Applicazione della staffa ceramica Macor nella macchina per il rivestimento sottovuoto

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Le prestazioni delle macchine per il rivestimento sottovuoto influiscono direttamente sulla qualità e sull'efficienza della produzione di film sottili in settori produttivi di precisione come i semiconduttori, i rivestimenti ottici e il settore aerospaziale. In quanto componente portante del processo di rivestimento, le prestazioni del materiale di supporto determinano l'uniformità, la pulizia e la durata del rivestimento. I supporti ceramici Macor stanno diventando una soluzione rivoluzionaria nel campo del rivestimento sotto vuoto grazie al loro basso tasso di rilascio di gas, alla resistenza alle alte temperature e all'elevata stabilità.

I quattro vantaggi principali dei brackets in ceramica Macor

1. Tasso di rilascio di gas estremamente basso, che garantisce la purezza del rivestimento
   Il tasso di rilascio di gas delle ceramiche Macor in un ambiente sottovuoto è minimo e trascurabile (<1 × 10 -⁹ Torr - L/s - cm ²), e non viene rilasciata quasi nessuna molecola di gas, evitando l'inquinamento da impurità del film causato dalla volatilizzazione del materiale durante il processo di rivestimento. Questa caratteristica lo rende una scelta ideale per il rivestimento ottico e per il rivestimento di wafer di semiconduttori, migliorando significativamente la resa del rivestimento.
2. Resistenza alle alte temperature e stabilità termica, adatta a condizioni di lavoro estreme
   La ceramica Macor è in grado di resistere ad alte temperature continue di 800 ℃, con picchi di temperatura fino a 1000 ℃, e il suo coefficiente di espansione termica (9,3 × 10 -⁶/K) è vicino a quello dei metalli, mantenendo la stabilità dimensionale nella camera ad alta temperatura della macchina di rivestimento ed evitando lo spostamento del rivestimento causato dalla deformazione termica.
3. Struttura a pori zero, che elimina l'adsorbimento dell'inquinamento
   La sua superficie non porosa e le sue proprietà non igroscopiche possono impedire la penetrazione di materiali di rivestimento residui o di liquidi, in particolare sono adatte per ambienti di rivestimento complessi nei processi PVD (Physical Vapor Deposition) e CVD (Chemical Vapor Deposition), garantendo un uso a lungo termine senza rischi di inquinamento.
4. Capacità di lavorazione di precisione, adattabile a progetti complessi
   La ceramica Macor può raggiungere una tolleranza di ± 0,01 mm attraverso la lavorazione CNC, supportando progetti non standard come supporti porosi e strutture portanti curve, soddisfacendo i requisiti di portanza dei film sottili ottici di alta precisione e dei rivestimenti di semiconduttori su scala nanometrica.

Scenari applicativi principali nelle macchine per il rivestimento sottovuoto

1. Rivestimento ottico: Guardiano di film sottili di alta precisione
   -Supporto del riflettore laser: La caratteristica di bassa espansione termica assicura la posizione stabile del riflettore durante il processo di rivestimento, evitando la deviazione del percorso ottico causata dalle fluttuazioni di temperatura e migliorando l'uniformità del film antiriflesso e del film ad alta riflessione.
   -Supporto per lenti ottiche: Levigatezza superficiale Ra<0,4 μ m, che riduce i difetti della superficie di rivestimento e garantisce la trasmittanza e la riflettività dei dispositivi ottici.
2. Rivestimento dei semiconduttori: la chiave di volta dei processi su scala nanometrica
   -Vassoio di rivestimento dei wafer: resistente alla corrosione e ai gas di mordenzatura (come Cl ₂, SF ₆), estende i cicli di manutenzione delle apparecchiature a più di tre volte rispetto ai supporti metallici tradizionali.
   -Supporto della camera di reazione MOCVD: Nessun rilascio di volatili ad alte temperature, per garantire una crescita di elevata purezza degli strati epitassiali di nitruro di gallio (GaN) e carburo di silicio (SiC).
3. Rivestimento aerospaziale: Supporto affidabile per ambienti estremi
   -Dispositivo per il rivestimento delle pale del motore: può resistere all'ambiente di spruzzatura al plasma a 1500 ℃, garantendo un'adesione uniforme del rivestimento a barriera termica (TBC) e migliorando la resistenza alle alte temperature delle pale.
   -Supporto per componenti ottici satellitari: compatibilità con il vuoto e resistenza alle radiazioni, adatto ad ambienti spaziali estremi, con una durata del rivestimento di oltre 10 anni.

Vantaggi di lavorazione e personalizzazione dei brackets in ceramica Macor

1. Stampaggio di precisione di strutture complesse
   Supporta il taglio laser, la foratura a ultrasuoni e altri processi per realizzare progetti estremi, come le matrici di microfori con apertura di 0,5 mm e i supporti a parete sottile con spessore di 0,3 mm, adatti ai requisiti dei substrati di rivestimento ultrasottili.
2. Risposta rapida e ottimizzazione dei costi
   -Non è necessario il processo di sinterizzazione: la lavorazione diretta riduce il ciclo di produzione di 30% e i campioni possono essere consegnati rapidamente in 3 giorni.
   -Trattamento di metallizzazione superficiale: Può essere rivestito con strati metallici come oro e nichel per migliorare l'adesione con il materiale di rivestimento e ridurre i difetti di interfaccia.

I tre valori fondamentali della scelta delle staffe in ceramica Macor

1. Aggiornamento della qualità del rivestimento
   Doppia garanzia di pulizia e stabilità, con un miglioramento dell'uniformità del film di oltre 20%.
2. Estensione della durata di vita delle apparecchiature
   Le caratteristiche di resistenza alle alte temperature e alla corrosione estendono il ciclo di manutenzione a tre volte quello dei materiali tradizionali.
3. Ottimizzazione dei costi dell'intero ciclo
   Miglioramento della resa e riduzione dei costi di manutenzione, con un ciclo di ritorno dell'investimento 40% ridotto.

Staffe in ceramica Macor hanno ridefinito gli standard di prestazione della tecnologia di rivestimento sotto vuoto grazie alle scoperte della scienza dei materiali. Che si tratti di rivestimenti di precisione su scala nanometrica per semiconduttori o di film sottili ottici impegnativi, le ceramiche Macor sono in grado di fornire soluzioni altamente stabili, a inquinamento zero e fortemente adattabili.