Cerámicas de óxido en la industria de semiconductores de pan

1、Breve introducción
Las cerámicas de óxido son un importante tipo de material inorgánico no metálico, caracterizado por su gran dureza, alta resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión, bajo coeficiente de dilatación y buen rendimiento aislante. En la industria de los semiconductores, las cerámicas de óxido más utilizadas son la cerámica de alúmina (Al ₂ O3) y la cerámica de circonio (ZrO ₂). Estos materiales se han convertido en materiales clave indispensables en la fabricación de equipos semiconductores debido a sus excelentes propiedades físicas y químicas.

（1） Cerámica de óxido de aluminio
La cerámica de alúmina tiene características como alta pureza, alta dureza, baja conductividad térmica, buen aislamiento eléctrico y resistencia a altas temperaturas. Normalmente se exige que su pureza sea superior a 99%, o incluso superior, para cumplir los estrictos requisitos de pureza del material en el proceso de fabricación de semiconductores. La cerámica de alúmina se utiliza ampliamente en diversos componentes de equipos de semiconductores, como cámaras de máquinas de grabado, ventosas de vacío, ventosas electrostáticas, brazos de manipulación mecánica, boquillas de gas y discos de pulido de obleas.

（2） Cerámica de circonio
La cerámica de circonio es conocida por su alto punto de fusión, baja conductividad térmica, alta resistencia a la oxidación y excelentes propiedades mecánicas. Su aplicación en equipos semiconductores incluye componentes clave como las cuchillas de cerámica. La microestructura de la cerámica de circonio es uniforme y densa, con alta densidad, lo que puede reducir eficazmente el desgaste y mejorar la vida útil.

2、 Aplicación
Las cerámicas de óxido se utilizan ampliamente en la industria de semiconductores y abarcan múltiples etapas, desde los equipos de fabricación hasta los componentes de proceso.
（1） Equipo de grabado
Las cerámicas de óxido de aluminio se utilizan ampliamente como materiales protectores de las cámaras de las máquinas de grabado y de los componentes internos de los equipos de grabado de semiconductores. El revestimiento de alúmina de alta pureza o la cerámica a granel pueden resistir eficazmente la corrosión por plasma, reducir la generación de partículas de impurezas, mejorando así el rendimiento de las obleas y la estabilidad de los procesos de grabado.

（2） Procesamiento de obleas

1. Ventosa de vacío: La ventosa de vacío de cerámica de óxido de aluminio fija la oblea por succión al vacío, evitando la contaminación o el daño de la oblea durante el procesamiento.
2. Ventosa electrostática: La ventosa electrostática de cerámica de óxido de aluminio utiliza la fuerza de Coulomb para adsorber las obleas, que tiene las ventajas de adsorción uniforme, sin deformación por alabeo y baja contaminación, y es adecuada para entornos de alto vacío.
3. Brazo de manipulación mecánica: El brazo de manipulación mecánica de cerámica de óxido de aluminio se utiliza para manipular obleas en un entorno de vacío. Su gran dureza, resistencia al desgaste y buenas propiedades aislantes lo convierten en un material ideal.

（3） Pulido y esmerilado
El disco de pulido cerámico de óxido de aluminio es un componente clave en la tecnología de pulido de obleas, y su alta pureza y buen control de la rugosidad superficial pueden mejorar eficazmente la calidad de las obleas.

（4） Boquilla de gas
En los procesos de limpieza y grabado por plasma, la boquilla de gas de cerámica de alúmina puede soportar la erosión de gases altamente corrosivos, al tiempo que controla con precisión el caudal de gas.

3、 Detalles de personalización
Los servicios personalizados para productos cerámicos de óxido son especialmente importantes en la industria de semiconductores, ya que los distintos equipos y procesos tienen requisitos específicos en cuanto a propiedades y formas de los materiales.
（1） Capacidad de personalización

1. Pureza del material: De acuerdo con los requisitos del cliente, proporcionamos materiales cerámicos de alúmina y circonio con diferentes purezas que van desde 99% hasta 99,99%.
2. Tamaño y forma: Se pueden personalizar varios tamaños y formas complejas de componentes cerámicos, como placas largas cerámicas ultrafinas, ventosas de vacío, ventosas electrostáticas, brazos de manipulación mecánica, etc.
3. Tratamiento de superficies: Proporcionamos servicios de tratamiento de superficies de alta precisión para garantizar la suavidad de la superficie, la ausencia de arañazos y la ausencia de contaminación de los componentes cerámicos.

（2） Tecnología de procesamiento
Los servicios personalizados abarcan todo el proceso, desde la fabricación del polvo hasta el producto final, incluyendo la preparación del polvo, el moldeo, la sinterización, el mecanizado de precisión, las pruebas y la limpieza. Por ejemplo, Jingcheng Special Ceramics personalizó placas largas de cerámica de alúmina 997 para empresas de semiconductores, con una longitud de casi 2 metros y un grosor de solo 7 milímetros, lo que demuestra su gran capacidad de procesamiento.

（3） Control de calidad
Los productos cerámicos de óxido personalizados requieren estrictas pruebas de calidad para garantizar que cumplen las rigurosas normas de la industria de semiconductores. Por ejemplo, es preciso controlar estrictamente el contenido de impurezas, la actividad de sinterización y la uniformidad de la microestructura de los componentes cerámicos de alúmina de gran pureza.

（4） Casos de aplicación

1. Cámara de la máquina de grabado: La cámara de cerámica de alúmina de alta pureza personalizada puede mejorar eficazmente la estabilidad y el rendimiento cristalino del proceso de grabado.
2. Ventosa de vacío: La ventosa de vacío de cerámica de alúmina personalizada se utiliza para la fijación y el procesamiento de obleas, lo que garantiza la estabilidad y la limpieza de la oblea durante el procesamiento.
3. Brazo de manipulación mecánica: El brazo de manipulación mecánica de cerámica de alúmina personalizado manipula obleas en un entorno de vacío, y su gran dureza y resistencia al desgaste lo convierten en un material ideal.

Las cerámicas de óxido se utilizan ampliamente en la industria de semiconductores, y su gran pureza, dureza, resistencia a la corrosión y excelentes propiedades de aislamiento las convierten en materiales clave en la fabricación de equipos de semiconductores. Mediante la prestación de servicios personalizados, podemos satisfacer los requisitos específicos de materiales de los distintos equipos y procesos, promoviendo así el desarrollo sostenible de la industria de semiconductores.

Brudeze Ceramics suministra y vende una amplia gama de vidrio de cuarzo de alta calidad, incluyendo cerámica de alúmina, cerámica de zirconia, cerámica de nitruro de silicio, cerámica de nitruro de aluminio, cerámica de carburo de silicio, cerámica de carburo de boro, biocerámica, cerámica mecanizable, etc. Podemos satisfacer los requisitos de personalización de varios productos cerámicos.