Céramiques d'oxyde dans l'industrie des semi-conducteurs de pan

1、Brève introduction
Les céramiques d'oxyde sont un type important de matériaux non métalliques inorganiques, caractérisés par une grande dureté, une résistance élevée à l'usure, une résistance à la corrosion, un faible coefficient de dilatation et de bonnes performances en matière d'isolation. Dans l'industrie des semi-conducteurs, les céramiques d'oxyde couramment utilisées comprennent principalement les céramiques d'alumine (Al ₂ O3) et les céramiques de zircone (ZrO ₂). Ces matériaux sont devenus des matériaux clés indispensables dans la fabrication d'équipements semi-conducteurs en raison de leurs excellentes propriétés physiques et chimiques.

（1） Céramique d'oxyde d'aluminium
Les céramiques d'alumine présentent des caractéristiques telles qu'une grande pureté, une grande dureté, une faible conductivité thermique, une bonne isolation électrique et une résistance aux températures élevées. Sa pureté doit généralement être supérieure à 99%, voire plus, pour répondre aux exigences strictes en matière de pureté des matériaux dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Les céramiques d'alumine sont largement utilisées dans divers composants d'équipements pour semi-conducteurs, tels que les chambres de machines de gravure, les ventouses à vide, les ventouses électrostatiques, les bras de manutention mécanique, les buses de gaz et les disques de polissage des plaquettes.

（2） Céramique zircone
Les céramiques de zircone sont connues pour leur point de fusion élevé, leur faible conductivité thermique, leur grande résistance à l'oxydation et leurs excellentes propriétés mécaniques. Son application dans l'équipement des semi-conducteurs comprend des composants clés tels que les fers à repasser en céramique. La microstructure des céramiques de zircone est uniforme et dense, avec une densité élevée, ce qui permet de réduire efficacement l'usure et d'améliorer la durée de vie.

2、 Application
Les céramiques d'oxyde sont largement utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs, à de multiples stades, depuis l'équipement de fabrication jusqu'aux composants de processus.
（1） Équipement de gravure
Les céramiques d'oxyde d'aluminium sont largement utilisées comme matériaux de protection pour les chambres des machines de gravure et les composants internes des équipements de gravure des semi-conducteurs. Le revêtement d'alumine de haute pureté ou les céramiques en vrac peuvent résister efficacement à la corrosion par le plasma, réduire la production de particules d'impureté et améliorer ainsi le rendement des plaquettes et la stabilité des processus de gravure.

（2） Traitement des plaquettes

1. Ventouse à vide : La ventouse en céramique d'oxyde d'aluminium fixe la plaquette par aspiration sous vide, ce qui évite de contaminer ou d'endommager la plaquette pendant le traitement.
2. Ventouse électrostatique : La ventouse électrostatique en céramique d'oxyde d'aluminium utilise la force de Coulomb pour adsorber les plaquettes, ce qui présente l'avantage d'une adsorption uniforme, d'une absence de déformation et d'une faible pollution, et convient aux environnements à vide poussé.
3. Bras de manutention mécanique : Le bras de manutention mécanique en céramique d'oxyde d'aluminium est utilisé pour manipuler les plaquettes dans un environnement sous vide. Sa grande dureté, sa résistance à l'usure et ses bonnes propriétés d'isolation en font un matériau idéal.

（3） Polissage et rectification
Le disque de polissage en céramique d'oxyde d'aluminium est un élément clé de la technologie de polissage des plaquettes. Sa grande pureté et son bon contrôle de la rugosité de surface permettent d'améliorer efficacement la qualité des plaquettes.

（4） Buse de gaz
Dans les processus de nettoyage et de gravure au plasma, la buse de gaz en céramique d'alumine peut résister à l'érosion de gaz hautement corrosifs tout en contrôlant précisément le débit de gaz.

3、 Détails de la personnalisation
Les services personnalisés pour les produits en céramique d'oxyde sont particulièrement importants dans l'industrie des semi-conducteurs, car les différents équipements et processus ont des exigences spécifiques en matière de propriétés et de formes des matériaux.
（1） Capacité de personnalisation

1. Pureté du matériau : Selon les exigences des clients, nous fournissons des matériaux céramiques d'alumine et de zircone de différentes puretés allant de 99% à 99,99%.
2. Taille et forme : Différentes tailles et formes complexes de composants céramiques peuvent être personnalisées, telles que les plaques longues en céramique ultra-minces, les ventouses à vide, les ventouses électrostatiques, les bras de manutention mécanique, etc.
3. Traitement de surface : Fournir des services de traitement de surface de haute précision pour garantir une surface lisse, exempte de rayures et non polluée des composants céramiques.

（2） Technologie de transformation
Les services personnalisés couvrent l'ensemble du processus, de la fabrication de la poudre au produit final, y compris la préparation de la poudre, le moulage, le frittage, l'usinage de précision, les essais et le nettoyage. Par exemple, Jingcheng Special Ceramics a personnalisé des plaques longues en céramique d'alumine 997 pour des entreprises de semi-conducteurs, avec une longueur de près de 2 mètres et une épaisseur de seulement 7 millimètres, démontrant ainsi ses fortes capacités de traitement.

（3） Contrôle de la qualité
Les produits céramiques d'oxyde personnalisés doivent faire l'objet de tests de qualité stricts afin de garantir qu'ils répondent aux normes rigoureuses de l'industrie des semi-conducteurs. Par exemple, la teneur en impuretés, l'activité de frittage et l'uniformité de la microstructure des composants en céramique d'alumine de haute pureté doivent être strictement contrôlées.

（4） Cas d'application

1. Chambre de la machine de gravure : La chambre en céramique d'alumine de haute pureté personnalisée peut améliorer efficacement la stabilité et le rendement en cristaux du processus de gravure.
2. Ventouse à vide : La ventouse à vide en céramique d'alumine personnalisée est utilisée pour la fixation et le traitement des plaquettes. Elle garantit la stabilité et la propreté des plaquettes pendant le traitement.
3. Bras de manutention mécanique : Le bras de manutention mécanique en céramique d'alumine personnalisé manipule les plaquettes dans un environnement sous vide. Sa grande dureté et sa résistance à l'usure en font un matériau idéal.

Les céramiques d'oxyde sont largement utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs. Leur grande pureté, leur dureté, leur résistance à la corrosion et leurs excellentes propriétés d'isolation en font des matériaux essentiels pour la fabrication d'équipements de semi-conducteurs. En fournissant des services personnalisés, nous pouvons répondre aux besoins spécifiques en matériaux des différents équipements et processus, favorisant ainsi le développement durable de l'industrie des semi-conducteurs.

Brudeze Ceramics fournit et vend une large gamme de verre de quartz de haute qualité, y compris des céramiques d'alumine, des céramiques de zircone, des céramiques de nitrure de silicium, des céramiques de nitrure d'aluminium, des céramiques de carbure de silicium, des céramiques de carbure de bore, des biocéramiques, des céramiques usinables, etc. Nous pouvons répondre aux exigences de personnalisation de divers produits céramiques.