Quelles sont les performances de la céramique usinable Macor dans un environnement sous vide ?

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Macor est un matériau céramique usinable de haute performance développé par la société américaine Corning, qui possède d'excellentes propriétés mécaniques, d'isolation électrique, de résistance aux températures élevées et de stabilité chimique. En raison de son usinabilité unique (qui permet un usinage de précision avec des outils de traitement des métaux ordinaires), Macor a été largement utilisé dans l'aérospatiale, les semi-conducteurs, la technologie du vide et d'autres domaines.

Caractéristiques de base de Macor
Avant d'expliquer les performances du Macor dans un environnement sous vide, commençons par comprendre ses propriétés physiques et chimiques de base :
Densité : 2,52 g/cm ³
Résistance à la flexion :~90 MPa
Coefficient de dilatation thermique : (20-300 ° C) 9,3 × 10 -⁶/° C
Température maximale de fonctionnement : 1000 ° C (court terme), 800 ° C (long terme)
Conductivité thermique : 1,46 W/m - K
Résistivité volumique (25°C) :>10 ¹⁴Ω- cm
Taux de libération du vide : extrêmement faible (convient aux environnements à vide élevé et ultra-élevé)
Ces caractéristiques permettent à Macor d'être performant dans les environnements sous vide, en particulier dans les applications qui requièrent une résistance aux températures élevées, un faible dégagement de gaz et une isolation électrique.

Les principaux avantages de Macor dans les environnements sous vide
Taux de déflation extrêmement bas
Dans un système sous vide, le dégazage des matériaux est un facteur clé qui affecte le degré de vide. Les principaux composants de Macor sont la phase en verre borosilicate et la phase en céramique, sans liant organique, de sorte que le taux de dégagement de gaz est extrêmement faible dans un environnement sous vide, ce qui convient à.. :
-Vide poussé (HV, 10 -⁶~10 -⁹ mbar)
-Ultra vide (UHV, <10 -⁹ mbar)
Par rapport à de nombreux matériaux plastiques ou métalliques, Macor ne libère pas de composés organiques volatils (COV) ni d'humidité, ce qui permet de maintenir la stabilité à long terme des systèmes sous vide.

Excellente résistance aux températures élevées
Macor peut travailler de manière stable pendant une longue période à 800°C et résister à des températures élevées de 1000°C à court terme. Il convient pour :
-Composants d'isolation des fours à vide
Installations à haute température dans la fabrication de semi-conducteurs
-Composants de protection thermique du vaisseau spatial

Bonne isolation électrique
Dans les environnements à vide poussé, les matériaux d'isolation électrique doivent éviter les problèmes de décharge ou de fuite. Macor a une résistivité volumique élevée (>10 ¹⁴Ω- cm) et convient pour :
-Isolateur sous vide haute tension
-Composants diélectriques des accélérateurs de particules
-Structure de support des dispositifs électroniques à vide

Inertie chimique, résistance à la corrosion
Macor présente une excellente résistance à la corrosion de la plupart des acides, des bases et des solvants, et ne réagit pas aux gaz résiduels (tels que l'oxygène et la vapeur d'eau) dans un environnement sous vide. Il convient pour :
-Équipement de gravure au plasma
-Composants de la chambre de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)

Machine de précision facile à utiliser
Macor peut être transformé en formes complexes à l'aide de machines CNC ordinaires ou d'outils manuels, ce qui réduit les difficultés d'assemblage dans les systèmes sous vide et convient aux.. :
-Scellés sous vide personnalisés
-Traversée à vide de précision
-Support optique et mécanisme de réglage

Applications typiques de Macor dans les systèmes de vide
Équipement de fabrication de semi-conducteurs
-Utilisation : Utilisé pour les fixations de plaquettes, les composants d'isolation de la chambre de réaction au plasma.
-Avantages : résistance à l'érosion par le plasma, faible dégagement de gaz, stabilité à haute température.

Composants pour l'aérospatiale et les satellites
-Objectif : couche d'isolation sous vide pour les engins spatiaux, support pour les capteurs des satellites.
-Avantages : Léger, résistant aux radiations et à la chaleur.

Accélérateur de particules et dispositif de fusion nucléaire
-Utilisation : Isolateur à ultravide, collimateur de faisceau.
-Avantages : haute résistivité, faible dégagement de gaz et résistance aux radiations.

Équipement de revêtement sous vide et de revêtement optique
-Utilisation : Support de source d'évaporation, élément de fixation du masque.
-Avantages : Résistance aux températures élevées, processus de revêtement non polluant.

Comparaison entre Macor et d'autres matériaux pour le vide
-Macor est supérieur aux céramiques d'alumine en termes de facilité de mise en œuvre et d'adaptation au vide.
-Par rapport au métal, Macor n'affecte pas le degré de vide dû au dégonflement.
-Par rapport au plastique, Macor a une plus grande résistance à la température et convient aux environnements difficiles.

Les céramiques usinables Macor sont performantes dans les environnements sous vide, principalement en raison de leur faible taux de dégagement de gaz, de leur résistance aux températures élevées, de leur isolation électrique, de leur stabilité chimique et de leur facilité de traitement. Elles sont largement utilisées dans les secteurs des semi-conducteurs, de l'aérospatiale, de la physique nucléaire et dans d'autres domaines, résolvant les problèmes de dégagement de gaz, de résistance à la température et d'isolation des matériaux traditionnels dans les systèmes sous vide.
Pour les applications qui nécessitent des composants de vide précis, fiables et durables, Macor est le choix idéal.

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