Anillo de grabado semiconductor cerámico de alúmina

El anillo cerámico de alúmina para grabado de semiconductores es un material clave ampliamente utilizado en la fabricación de semiconductores, hecho principalmente de alúmina de gran pureza, con una variedad de excelentes propiedades y una amplia gama de escenarios de aplicación.

Características de rendimiento
Gran pureza y estabilidad: Las cerámicas de alúmina tienen una gran pureza, una estructura material estable y pueden soportar entornos de altas temperaturas, lo que las hace adecuadas para los procesos de alta temperatura en la fabricación de semiconductores.
Resistencia a la corrosión: Los anillos cerámicos de alúmina pueden resistir la corrosión de medios corrosivos como ácidos y álcalis, mantienen la estabilidad del material y son adecuados para su uso en entornos de corrosión química y plasma.
Propiedades aislantes: Las cerámicas de alúmina tienen buenas propiedades aislantes, que pueden impedir el flujo de corriente, reducir la contaminación por iones metálicos en la superficie de la oblea y garantizar un alto rendimiento de los dispositivos semiconductores.
Gran dureza y resistencia al desgaste: Los anillos cerámicos de alúmina son los segundos en dureza después del diamante, por lo que ofrecen una excelente resistencia al desgaste, reduciendo el desgaste de los componentes del equipo y prolongando su vida útil.
Alta resistencia mecánica: Los anillos cerámicos de alúmina tienen una excelente resistencia mecánica y pueden funcionar de forma estable durante mucho tiempo en entornos de trabajo difíciles.

Escenario de aplicación
Equipo de grabado: En los equipos de grabado de semiconductores, la cerámica de alúmina se utiliza principalmente como material protector de las cavidades de grabado y los componentes internos, como las boquillas de gas, las placas de distribución de gas y los anillos de retención de las obleas.
Equipos de procesamiento de obleas: Los anillos cerámicos de alúmina se utilizan ampliamente para brazos mecánicos y otros componentes en la manipulación de obleas debido a su gran dureza y resistencia al desgaste.
Procesos de alta temperatura y alta presión: Los anillos cerámicos de alúmina también se utilizan en componentes como calentadores de alta temperatura y mandriles electrostáticos para garantizar la uniformidad de la temperatura y mejorar la estabilidad del proceso.
Embalaje y pruebas: En el envasado de semiconductores de potencia, la cerámica de alúmina se utiliza como material de sustrato para proporcionar un elevado aislamiento y disipación del calor; las tarjetas de sonda cerámicas consiguen una transmisión estable de señales de alta frecuencia durante las pruebas de chips gracias a su alta precisión y resistencia al desgaste.

Los anillos de grabado para semiconductores de cerámica de alúmina se han convertido en un material clave indispensable en la fabricación de semiconductores debido a sus excelentes propiedades físicas, químicas y mecánicas, y se utilizan ampliamente en equipos de grabado, equipos de procesamiento de obleas, procesos de alta temperatura y alta presión, así como en envasado y pruebas.