Anneau de gravure pour semi-conducteurs en céramique d'alumine

L'anneau de gravure des semi-conducteurs en céramique d'alumine est un matériau clé largement utilisé dans la fabrication des semi-conducteurs. Il est principalement constitué d'alumine de haute pureté et présente une variété d'excellentes propriétés ainsi qu'un large éventail de scénarios d'application.

Caractéristiques de performance
Grande pureté et stabilité : Les céramiques d'alumine ont une grande pureté, une structure matérielle stable et peuvent résister à des environnements à haute température, ce qui les rend adaptées aux processus à haute température dans la fabrication des semi-conducteurs.
Résistance à la corrosion : Les anneaux en céramique d'alumine peuvent résister à la corrosion des milieux corrosifs tels que les acides et les alcalis, maintenir la stabilité du matériau, et sont adaptés à une utilisation dans des environnements de corrosion chimique et de plasma.
Propriétés d'isolation : Les céramiques d'alumine ont de bonnes propriétés d'isolation, ce qui permet d'empêcher le passage du courant, de réduire la contamination par les ions métalliques à la surface des plaquettes et d'assurer un rendement élevé des dispositifs semi-conducteurs.
Dureté élevée et résistance à l'usure : Les anneaux en céramique d'alumine n'ont rien à envier au diamant en termes de dureté. Ils offrent une excellente résistance à l'usure, ce qui réduit l'usure des composants de l'équipement et prolonge leur durée de vie.
Résistance mécanique élevée : Les anneaux en céramique d'alumine ont une excellente résistance mécanique et peuvent fonctionner de manière stable pendant une longue période dans des environnements de travail difficiles.

Scénario d'application
Matériel de gravure : Dans les équipements de gravure des semi-conducteurs, les céramiques d'alumine sont principalement utilisées comme matériaux de protection pour les cavités de gravure et les composants internes, tels que les buses de gaz, les plaques de distribution de gaz et les anneaux de retenue des plaquettes.
Équipement de traitement des plaquettes : Les anneaux en céramique d'alumine sont largement utilisés pour les bras mécaniques et d'autres composants dans la manipulation des plaquettes en raison de leur grande dureté et de leur résistance à l'usure.
Procédés à haute température et à haute pression : Les anneaux en céramique d'alumine sont également utilisés dans des composants tels que les réchauffeurs à haute température et les mandrins électrostatiques pour assurer l'uniformité de la température et améliorer la stabilité du processus.
Emballage et essais : Dans l'emballage des semi-conducteurs de puissance, les céramiques d'alumine sont utilisées comme substrat pour assurer une isolation et une dissipation thermique élevées ; les cartes de sonde en céramique assurent une transmission stable des signaux à haute fréquence pendant le test des puces grâce à leur haute précision et à leur résistance à l'usure.

Les anneaux de gravure en céramique d'alumine pour semi-conducteurs sont devenus un matériau clé indispensable dans la fabrication des semi-conducteurs en raison de leurs excellentes propriétés physiques, chimiques et mécaniques. Ils sont largement utilisés dans les équipements de gravure, les équipements de traitement des plaquettes, les processus à haute température et à haute pression, ainsi que dans l'emballage et les essais.