzato lastre lunghe in ceramica di allumina 997 per imprese di semiconduttori, con una lunghezza di quasi 2 metri e uno spessore di soli 7 millimetri, dimostrando le sue forti capacità di lavorazione.

（3） Controllo qualità
I prodotti ceramici a base di ossido personalizzati richiedono test di qualità rigorosi per garantire che soddisfino gli standard rigorosi dell'industria dei semiconduttori. Ad esempio, il contenuto di impurità, l'attività di sinterizzazione e l'uniformità della microstruttura dei componenti ceramici di allumina di elevata purezza devono essere rigorosamente controllati.

（4） Casi di applicazione

1. Camera della macchina mordenzatrice: La camera in ceramica di allumina ad alta purezza personalizzata può migliorare efficacemente la stabilità e la resa cristallina del processo di incisione.
2. Ventosa a vuoto: La ventosa in ceramica allumina personalizzata viene utilizzata per il fissaggio e la lavorazione dei wafer, garantendo la stabilità e la pulizia del wafer durante la lavorazione.
3. Braccio di movimentazione meccanica: Il braccio di movimentazione meccanica in ceramica allumina personalizzato gestisce i wafer in un ambiente sotto vuoto e la sua elevata durezza e resistenza all'usura lo rendono un materiale ideale.

Le ceramiche ossidate sono ampiamente utilizzate nell'industria dei semiconduttori e la loro elevata purezza, la durezza, la resistenza alla corrosione e le eccellenti proprietà isolanti le rendono materiali chiave nella produzione di apparecchiature per semiconduttori. Fornendo servizi personalizzati, siamo in grado di soddisfare i requisiti specifici dei materiali di diverse apparecchiature e processi, promuovendo così lo sviluppo sostenibile dell'industria dei semiconduttori.

Brudeze Ceramics fornisce e vende un'ampia gamma di vetri di quarzo di alta qualità, tra cui ceramica di allumina, ceramica di zirconia, ceramica di nitruro di silicio, ceramica di nitruro di alluminio, ceramica di carburo di silicio, ceramica di carburo di boro, bioceramica, ceramica lavorabile, ecc. Siamo in grado di soddisfare le esigenze di personalizzazione di vari prodotti ceramici.