Anello di incisione per semiconduttori in ceramica di allumina

L'anello di incisione per semiconduttori in ceramica di allumina è un materiale chiave ampiamente utilizzato nella produzione di semiconduttori, realizzato principalmente in allumina di elevata purezza, con una varietà di proprietà eccellenti e un'ampia gamma di scenari di applicazione.

Caratteristiche delle prestazioni
Elevata purezza e stabilità: Le ceramiche di allumina hanno un'elevata purezza, una struttura stabile del materiale e possono resistere ad ambienti ad alta temperatura, rendendole adatte ai processi ad alta temperatura nella produzione di semiconduttori.
Resistenza alla corrosione: Gli anelli in ceramica di allumina resistono alla corrosione di mezzi corrosivi come acidi e alcali, mantengono la stabilità del materiale e sono adatti all'uso in ambienti con corrosione chimica e al plasma.
Proprietà isolanti: Le ceramiche di allumina hanno buone proprietà isolanti, che possono impedire il flusso di corrente, ridurre la contaminazione da ioni metallici sulla superficie del wafer e garantire un'elevata resa dei dispositivi a semiconduttore.
Elevata durezza e resistenza all'usura: Gli anelli in ceramica di allumina sono secondi solo al diamante per durezza e offrono un'eccellente resistenza all'usura, riducendo l'usura dei componenti delle apparecchiature e prolungandone la durata.
Elevata resistenza meccanica: Gli anelli in ceramica di allumina hanno un'eccellente resistenza meccanica e possono funzionare stabilmente per lungo tempo in ambienti di lavoro difficili.

Scenario di applicazione
Apparecchiature per l'incisione: Nelle apparecchiature per l'incisione dei semiconduttori, le ceramiche di allumina sono utilizzate principalmente come materiali protettivi per le cavità di incisione e i componenti interni, come gli ugelli del gas, le piastre di distribuzione del gas e gli anelli di contenimento dei wafer.
Apparecchiature per il trattamento dei wafer: Gli anelli in ceramica di allumina sono ampiamente utilizzati per i bracci meccanici e altri componenti nella manipolazione dei wafer grazie alla loro elevata durezza e resistenza all'usura.
Processi ad alta temperatura e ad alta pressione: Gli anelli in ceramica di allumina sono utilizzati anche in componenti quali riscaldatori ad alta temperatura e mandrini elettrostatici per garantire l'uniformità della temperatura e migliorare la stabilità del processo.
Imballaggio e test: Nel confezionamento dei semiconduttori di potenza, le ceramiche di allumina sono utilizzate come materiali di substrato per garantire un elevato isolamento e la dissipazione del calore; le schede sonda in ceramica consentono di ottenere una trasmissione stabile del segnale ad alta frequenza durante il test dei chip grazie alla loro elevata precisione e resistenza all'usura.

Gli anelli di incisione per semiconduttori in ceramica di allumina sono diventati un materiale chiave indispensabile nella produzione di semiconduttori grazie alle loro eccellenti proprietà fisiche, chimiche e meccaniche e sono ampiamente utilizzati nelle apparecchiature di incisione, nelle apparecchiature per la lavorazione dei wafer, nei processi ad alta temperatura e ad alta pressione, nonché nell'imballaggio e nei test.